高精度・高分解能なリニアスケールを接続

CK3Mとの組み合わせで高精度･高分解能なリニアスケールやレーザ干渉計を利用し、ナノレベルの精度をもつステージ制御を実現します。

モータ制御機能

PMACは、位置・速度・トルク・電流・電圧のドライバ機能を兼ね備えており、さまざまな種類のアンプとインタフェースで接続できます。
また、 Power PMACには複数のサーボアルゴリズムを備えているだけでなく、ユーザはカスタムサーボアルゴリズムも動作させることができます。
これにより、外部デバイスによる遅延なく、複数のモータを正確に同期することができます。

アプリケーション例

SEMI & FPD装置

超精密ステージ制御で、軌跡精度や位置決め精度を向上し、速度を安定させます。

位置補正機能

メカ機構の歪み等の影響をテーブルにより補正する機能を用意し、より精度の高い動作を可能にします。

レーザ加工装置

ガルバノ＋ステージ同期制御で、レーザ加工品質や生産性を向上させます。