自動搬送装置
における

突発停止に対する
予知保全

課題背景

半導体の自動搬送装置の突発停止は生産計画の遅延や納期トラブルなどにつながり大きな機会損失を招く。

自動搬送装置制御盤の温度上昇による加熱保護での装置停止を起こしてしまってから、暫定対策として定期的に保全員による温度点検を実施していた。しかしながら、クリーンルーム内にある制御盤の点検は非常に多くの工数がかかるため、保全員は頻度高く点検できずに、突発停止リスクを抱えていた。24時間、見落としのないよう広範囲を監視できる確実なソリューションが求められていた。