GHG排出量低減
成膜工程で起こる温度変動を最小化し生産性を高めながら
消費電力と温室効果ガス排出を低減します
2024/01/19 更新
導入効果
プロセスの開始・終了時などに発生する定型外乱を抑制することで、温室効果ガス（GHG）排出量の削減が可能です
外乱抑制機能で、決まったタイミングで起こる外乱に対して、操作量を自動で算出しフィードフォワード（FF）制御を行うことができます。これにより、温度変動幅を小さくし、待ち時間を短縮することで、生産効率の向上と消費電力の削減を実現できます。 例えば、成膜工程では、ウェハーをステージに置く際にステージの温度が下がる外乱が発生しますが、外乱抑制機能を使用することで温室効果ガス（GHG）排出量の削減が期待できます。
成膜工程での待ち時間短縮効果（当社調べ）
GHG排出量の削減量（当社調べ）
二酸化炭素削減量 ＝ 消費電力 × 削減時間 × 二酸化炭素算出係数
＝ 12kWh *3 × 13.9時間 × 0.4591kg-CO2/kWh
＝ 76.6kg/年 *1,2,3
*1. 1日8時間、稼働日20日/月とした場合
*2. 1サイクル2,000秒で製造する装置の場合
*3. 一般的なCVD装置のヒータ消費電力より、12kWhと設定
外乱抑制機能で温度変動を最小限に
オートチューニング機能により、外乱発生時の温度変動と操作量の関係から適切な操作量、印加タイミング、印加時間を自動算出します。
