項目 | 形ZW-SQ5007 | 形ZW-SQ5020 | 形ZW-SQ5030 | 形ZW-SQ5040 | 形ZW-SQR5007 | 形ZW-SQR5020 | 形ZW-SQR5040 | |
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適用センサコントローラ | 形ZW-5000□ | |||||||
センサヘッドタイプ | 角型ストレートタイプ | 角型ライトアングルタイプ | ||||||
測定中心距離 | 7mm | 20mm | 30mm | 40mm | 7mm | 20mm | 40mm | |
測定範囲 | ±0.3mm | ±1mm | ±3mm | ±6mm | ±0.3mm | ±1mm | ±6mm | |
静止分解能 *1 | 0.01μm
(0.005μm) |
0.02μm
(0.01μm) |
0.06μm
(0.03μm) |
0.08μm
(0.04μm) |
0.01μm
(0.005μm) |
0.02μm
(0.01μm) |
0.08μm
(0.04μm) |
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リニアリティ *2 | ±0.8μm | ±1.2μm | ±4.5μm | ±7.0μm | ±1.1μm | ±1.6μm | ±9.3μm | |
スポット径 *3 | Near | φ20μm | φ45μm | φ70μm | φ90μm | φ20μm | φ45μm | φ90μm |
Center | φ18μm | φ40μm | φ60μm | φ80μm | φ18μm | φ40μm | φ80μm | |
Far | φ20μm | φ45μm | φ70μm | φ90μm | φ20μm | φ45μm | φ90μm | |
測定周期 *4 | 80μs~1,600μs | |||||||
使用周囲照度 | 物体面照度10,000Lx以下:白熱ランプ | |||||||
周囲温度範囲 | 動作時:0~50℃ 保存時:-15~+60℃(ただし、氷結・結露しないこと) | |||||||
周囲湿度範囲 | 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露しないこと) | |||||||
保護構造 | IP40(IEC60529) | |||||||
振動(耐久) | 10~150Hz(片振幅0.35mm) X/Y/Z各方向 80分 | |||||||
衝撃(耐久) | 150m/s2 6方向、各3回(上下・左右・前後) | |||||||
温度特性 *5 | 0.6μm/℃ | 1.5μm/℃ | 2.8μm/℃ | 4.8μm/℃ | 0.6μm/℃ | 1.5μm/℃ | 4.8μm/℃ | |
LEDの安全性 | リスクグループ1(IEC62471) | |||||||
材質 | 筐体:アルミダイカスト、ファイバケーブル被覆部:PVC、キャリブレーションROM:PC | |||||||
ファイバケーブル長 | 0.3m、2m(耐屈曲ケーブル) | |||||||
ファイバケーブル最小曲げ半径 | 20mm | |||||||
絶縁抵抗(キャリブレーションROM) | ケースと端子一括間:20MΩ(250Vメガにて) | |||||||
耐電圧(キャリブレーションROM) | ケースと端子一括間:AC1,000V、50/60Hz、1分間 | |||||||
質量 | ファイバケーブル長0.3m:約100g
ファイバケーブル長2m:約105g |
ファイバケーブル長0.3m:約125g
ファイバケーブル長2m:約130g |
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付属品 | キャリブレーションROM固定用ねじ(M2×5mm):1本、ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、取扱説明書、ご使用上の注意 |