半導体生産設備
SCADA^*1での
排気ファンや
空調ファン、
冷却水循環ポンプの
リモート監視

今までは、作業員が日々現場に行き記録を取って点検を実施していたが、壊れるまで異常に気付かずに設備が止まってしまうことがあった。新棟設立に合わせて、特に製品の品質に関わるスクラバの排気ファンや冷却水循環ポンプ、空調ファンを自動で監視するシステムを構築した。

モータの状態監視によって劣化傾向を捉える場合、劣化が起きていなくても、駆動条件が変わることで振動や電流波形の数値変動が起きることがあり、正常なのか劣化しているのかの切り分けが難しかった。

SCADAソフトにK6CMを繋いで、他の計測データとの同期性を見える化できるようにしたことで、センシングによる数値の変動を正しく捉えることができ、適切に劣化傾向を捉えることができている。

*1．.SCADA：装置・設備から得られる情報を、ネットワークを通して一カ所に集めて監視し、必要に応じて制御するシステム

本アプリケーションはアドバンスド・モータ状態監視K7DDおいても状態監視が可能です。 詳しく異常を分析したい方や複数の異常から特定したい方はK7DDをおすすめいたします。