熟練者の調整をAIで自動化。生産現場の革新、はじまる。

外乱による温度変動を最小化し、品質と生産能力を最大化できる半導体装置へ。

成膜装置: 扉の開閉時やガス注入時にチャンバー温度が低下する

現場課題

半導体の微細・集積化により温度制御が厳しくなり、定型外乱での温度変動が品質に影響する
定型外乱による温度変動が安定するまで待ち時間があり、生産能力が上がらない

プローバー: 電流印加時にウエハ発熱により、ステージ温度が上昇する

モールド装置: 樹脂注入時に金型温度が低下する

温度調節器 E5□D-H / NX-TC が解決

定型外乱による温度変動を自動で抑制

チャンバーの扉開閉による外気流入など予期可能な温度変動に対して安定的に自動制御。
品質の向上や温度が安定するまでの待ち時間を短縮して生産能力の向上に貢献します。

「外乱抑制機能（プリブースト機能）」で温度変動を最小限に

予期可能な外乱に対し、あらかじめ温度変動を抑制する制御機能です。
外乱発生前に温度調節器ユニットに信号を入力することにより、本機能が動作し操作量を加算または減算します。
外乱オートチューニングにより、FF(フィードフォワード)操作量、FF動作時間とFF待ち時間を自動調整します。

詳しくは動画で

E5□D / E5□D-H / NX-TC その他の特徴