【課題】・半導体の微細・集積化により温度制御が厳しくなり、定型外乱での温度変動が品質に影響する
・定型外乱による温度変動が安定するまで待ち時間があり、生産能力が上がらない
NXシリーズ 温度調節ユニット
人の手を煩わせず最適な温度制御を自動で実現、生産性と品質を簡単に両立します。
情報更新 : 2023/04/24
【課題】・半導体の微細・集積化により温度制御が厳しくなり、定型外乱での温度変動が品質に影響する
・定型外乱による温度変動が安定するまで待ち時間があり、生産能力が上がらない
生産能力の向上に貢献
温度変動を抑制することにより、 温度が安定するまでの待ち時間を従来比で最大80%削減します。
注.当社実測値データ
* 1. FA 用の汎用温度調節器として、 2017 年3 月現在当社調べ。
情報更新 : 2023/04/24