形状 | 測定範囲 | スポット径
(Center) |
静止分解能* | 形式 |
---|---|---|---|---|
![]() |
![]() |
φ18μm | 0.01μm
(0.005μm) |
形ZW-SQ5007 2M |
形ZW-SQ5007 0.3M | ||||
![]() |
φ40μm | 0.02μm
(0.01μm) |
形ZW-SQ5020 2M | |
形ZW-SQ5020 0.3M | ||||
![]() |
φ60μm | 0.06μm
(0.03μm) |
形ZW-SQ5030 2M | |
形ZW-SQ5030 0.3M | ||||
![]() |
φ80μm | 0.08μm
(0.04μm) |
形ZW-SQ5040 2M | |
形ZW-SQ5040 0.3M |