半導体生産設備
SCADA*1での
排気ファンや
空調ファン、
冷却水循環ポンプの
リモート監視
モータ状態監視機器
（K6CM）使用事例
効果：
他の計測データとの同期により
精度の高い状態監視を実現
今までは、作業員が日々現場に行き記録を取って点検を実施していたが、壊れるまで異常に気付かずに設備が止まってしまうことがあった。新棟設立に合わせて、特に製品の品質に関わるスクラバの排気ファンや冷却水循環ポンプ、空調ファンを自動で監視するシステムを構築した。
モータの状態監視によって劣化傾向を捉える場合、劣化が起きていなくても、駆動条件が変わることで振動や電流波形の数値変動が起きることがあり、正常なのか劣化しているのかの切り分けが難しかった。
SCADAソフトにK6CMを繋いで、他の計測データとの同期性を見える化できるようにしたことで、センシングによる数値の変動を正しく捉えることができ、適切に劣化傾向を捉えることができている。
*1．.SCADA：装置・設備から得られる情報を、ネットワークを通して一カ所に集めて監視し、必要に応じて制御するシステム
本アプリケーションはアドバンスド・モータ状態監視K7DDおいても状態監視が可能です。 |
FROM
複数の計測データを同時に見れず、
正常と異常の切り分けが困難
巡回点検で記録シートに設備毎の状態を個別に記録していたが、設備毎の相関関係を明確にしなければ、正しく異常をとらえきれないことがあり突発停止を起こすリスクがあった。
TO
一括データ収集システムに接続して
設備稼働状態とデータの相関性が
明確化
適切なタイミングのモータ状態監視データに絞って傾向監視ができ、各設備データとの関係性が見えるようになることで正確なデータ分析とメンテ時期の把握が可能となった。
お客様の声
半導体メーカ A社
施設管理部 マネージャー
上位システムに接続したデータ収集で
全体統括の監視が可能
当初はモータ状態監視用のPCを別で準備することを考えていたが、K6CMがModbus TCPにも対応したため、SCADAに組み込むことができた。それによって、他のあらゆる計測データとの相関をみることができ、各データを照らし合わせて正しく判断ができるようになった。