淡色欠陥も検出

課題

モノクロ検査では、地合との区別がつかない薄茶⾊のような淡⾊⽋陥の検出が困難でした。

解決策

⽋陥を⾚(R)、緑(G)、⻘(B)など複数の波⻑で⾒ると、⽋陥信号はそれぞれ差分が⽣じます。
この違いに着⽬し、⽋陥信号を増幅させると同時に地合信号を低減する処理を⾏うことで、SN⽐が向上します。
その結果、モノクロ検査では地合との区別がつかない、薄茶⾊のような淡⾊⽋陥も正確に検出することができます。

淡色欠陥でも入力情報量を多さで高精度に検出

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