超高速演算による制御の革新

Programmable Multi Axis Controller(PMAC)はモーション制御に特化した多軸制御用精密コントローラです。
世界最高レベル* のモーション制御により、超高速応答性能が求められる精密リニアモータ駆動制御、
ナノメータ位置決め制御等、半導体製造装置に代表される先端生産技術の現場で高い評価を得ています。

* モーション性能16.6μs/1軸、50μs/8軸を指します。(2016年7月現在 当社調べ)

超高速演算による制御の革新

超高速・高精度

超高速サーボサイクル演算による高精度多軸同期制御ができます。サーボサイクル16.6μs/軸(50μs/8軸)での位置・速度・トルク・電流フルクローズド制御が可能。さらに、モーションプログラム、P L Cプログラム、高度軌道計算、位置補正機能を高速に実行し、位置決め精度や速度安定性を向上します。また、高性能CPUによる集中制御により、多軸制御においても同期性を失わず、高精度制御が可能です。

高い機能開発自由度

C言語/専用言語/Gコードが使用可能。これらの高い機能開発自由度が、お客様の創造性を制限から解き放ち、独自の制御プログラムを作り込むことができます。例えば、MATLABRで設計した独自のサーボアルゴリズムを使用したり、PID制御と同期したプログラムを追加したり、独自メカ機構を制御したり…お客様の創造性がさらに広がります。

選べる・つながる

オムロンの豊富な制御機器製品はもちろん、様々な他社製品に接続できるため、お客様のモノづくりに最適な構成を自由に構築できます。
超音波モータ、ボイスコイルモータなど様々なモータにつながり、位置、速度、トルク指令の他にモータにより近い転流指令(2相アナログ指令、ダイレクトPWM指令)も可能。ガルバノスキャナ指令にも対応しています。
また、豊富な入力フィードバックインターフェイスを持ち、AB相信号、リニアスケールの1Vp-p正弦波信号、各種シリアルデータインターフェイス、レーザ干渉計のパラレルバイナリ信号に対応しています。

PMACによる革新事例

お客様独自の技術を組み込んだ高度な装置開発を可能にするPMACは、生産現場や高度な学術研究用途など、多彩な現場で活かされています。

PMACによる革新事例

半導体・FPD製造/検査装置

EB露光装置、リニアコータ、シールディスペンサ、ウェハ検査装置などの超精密な動作を実現しています。

半導体・FPD製造/検査装置

その他の事例

加工機

放電加工機、ウォータージェット、レーザ加工機、プラズマ加工機、超精密鏡面加工機などで高速かつ超高精度な加工を実現しています。

加工機

ロボット

特殊なメカ機構を制御できるため、お客様独自のロボット機構を有する装置で採用されています。

ロボット

学術研究

シンクロトロン施設のアンジュレータやモノクロメータの制御など、最先端研究の場でもPMACの超高速制御性能が活用されています。

学術研究