カメラ1台で複数の検査方式

課題

検査装置の導⼊時にはカメラ1列の透過⽅式のみで⼗分であったシステムであっても、検査ニーズの⾼度化に伴い、新たな⽋陥種を検出するには、例えば反射⽅式など別の検査⽅式が必要になる場合があります。
従来のモノクロカメラで反射⽅式と透過⽅式の検査を⾏う場合は、2列分の設置スペースが必要なため、製造設備を改造するなど実現には⼤きな負担と制約がありました。

解決策

マルチウェーブセンシングなら、反射光と透過光を異なる波⻑で独⽴してとらえることができるため、カメラ1台で複数⽅式の検査が可能です。
このため、カメラ1列分の設置スペースしかない場所でも、検査性能の強化を実現します。

1列のカメラで透過と反射の独立検査が可能

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