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1台のカメラで反射と透過の独立検査が可能

検査装置の導入時にはカメラ1列の透過方式のみで十分であったシステムであっても、検査ニーズの高度化に伴い、新たな欠陥種を検出するには、例えば反射方式など別の検査方式が必要になる場合があります。
従来のモノクロカメラで反射方式と透過方式の検査を行う場合は、2列分の設置スペースが必要なため、製造設備を改造するなど実現には大きな負担と制約がありました。
マルチウェーブセンシングなら、反射光と透過光を異なる波長で独立してとらえることができるため、カメラ1台で複数方式の検査が可能です。
このため、カメラ1列分の設置スペースしかない場所でも、検査性能の強化を実現します。

1列のカメラで透過と反射の独立検査が可能

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