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【コントローラ】進化するインライン測定に対応する2つの選択

バタつく・傾く「透明体・鏡面ワーク」の測定なら
超高精度タイプ ZW-8000

バタつく、傾く光沢・軽薄・微細部品をインラインで高精度測定

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 3
ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 4

鏡面(傾斜・曲面)

従来のレーザ変位センサに比べて、光沢面でも傾斜・曲面の高精度な形状測定が可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 5

透明体

従来では難しかった、薄い透明シールやフィルムの表面と裏面の反射光を分離して測定できます。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 6
ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 7

微小体

従来はスポット径が大きく、微小物体の正しい測定ができませんでした。超小スポットにより測りたい所を超高精細に測定可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 8

高速で移動する「粗面ワーク」の測定なら
超高速タイプ ZW-7000

拡散反射ワークを移動しながら超高速・安定測定

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 10
ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 11

粗面*4 の平坦度

従来はワークからの多重反射光が測定値の飛びを誘発し、本来測定したい「平坦度」を把握できませんでした。また、センサヘッドの向きとヘアラインの方向によっては、さらにばたつきが大きくなります。白色共焦点変位センサなら、多重反射光の影響を受けずに真の形状に近い平坦度を1回で測定できます。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 12

形状

従来は平均回数の設定で安定性を上げていましたが、形状が鈍るトレードオフも発生していました。ZW-7000では最速20μsの高速サンプリングと、平均化なしでの安定測定により高速・形状測定を実現します。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 13

*1. センサヘッド形ZW-S8010/ZW-S7010/ZW-S5010の場合の代表値です。
*2. 形ZW-8010の代表値。ただし屈折率1.5の透明体の場合。
*3. センサヘッド形ZW-8010の代表値です。
*4. 切削痕、ヘアラインなどのあるワークです。
*5. 形ZW-S7020の場合。
*6. 形ZW-S7020以外のデータについては当社販売員にお問い合わせください。
*7. 形ZW-S7030以外のデータについては当社販売員にお問い合わせください。
注. 掲載している測定グラフはすべて代表例です。測定対象物の形状や材質によっては測定に影響が出ることがあります。実際のご使用においては事前に実機でのご確認をお願いします。

【センサヘッド】多様な工程や装置への組み込みに応えるヘッドバリエーション

超小型ヘッド追加でさらに組み込みを自在に

製品の薄型化や曲面化、小型化などの進化により、検査工程も高難度化しており、上流の組立工程の見える化や組付け制御が必要になっています。
そこでオムロンでは測定距離の長い角型タイプのほか、狭小スペースにも組み込める超小型ペン型タイプ(ストレート・ライトアングル)をラインアップしました。

組立工程に最適

構造物やロボット、ステージに干渉しにくい

ペン型ストレートタイプ

測定範囲
7±0.3mm/10±0.7mm

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 19

ペン型ライトアングルタイプ

測定範囲
7±0.3mm/10±0.7mm

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 20

検査工程に最適

シビアな検査精度にも対応

角型ストレートタイプ

測定範囲
10±0.5mm/20±1mm/30±2mm/40±3mm*

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 23

* 40mmタイプはZW7000シリーズのみ。

【ユーザビリティ】白色共焦点方式だから、効率的な配置・移動で生産タクトタイムアップ

工程省略:センサヘッドの回転工程が不要

従来は、受光素子への反射位置でワーク高さを測定していたため、測定対象物の形状や移動方向に合わせてセンサヘッドを回転させる工程が必要でした。
白色共焦点変位センサなら方向の制約がなく、同一設置であらゆる方向への移動測定が可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 26

可動部にも安心、耐屈曲ファイバケーブル

コントローラとセンサヘッドは、直径3mmの耐屈曲ファイバケーブルで接続。
300万回の屈曲テスト*2をクリアし、可動部への使用にも安心です。

*2. 当社規定の評価条件「曲げ半径(20mm)×300万回」

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 27

延長用ケーブルで大型装置に対応

30mの延長ケーブルを接続すれば、最大32mまで延長でき、大型装置へのフレキシブルな引き回しが可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 28

時間短縮:複数センサで同時測定

従来のレーザ変位センサのサイズでは、スペース制約で複数センサの並列測定が難しかったケースでも、ペン型ストレートヘッドの密着取付で時間短縮が可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 29

白色共焦点のさらなるメリット

測定ポイントのズレなし

従来は、高さによって測定ポイントやスポットサイズが変わるため、たわみや傾きの影響で狙った位置を的確に測定できない場合がありました。白色共焦点変位センサなら測定範囲のどの位置でも同じ測定ポイントで的確に測定できます。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 31

狭所や壁際での測定が可能

従来は、細管の奥や微小な凹部の高さを測定する際、反射光が壁面に遮られたり、都度センサやワークの向きを調整する必要がありました。白色共焦点変位センサなら、照射光と反射光が対象物に対し同軸となるため、設置方向に関係なく狭所や微小な対象物の測定が可能です。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 32

【ユーザビリティ】白色共焦点方式だから、面倒な対策や設計・調整工数を削減

EMC対策・熱設計の工数削減

センサヘッドは、電気ノイズ・磁気ノイズの影響を受けない構造で、ノイズが発生しやすい場所でも安定使用が可能。
ノイズや熱も出さず、周囲の機器や治具伸縮による測定値への悪影響がありません。

EMC対策

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 35

熱設計

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 36

レーザ安全対策が不要

白色光源*1を採用し、従来のレーザ光源では必要であった設備の安全対策や作業従事者への安全教育が不要です。

従来はレーザ使用の安全対策が必須

レーザ変位センサは、装置周辺に安全対策のための遮蔽や、作業従事者への安全教育が必要でした。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 38

*1. ZW-8000はレーザクラス1に該当します。

先進機能「EdgeTracks」*2 で多層ワークも安定測定 【特許出願中】

多層ワークの測定時、ワークがばたついて非測定状態になっても狙った層の界面を安定して測定できます。

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ 特長 40