レーザー干渉計
（キーサイト・
テクノロジー株式会社製）

ここではPMACとレーザー干渉計（キーサイト・テクノロジー株式会社製）との接続事例をご紹介します。

レーザ干渉計からの
フィードバックによる、
超高精度
位置制御システム事例

  • レーザ干渉計の出力をPMACのパラレルインタフェースでダイレクトに接続。
  • サーボ周期による高速サンプリングによる計測と、ハンドシェイクによる確実な計測が可能。
  • 超精密ステージの位置決め用途など、ナノオーダの位置決め実現に貢献します。
  • 物理的なスケールの無いレーザー測長を使用することにより、ワーク位置における超精密位置決めの実現を可能にします。
レーザ干渉計からのフィードバックによる、超高精度位置制御システム事例

接続対応機種

形式 CK3M CK3E NY51□-A PowerUMAC
接続可否 × × × ○

レーザ干渉計の
XYステージへの適用事例

  • XYステージ制御において、X軸、Y軸（Y1軸、Y2軸）の3ポイントを計測するシステム事例になります。
  • 3ポイント計測することで、XY各軸の位置計測に加えてステージの姿勢計測が可能になります。
レーザ干渉計からのフィードバックによる、超高精度位置制御システム事例

超精密X-Yステージ制御用多軸システムの構造図
※レーザ干渉計関連の製品イメージ、システム構成は、キーサイト・テクノロジー株式会社の許諾を得て、同社資料より転載いたしました。

干渉計計測値の波長補正

大気中のレーザー測長では、使用環境（温度、気圧、湿度）により波長が変化するため、波長補正処理が必要です。
PMACコントローラは、補正・スケーリング機能を有するため、レーザー測長における波長補正処理にも対応可能です。