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CK3A

CK3Aシリーズ DirectPWMアンプ

CK3A

コントローラからのダイレクトコントロールによる超低レイテンシーのサーボコントロールと、各種モータ、エンコーダに接続可能なフレキシビリティを兼ねそろえたサーボアンプ

※ Web特別価格提供品

高精度・高分解能なリニアスケールを接続

CK3Mとの組み合わせで高精度・高分解能なリニアスケールやレーザ干渉計を利用し、ナノレベルの精度をもつステージ制御を実現します。

モータ制御機能

PMACは、位置・速度・トルク・電流・電圧のドライバ機能を兼ね備えており、さまざまな種類のアンプとインタフェースで接続できます。
また、 Power PMACには複数のサーボアルゴリズムを備えているだけでなく、ユーザはカスタムサーボアルゴリズムも動作させることができます。
これにより、外部デバイスによる遅延なく、複数のモータを正確に同期することができます。

CK3A 特長 2

アプリケーション例

SEMI & FPD装置

超精密ステージ制御で、軌跡精度や位置決め精度を向上し、速度を安定させます。

CK3A 特長 4

位置補正機能

メカ機構の歪み等の影響をテーブルにより補正する機能を用意し、より精度の高い動作を可能にします。

CK3A 特長 5

レーザ加工装置

ガルバノ+ステージ同期制御で、レーザ加工品質や生産性を向上させます。

CK3A 特長 6