PMACアプリ紹介１ 超精密ステージ制御
超精密ステージの実現には、ステージ位置情報をできる限り細かく検出しフィードバックする制御系を構築する必要があります。PMACには超高分解能リニアスケールから出力される各種の信号を読み込むインタフェースを取り揃えています。
【公開日】2018/07/02
【時間】1:19
超精密ステージの実現には、ステージ位置情報をできる限り細かく検出しフィードバックする制御系を構築する必要があります。PMACには超高分解能リニアスケールから出力される各種の信号を読み込むインタフェースを取り揃えています。