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人と製品への被曝を低減

  • ●超微量被曝設計ティーチングオペレーターの年間被曝量は自然環境被曝の10分の1以下。
  • ●高速撮像技術 短時間のX線照射で被曝量を抑えながら高画質の検査画像の撮像を実現。
  • ●X線源を装置下部に配置NEW 基板下面からの照射により、重要部品が搭載されることが多い基板上面(表面)への直接被曝を物理的に軽減。
  • ●低エネルギーカットフィルタ 被曝の影響を抑えるフィルタを搭載することで、特にメモリ部品への被曝懸念を最小化。
製品被曝の低減

基板外観検査装置(AOI)、高速CT型X線自動検査装置(AXI)、寸法検査装置(AVI)
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