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制振制御ライブラリ

マシンオートメーションコントローラ NJ/NXシリーズ、および産業用PC プラットフォーム NYシリーズ IPCマシンコントローラ用制振制御ライブラリ(形SYSMAC-XR006)のご紹介です。

ライブラリのご使用につきましては、当社営業担当者にお問い合わせください。

搬送を高速化して、製造タクトタイムを短縮したい

課題1
搬送速度を上げると装置やワークに揺れが発生し、振動待ち時間が発生してしまう。
課題2
搬送時の揺れによりワークの ずれ・こぼれが発生し、製品の不良が発生してしまう。

制振制御ライブラリが解決します!

本ライブラリが提供するファンクションブロック(FB)群により、高速搬送時の振動や搬送後の残留振動を抑制し、
タクトタイムを大幅に短縮できます。

制振制御ライブラリ

制振制御ファンクションブロック選定の考え方

ゆれ 課題 解決

搬送物のゆれを抑制したい

指定した共振周波数の振動を軽減します

■ 移動時間よりも制振効果を優先したい場合

複数周波数制振フィルタ1

FB複数周波数制振フィルタ1
(MultiVSFilter1)

最大5つの共振周波数を指定し、振動を軽減します。移動時間よりも制振効果を優先します。

■ 制振効果と移動時間のバランスをとりたい場合

共振周波数指定制振パラメータ算出1

FB共振周波数指定制振パラメータ算出1
(VSMoveParam1)

1つの共振周波数を指定し、振動を軽減します。制振効果と移動時間のバランスをとります。(特許出願中)

ずれ・こぼれ 課題 解決

搬送物の位置ずれや、内容物のこぼれを抑制したい

なめらかな動作で、振動を軽減します

■ 移動時間を指定したい場合

指定時間制振プロファイル1

FB指定時間制振プロファイル1
(VSConstTimeProfile1)

指定されたパラメータに応じて、ゆるやかな加減速を行う位置プロファイルを算出。移動時間を指定できます。

■ 定速区間を指定したい場合

等速区間指定制振プロファイル1

FB等速区間指定制振プロファイル1
(VSConstVelProfile1)

指定されたパラメータに応じて、ゆるやかな加減速を行う位置プロファイルを算出。
等速区間の距離と速度を指定できます。

適用事例

半導体チップハンドラ

搬送時間の短縮
ソケット位置で停止した時に、
振動が止まるまで待ち時間が発生していた。

搬送時間の短縮

制振制御ライブラリのファンクション
ブロックにより搬送時間短縮

搬送時間の短縮

搬送時間 1/5に短縮

搬送時間 1/5に短縮

搬送アプリケーション

XZ軸の搬送装置で、チップをトレイからソケットへ移載する。
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半導体検査装置

振動収束待ち時間の短縮
パレットを移動した時に、
振動が止まるまで画像センサによる検査ができなかった。

振動収束待ち時間の短縮

制振制御ライブラリのファンクション
ブロックにより振動収束待ち時間短縮

振動収束待ち時間の短縮

検査時間 80秒短縮

検査時間 80秒短縮

搬送アプリケーション

XY軸の搬送装置で、チップパレットを1チップ単位の間欠送りで移動し画像センサで外観検査を行う。

半導体ダイボンダ

振動収束待ち時間の短縮
搬送アームでの搬送時に、
振動が止まるまで接着できなかった。

振動収束待ち時間の短縮

制振制御ライブラリのファンクション
ブロックにより振動収束待ち時間短縮

振動収束待ち時間の短縮

搬送時間 1/2に短縮

搬送時間 1/5に短縮

搬送アプリケーション

リンク機構の搬送アームで、チップをフレーム/基盤に接着する。
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FPDストッカ台車

停止時の振動収束待ち時間の短縮
・カセット搬送時、停止した時の台車の
 (水平)振動が止まるまで、
 ストッカへの出し入れを待つ必要があった。
・カセットの上下位置により、共振周波数が
 変化する。

停止時の振動収束待ち時間の短縮

制振制御ライブラリのファンクション
ブロックにより振動収束待ち時間を短縮

停止時の振動収束待ち時間の短縮

搬送時間 2.6秒短縮

搬送時間 2.6秒短縮

搬送アプリケーション

ガラス基板のカセットをストッカの棚に出し入れする。
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液体充填包装機

高速移動時の液体付着によるシール不良
充填後のシール工程で、液体がシール部に付着すると シール不良となるため、移動時に揺れが発生しない速度に 制限されていた。

液体充填包装機

制振制御ライブラリのファンクション
ブロックにより、シール不良を発生させず、 移動時間短縮

液体充填包装機

搬送時間 0.2秒短縮

搬送時間 0.2秒短縮

搬送アプリケーション

液体の充填後、シール機構の位置まで搬送され、ヒートシールにより封止される。
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システム構成例

システム構成例

制振制御ライブラリに含まれるファンクションブロック群と、標準モーション命令の組み合わせにより、プログラムで各種振動を抑制します。