制振制御ライブラリ
マシンオートメーションコントローラ NJ/NXシリーズ、および産業用PC プラットフォーム NYシリーズ IPCマシンコントローラ用
制振制御ライブラリ（形SYSMAC-XR006）のご紹介です。
ライブラリのご使用につきましては、当社営業担当者にお問い合わせください。
搬送を高速化して、
製造タクトタイムを
短縮したい
- 課題1
- 搬送速度を上げると装置やワークに揺れが発生し、振動待ち時間が発生してしまう。
- 課題2
- 搬送時の揺れによりワークのずれ・こぼれが発生し、製品の不良が発生してしまう。
制振制御ライブラリが
解決します！
本ライブラリが提供するファンクションブロック（FB）群により、高速搬送時の振動や搬送後の残留振動を抑制し、タクトタイムを大幅に短縮できます。
制振制御ファンクション
ブロック選定の考え方
課題
課題搬送物のゆれを抑制したい
解決
指定した共振周波数の振動を軽減します
移動時間よりも制振効果を
優先したい場合
複数周波数制振フィルタ1
（MultiVSFilter1）
最大5つの共振周波数を指定し、振動を軽減します。移動時間よりも制振効果を優先します。
制振効果と移動時間のバランスをとりたい場合
共振周波数指定制振パラメータ算出1
（VSMoveParam1）
1つの共振周波数を指定し、振動を軽減します。制振効果と移動時間のバランスをとります。（特許出願中）
課題
搬送物の位置ずれや、内容物のこぼれを抑制したい
解決
なめらかな動作で、振動を軽減します
移動時間を指定したい場合
指定時間制振プロファイル1
（VSConstTimeProfile1）
指定されたパラメータに応じて、ゆるやかな加減速を行う位置プロファイルを算出。移動時間を指定できます。
定速区間を指定したい場合
等速区間指定制振プロファイル1
（VSConstVelProfile1）
指定されたパラメータに応じて、ゆるやかな加減速を行う位置プロファイルを算出。
等速区間の距離と速度を指定できます。
適用事例
半導体チップハンドラ
課題
搬送時間の短縮
ソケット位置で停止した時に、振動が止まるまで待ち時間が発生していた。
解決
搬送時間 1/5に短縮
制振制御ライブラリのファンクションブロックにより搬送時間短縮
搬送アプリケーション
XZ軸の搬送装置で、チップをトレイからソケットへ移載する。
半導体検査装置
課題
振動収束待ち時間の短縮
パレットを移動した時に、振動が止まるまで画像センサによる検査ができなかった。
解決
検査時間 80秒短縮
制振制御ライブラリのファンクションブロックにより搬送時間短縮
搬送アプリケーション
XY軸の搬送装置で、チップパレットを1チップ単位の間欠送りで移動し画像センサで外観検査を行う。
半導体ダイボンダ
課題
振動収束待ち時間の短縮
搬送アームでの搬送時に、振動が止まるまで接着できなかった
解決
搬送時間 1/2に短縮
制振制御ライブラリのファンクションブロックにより振動収束待ち時間短縮
搬送アプリケーション
リンク機構の搬送アームで、チップをフレーム/基盤に接着する
FPDストッカ台車
課題
停止時の振動収束待ち時間の短縮
・カセット搬送時、停止した時の台車の（水平）振動が止まるまで、ストッカへの出し入れを待つ必要があった。
・カセットの上下位置により、共振周波数が変化する
解決
搬送時間 2.6秒短縮
制振制御ライブラリのファンクションブロックにより振動収束待ち時間を短縮
搬送アプリケーション
ガラス基板のカセットをストッカの棚に出し入れする。
液体充填包装機
課題
高速移動時の液体付着によるシール不良
充填後のシール工程で、液体がシール部に付着するとシール不良となるため、移動時に揺れが発生しない速度に制限されていた
移動時間をこれ以上短くすると、液面振動により、シール部液体付着によるシール不良が発生する。
解決
制振制御ライブラリのファンクションブロックにより、シール不良を発生させず、移動時間0.2秒短縮
搬送アプリケーション
液体の充填後、シール機構の位置まで搬送され、ヒートシールにより封止される。
システム構成例
制振制御ライブラリに含まれるファンクションブロック群と、標準モーション命令の組み合わせにより、プログラムで各種振動を抑制します。
