PMACアプリ紹介１ 超精密ステージ制御

超精密ステージの実現には、ステージ位置情報をできる限り細かく検出しフィードバックする制御系を構築する必要があります。PMACには超高分解能リニアスケールから出力される各種の信号を読み込むインタフェースを取り揃えています。

【公開日】2018/07/02 【時間】1:19

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