超精密ステージ制御
リニアスケールによってステージの位置情報をリアルタイムに検出
キネマティクス演算
ロボット動作に必要な運動学演算式(インバース/フォワード・キネマティクス)
モーションスペクトル分解
動作指令を複数のアクチュエータ動作にリアルタイムに分解
ガルバノスキャナ
ステージ制御に加え、2D/3Dガルバノスキャナの制御が可能
レーザ加工ソリューション
(高速高精度、マルチヘッド)
レーザ加工立ち上げ時のレーザON/OFF調整時間を最小化
レーザ加工ソリューション
(ガルバノスキャナ + ステージ同時制御)
ガルバノスキャナとXYステージを同期させて1つの加工を実現