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漏液センサ 概要


漏液センサは、薬液や純水の液漏れを検出するセンサです。ここでは、漏液センサの概要を解説します。

概要参考資料

関連情報


漏液センサとは

漏液センサとは、薬液や純水の液漏れを検出するセンサです。

使用例

半導体製造装置の結露・液漏れ検出

洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出

薬液タンクのパイプ継手部の漏液検出

パイプの継手部など漏液の可能性のある部位に漏液検知帯を巻き付けて液漏れを検出

メッキ装置の洗浄水レベル検出

洗浄槽内の純水のレベルを検出
高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止

注. 防爆エリアでひとつの水槽に形K7Lを2個以上ご使用になる場合は、必ず水槽をアース接地してください。

CMP装置の計量槽の漏液検出

ドレインパンへの液漏れを検出
装置の破損やウエハの洗浄不良を防止

特長

当社漏液センサおよび漏液検出器(形K7L)の特長は以下のとおりです。

① 電極間抵抗検知方式

50MΩインピーダンス液体から一般水まで安定検出できます。
検知レンジは4段階に設定できるため、液体に合わせた検出が可能です。(形K7L-AT50/AT50Dの場合)

② 交流検出方式

漏液検出帯への信号供給は交流を採用しているため、電蝕を起こさず安全です。

③ 専用防爆バリア

危険雰囲気中で、漏液検出器の使用可能な小型専用防爆バリアをシリーズ化しています。

④ ノイズキャンセラー

3芯ケーブルを使用したノイズキャンセル回路により、ノイズ耐性に優れた安定した漏液検出が可能です。

⑤ 多チャンネル使用

電源回路部と検出回路部の絶縁により同一箇所への複数設置が可能です。

⑥ 耐薬品性に優れた漏液検知帯

電極部にSUS316、絶縁被覆部にポリエチレンを採用し、酸性やアルカリ性などへの耐性を向上しています。
また、ポリエチレン製に比べ、より耐高温/薬品性に優れた、フッ素製の漏液検知帯もあります。

⑦ 集合盤の小型化に貢献

横幅は16mmと超小型サイズで、複数個の密着取り付けでも盤の省スペース化に貢献します。

原理

電極間抵抗検知方式によって、漏液検知帯(以下、検知帯)の2本の電極に液体が接触すると、液体を介して電流が流れ、液体が漏れていることを検知します。

漏液監視時の動作について

  • 形K7Lの④端子より漏液検出用の矩形波信号(AC2.5V、3.75Hz)が出力されています。
  • 出力された漏液検出信号は漏液が発生していない場合、ターミネータでカットされ、検知帯電極間は開ループとなります。

漏液検出時の動作について

  • 検知帯間に漏液が発生した場合、④端子より出力されている漏液検出信号が漏液を経由し②端子に入力されます。
  • 入力してきた信号の電圧は漏液の抵抗率により変化し、形K7L内で設定された検出レベルと比較されます。
  • 比較の結果、形K7Lが漏液と判断した場合、漏液出力部がON、またはOFFします(NC/NOの切替可)。出力LEDも出力に連動して点灯、または消灯します。出力ONでLEDが点灯します。

断線検出機能

(断線検出機能付漏液検出器のみ)

断線監視時の動作について

  • 断線検出信号は、形K7Lの電源投入後2秒以内に発信され、それ以降は約7秒間隔で発信されます。
  • 断線検出信号は最大10V の直流信号が約200ms 間発信されます。この間、形K7Lは断線監視の状態となり、漏液検出信号は停止します。
  • 断線が発生していない場合、発信された断線検出信号(DC10V)は、ターミネータを通過し、形K7Lに戻ることによって正常と判断します。

断線検出時の動作について

  • 断線が発生すると断線したところでカットされますので、形K7Lに信号は戻りません。
  • 信号が返らない場合、断線監視状態にある形K7Lは断線と判断し、出力LEDを点滅させ、断線出力をONさせます。
分類

検知帯

形式説明外観
形F03-16PEベーシックな検知帯です。
半導体製造装置、電算室など、早期に漏水を検知したい場所にご使用
ください。
また、敷設場所が導電性の材質でも使用できます。
形F03-16PTフッ素樹脂製ですので、形F03-16PEに比べ、耐高温/薬品性に優れて
います。
両面にて検知できますので、折り返してご使用いただけます。
形F03-15埃、湿度が高い環境にご使用ください。
電極が露出していますので、絶縁性の場所に敷設します。
形F03-16PS
形F03-16PS-F
ポイントタイプなので、取り外し、拭き取りが容易です。
「-F」タイプは電極がフッ素コーティングをしており、耐薬品性に優れて
います。
また、1つのアンプに複数個の接続が可能です。
形F03-16SF形F03-16PEに比べ、柔軟性に優れています。
工場の床、天井、配管などへの巻きつけに適しています。
形F03-16SFC形F03-16SFと同様に柔軟性に優れています。
吸水すると検知帯の被覆表面が透け、内部の赤い被覆が見えますの
で、漏水箇所を簡単に確認できます。

漏液センサの分類については、「目的・仕様別選定」の「漏液センサ/漏水検知器/漏水警報器 おすすめセレクション」を参照ください。


最終更新日:2019年11月01日