ポイント
従来
ステージを止めて加工するため停止時間分スループットが低下
大型パネルの加工では一般的に、スキャンヘッドの照射範囲に加工対象を載せたステージを移動させた後、レーザ加工することを繰り返すステップアンドリピート方式が採用されています。この方式では、ステージ移動の停止時間がスループット低下の要因となります。
PMAC
ステージを移動させながら加工し、高スループットを実現
PMACでは、ステージの移動とレーザ加工を同時に行うオンザフライ制御方式を採用しています。これにより、ステップアンドリピート方式と比較し、ステージが止まる時間を削減できるため、約35%のスループット改善が可能です。