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アドバンスド・モータ状態監視機器 K7DD
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半導体製造装置に
おける
ベアリングのグリス
不良の検知
対象装置・条件
| 対象装置 | エピタキシャル成長装置 |
|---|---|
| モータ種類 | サーボモータ |
課題
ベアリング状態の数値化による
グリスアップタイミングの最適化
テーブル回転軸のベアリングのグリス不良によりガタが生じ、ウエハがテーブルから落下してしまいます。
定期メンテナンスのタイミングで給脂を実施しているが、メンテナンス前にガタによるウエハ落下が生じることがあります。
解決策
モータの電流・電圧などの
電力品質を監視することで
ベアリングの摩耗（グリス不良の
段階）を検知します。
状態監視のロジック
ベアリングのグリス不良や摩耗が進むと、異常振動が発生します。これはモータの回転軸へ影響を及ぼします。この場合、以下3つのケースでいうと（3）に相当します。
モータ設備の状態変化を電力品質で監視できる
ロジック
モータ設備（モータとその負荷）の異常はモータの回転軸に影響する場合が多く見られます。劣化によるロータとステータ間のギャップやトルクの変化が電流電圧の変化として現れ、正常に滑らかに回転している場合と異なり、異常により不均一に回転している場合は波形が乱れます。
（1）衝撃
負荷で発生した瞬間的な衝撃を取り逃さずに数値化できます。
- 特徴量例
電流波形ピークなど - 検知できる主な故障モード
鉄粉混入、異物噛み込み、刃具損傷など
（2）トルク変動
負荷の状態異常による微小なトルクの変動を把握できます。
- 特徴量例
電流実効値、有効電力、電流不平衡率など - 検知できる主な故障モード
刃具摩耗、キャビテーション、蛇行など
（3）振動
負荷側で発生した振動を周波数に応じた高調波で把握できます。
- 特徴量例
電流63次高調波含有率、電流総合高調波歪み率など - 検知できる主な故障モード
ギア摩耗、ベルト摩耗、ボールねじ摩耗など
高調波とは？
モータの基本周波数の次数倍の周波数成分を高調波といいます。モータや負荷側で発生した振動の周波数ごとの成分の大きさをモニタリングすることで、設備で発生した故障モードや異常部位を知ることができます。
K7DDでは0.5次ごとに63次高調波まで演算し、数値化することが可能です。
この課題を解決する商品
これまで難しかった可変速する
モータの
リアルタイム状態監視で、
予知保全を実現
K7DDなら稼働しながら状態監視が可能、
計画的な保全に貢献
アドバンスド・モータ状態監視機器K7DDなら、モータの電流・電圧などの電力品質を高速にデータ化しながら、モータ設備の故障モードや部位を特定することができます。それにより、これまで異常特定が難しかった頻繁に可変速するモータのリアルタイム状態監視を実現し、計画的な保全活動が可能になります。また、状態監視機器の各種パラメータの設定プロセスを簡単化し、導入効果をすぐに実感できます。
アドバンスド・モータ状態監視機器
K7DD
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