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基板検査装置 特設サイト

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高速CT型X線自動検査装置(AXI)高速

3D-CT方式による高い検出能力はそのままに、 新設計の撮像方式 ※１による超高速撮像技術と、これまで培った独自の自動検査ノウハウを合わせ、業界最速※２の自動検査スピードを実現

3D-CT方式8視野

※1.特許出願済み
※2.2017年10月当社調べ

3D-CT方式検査スピード

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