半導体の微細・積層化でシビアになる温度制御に対応
定型外乱による温度変動を最小化し品質と生産能力を最大化
【課題】・半導体の微細・集積化により温度制御が厳しくなり、定型外乱での温度変動が品質に影響する
・定型外乱による温度変動が安定するまで待ち時間があり、生産能力が上がらない
定型外乱による温度変動を自動で抑制
チャンバーの扉開閉による外気流入など予測可能な温度変動に対して安定的に自動制御。品質の向上や温度が安定するまでの待ち時間を短縮して生産能力の向上に貢献します。
生産能力の向上に貢献
温度変動を抑制することにより、 温度が安定するまでの待ち時間を従来比で最大80％削減します。
注.当社実測値データ
外乱抑制機能で温度変動を最小限に
外乱抑制機能とは、予測可能な外乱に対しあらかじめ温度変動を抑制する制御機能です。外乱発生前に温度調節器ユニットに信号を入力することにより、 本機能が動作し操作量を加算または減算します。外乱オートチューニングによりFF(フィードフォワード)操作量、 FF動作時間とFF待ち時間を自動調整します。
生産環境と素材の変化に対応
これまでの温度調節器は立上げ設定時や変動調整時に経験や勘がなければ最適な調整が難しく、品質に影響がありました。
NX-TCでは、熟練者のように品質に影響を与える状態変化を捉え、常に最適な状態への自動温度制御が可能です。
ワーク・環境・装置が変化しても良品生産を維持
【課題】・装置出荷先で環境が変化して現地でPID の再調整が必要
・ワークの品種ごとにPID の調整が必要になり、段取り変えに時間がかかる
立上げ時に自動でPIDを調整して、面倒な調整の手間を削減
熟練者のように品質に影響を与える状態変化を捉え、 常に最適な状態に温度制御ができるようにPIDを自動で調整できるので面倒な立上げ、 調整の手間から現場を自由にします。
業界初＊ 1 の「適応制御技術」でPID を自動調節
NX-TCに搭載された「適応制御」であれば、立上げ時・安定時それぞれに最適なPID値を自動で算出。さらに、装置の温度制御状態を監視してワーク変化や装置変化などに対し、最適な温度制御になるようPID値を自動で調節できます。
＊ 1. FA 用の汎用温度調節器として、 2017 年3 月現在当社調べ。
包材を変更しても安定した品質を維持
【課題】・ プラスチック削減に向けてサステナブル素材への包材変更や包材の薄肉化を
することで温度制御幅が狭まり、不良発生率が増加
・装置始動時や不良発生時の温度調整時に多大な時間がかかる
シール面の温度測定と揺れの特性で、安定的に自動制御
シール面の温度を測定する「包装機用温度センサ」
包装機の速度・包材変化などの温度変動要因に影響されず、ヒートバー表面の温度を正確に計測します。
表面温度測定での揺れを抑える「自動フィルタ調整機能」
包装機用温度センサと自動フィルタ調整機能を使用することで、シール温度で品質を管理しながら、人の調整によらず
温度調節器のみで温度揺れを抑えることができます。
冷却水の変動などによる温度揺れを抑制して生産能力を最大化
【課題】・新興国の経済発展、 生産拠点の海外移管に伴うインフラ関連の需要拡大で、生産性を上げたい
・高速化すると、 材料配合や冷却水などによる温度揺れへの現場調整が必要
・品質を維持したまま、 高速生産するのは難しい
速度変更や装置の状態変化による温度揺れを現場調整なく抑制
水冷式の押出機では、高速化することで様々な原因で温度揺れが発生し、品質を安定させるために現場では繰り返しの
バルブ調整が必要でした。NX-TCでは水冷出力調整機能で温度揺れを最小限に抑え、品質を維持したまま生産能力を高めます。
