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ZW-SQシリーズ

ファイバ同軸変位センサ センサヘッド

ZW-SQシリーズ

超小型・超軽量 どんな材質でも安定測定

※ Web特別価格提供品

超高精度インライン測定を極める

白色共焦点方式のZWによる高精度安定測定と装置への組み込み易さを動画で分かりやすくご説明します。

センサヘッド

項目 形ZW-SQ5007 形ZW-SQ5020 形ZW-SQ5030 形ZW-SQ5040 形ZW-SQR5007 形ZW-SQR5020 形ZW-SQR5040
適用センサコントローラ 形ZW-5000□
センサヘッドタイプ 角型ストレートタイプ 角型ライトアングルタイプ
測定中心距離 7mm 20mm 30mm 40mm 7mm 20mm 40mm
測定範囲 ±0.3mm ±1mm ±3mm ±6mm ±0.3mm ±1mm ±6mm
静止分解能 *1 0.01μm
(0.005μm)
0.02μm
(0.01μm)
0.06μm
(0.03μm)
0.08μm
(0.04μm)
0.01μm
(0.005μm)
0.02μm
(0.01μm)
0.08μm
(0.04μm)
リニアリティ *2 ±0.8μm ±1.2μm ±4.5μm ±7.0μm ±1.1μm ±1.6μm ±9.3μm
スポット径 *3 Near φ20μm φ45μm φ70μm φ90μm φ20μm φ45μm φ90μm
Center φ18μm φ40μm φ60μm φ80μm φ18μm φ40μm φ80μm
Far φ20μm φ45μm φ70μm φ90μm φ20μm φ45μm φ90μm
測定周期 *4 80μs~1,600μs
使用周囲照度 物体面照度10,000Lx以下:白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時:0~50℃ 保存時:-15~+60℃(ただし、氷結・結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露しないこと)
保護構造 IP40(IEC60529)
振動(耐久) 10~150Hz(片振幅0.35mm) X/Y/Z各方向 80分
衝撃(耐久) 150m/s2 6方向、各3回(上下・左右・前後)
温度特性 *5 0.6μm/℃ 1.5μm/℃ 2.8μm/℃ 4.8μm/℃ 0.6μm/℃ 1.5μm/℃ 4.8μm/℃
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
材質 筐体:アルミダイカスト、ファイバケーブル被覆部:PVC、キャリブレーションROM:PC
ファイバケーブル長 0.3m、2m(耐屈曲ケーブル)
ファイバケーブル最小曲げ半径 20mm
絶縁抵抗(キャリブレーションROM) ケースと端子一括間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧(キャリブレーションROM) ケースと端子一括間:AC1,000V、50/60Hz、1分間
質量 ファイバケーブル長0.3m:約100g
ファイバケーブル長2m:約105g
ファイバケーブル長0.3m:約125g
ファイバケーブル長2m:約130g
付属品 キャリブレーションROM固定用ねじ(M2×5mm):1本、ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、取扱説明書、ご使用上の注意

*1. 当社標準の鏡面対象物を測定中心距離にて平均回数4,096回で測定した場合の実力値。( )内は平均回数16,384回で測定した場合の実力値。
輸出貿易管理令対応センサコントローラ(形ZW-5000T)と接続した場合は、センサヘッド、平均回数に関わらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*2. 当社標準の鏡面対象物を材質設定:鏡面で測定した場合の理想直線に対する誤差
*3. 測定波長のピーク光強度の1/e2(13.5%)で定義した実力値
*4. 5m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000シリーズユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。
*5. センサヘッドと対象物の間をアルミ治具で固定し、センサヘッドとセンサコントローラを同一温度環境に設置した場合の測定中心距離における測定値の変化量の実力値

センサコントローラ

項目 形ZW-5000□
入出力タイプ NPN/PNP共用
センサヘッド接続台数 1台
適用センサヘッド 形ZW-SQ50□□/SQR50□□
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
セグメント
表示
メインデジタル表示 11セグメント白色表示、6桁
サブデジタル表示 11セグメント緑色表示、6桁
表示灯 状態表示灯 HIGH(橙色)、PASS(緑色)、LOW(橙色)、STABILITY(緑色)、ZERO(緑色)、
ENABLE(緑色)、THRESHOLD-H(橙色)、THRESHOLD-L(橙色)、RUN(緑色)
EtherCAT表示灯 ECAT RUN(緑色)、L/A IN(Link/Activity IN)(緑色)、
L/A OUT(Link/Activity OUT)(緑色)、ECAT ERR(赤色)
外部
インタ
フェース
Ethernet 100BASE-TX/10BASE-T 無手順(TCP/UDP)、EtherNet/IP
EtherCAT EtherCAT専用プロトコル100BASE-TX
RS-232C 最大115,200bps
アナログ
出力端子台
アナログ電圧出力
(OUTV)
-10V~+10V、出力インピーダンス:100Ω
アナログ電流出力
(OUTA)
4mA~20mA、最大負荷抵抗:300Ω
32極拡張
コネクタ
判定出力(HIGH/
PASS/LOW)
トランジスタ出力方式
出力電圧:DC21.6~30V
負荷電流:50mA以下
ON時残留電圧:2V以下
OFF時漏れ電流:0.1mA以下
ビジー出力(BUSY)
アラーム出力
(ALARM)
イネーブル出力
(ENABLE)
シンクフラグ出力
(SYNFLG)
トリガビジー出力
(TRIGBUSY)
ロギングステート出力
(LOGSTAT)
ロギングエラー出力
(LOGERR)
スタビリティ出力
(STABILITY)
タスクステート出力
(TASKSTAT)
LIGHTオフ入力
(LIGHT OFF)
DC入力方式
入力電圧:DC24V±10%(DC21.6~26.4V)
入力電流:7mA Typ(. DC24V)
ON電圧/ON電流:19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流:5V/1mA以下
ゼロリセット入力
(ZERO)
タイミング入力
(TIMING)
リセット入力
(RESET)
シンク入力(SYNC)
トリガ入力(TRIG)
ロギング入力
(LOGGING)
バンク 選択中バンク
出力
(BANK_
OUT1~3)
トランジスタ出力方式
出力電圧:DC21.6~30V
負荷電流:50mA以下 
ON時残留電圧:2V以下
OFF時漏れ電流:0.1mA以下
バンク選択
入力
(BANK_
SEL1~3)
DC入力方式
入力電圧:DC24V±10%(DC21.6~26.4V)
入力電流:7mA Typ(. DC24V)
ON電圧/ON電流:19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流:5V/1mA以下
主な機能 露光時間 オート/固定
測定周期 *1 80μs~1,600μs
材質指定 標準/鏡面/粗面
測定アイテム 高さ/厚み/演算
フィルタ処理 メディアン/平均/微分/ハイパス/ローパス/バンドパス
出力 スケーリング/各種ホールド/ゼロリセット/測定値ロギング/キープ・クランプ
表示 測定値/しきい値/アナログ出力電圧値または電流値/判定結果/分解能/投光量/内部ロギング状態/ピーク受光量
設定登録数 標準モード:最大8バンク
判定値モード:最大32バンク
タスク処理 マルチタスク(1バンクあたり最大4タスク)
システム セーブ/初期化/測定情報表示/通信設定/センサヘッド校正/キーロック/ゼロリセットメモリ/タイミング入力
定格 電源電圧 DC21.6V~26.4V(リップル含む)
消費電流 800mA以下
絶縁抵抗 リード線一括とFG端子間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧 リード線一括とFG端子間:AC500V、50/60Hz、1分間
耐環境性 保護構造 IP20(IEC60529)
振動(耐久) 10~55Hz(片振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 50分
衝撃(耐久) 150m/s2、6方向、各3回(上下・左右・前後)
周囲温度範囲 動作時:0~40℃、保存時:-15~+60℃(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし結露しないこと)
接地 D種接地(接地抵抗100Ω以下)*従来の第三種接地
材質 筐体:PC
質量 約900g(本体のみ)、約150g(パラレルケーブル)
付属品 パラレルケーブル:1本(形ZW-XCP2E)
ファイバクリーナ:10本/セット(形ZW-XCL)
ファイバアダプタキャップ:1個
ストラップ:1個
取扱説明書、会員登録シート、ご使用上の注意

注. 輸出管理貿易令対応センサコントローラ(形ZW-5000T)をご用意しております。
このセンサコントローラをご使用の場合は、接続されるセンサヘッドや設定条件に関わらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*1. 5m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000シリーズユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。

EtherCAT通信仕様

項目 仕様
通信規格 IEC61158 Type12
物理層 100BASE-TX(IEEE802.3)
コネクタ RJ45×2
EtherCAT IN : EtherCAT 入力
EtherCAT OUT : EtherCAT 出力
通信媒体 カテゴリ5 以上ツイストペアケーブル(アルミテープと編組の二重遮へいシールドケーブル、ストレートを推奨)
通信距離 ノード間距離 100m 以内
プロセスデータ 可変PDO マッピング(variable PDO mapping)
メールボックス(CoE) エマージェンシーメッセージ、SDO リクエスト、SDO レスポンス、SDO インフォメーション
ディストリビューテッドクロック DC モードによる同期
LED 表示 L/A IN (Link/Activity IN)×1、L/A OUT (Link/Activity OUT)×1、ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

オートメーションソフトウェア Sysmac Studio

項目 動作環境 *3
オペレーティングシステム(OS) *1 Windows 7(32bit版/64bit版)/Windows 8(32bit版/64bit版)/ Windows 8.1(32bit版/64bit版) / Windows 10(32bit版/64bit版)
CPU Intel® Celeron® processor 540(1.8GHz)以上のプロセッサを搭載したDOS/V(IBM AT 互換機)パーソナルコンピュータ。
Intel® Core™ i5 M520 processo(r 2.4GHz)、または相当以上のプロセッサを搭載したDOS/V(IBM AT 互換機)パーソナルコンピュータを推奨。
メインメモリ 2GB以上、4GB以上を推奨
ハードディスク 4.6GB以上の空き容量 *2
ディスプレイ XGA 1024×768、1600万色 WXGA 1280×800ドット以上を推奨
ディスク装置 DVD-ROMドライブ
通信ポート USB2.0対応USBポートまたはEthernetポート *4
対応言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、中国語簡体字、中国語繁体字、韓国語

*1. Sysmac Studio対応オペレーティングシステムのご注意:
     必要システム、ハードディスク容量は、システム環境によって異なる場合がありますので、ご注意ください。
*2. ファイルロギング機能を用いる場合は、別途、ロギング用のメモリが必要です。
*3. 動作環境、注意事項は変位センサエディションに関する記載となります。スタンダードエディションに関する動作環境および注意事項はSysmac Studio Version1オペレーションマニュアルを参照ください。
*4. パソコンとセンサコントローラなどのハードウェアを接続する方法/ケーブルにつきましては各ハードウェアのマニュアルをご参照ください。

バージョン情報

センサヘッド/ケーブルに対応するセンサコントローラのバージョンとSysmac Studioの関係

センサヘッド、ケーブルの形式により使用可能なセンサコントローラのバージョンが異なります。下表に記載のバージョンでお使いください。Sysmac Studio スタンダードエディション/変位センサエディションは、最新版をお使いください。

センサヘッド/ケーブル形式 センサコントローラ形式 センサコントローラの
バージョン
Sysmac Studio スタンダードエディション/
変位センサエディションの対応バージョン
タイプ 形式
角型ストレートタイプ 形ZW-SQ50□□ □M 形ZW-5000□ Ver.2.110以降 Ver.1.18以降で使用できます。
角型ライトアングルタイプ 形ZW-SQR50□□ □M
延長用ファイバケーブル 形ZW-XF50□□R Ver.2.100以降

注. センサコントローラのバージョンアップ方法は、ZW-8000/7000/5000シリーズユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「ファームウェアのアップデート」を参照してください。