定型外乱による
温度変動を抑制

外乱による温度変動を
最小化し、
品質と生産能力を
最大化できる半導体装置へ

扉の開閉時やガス注入時にチャンバー温度が低下する

電流印加時にウエハ発熱により、ステージ温度が上昇する

樹脂注入時に金型温度が低下する

チャンバーの扉開閉による外気流入など予期可能な温度変動に対して安定的に自動制御。品質の向上や温度が安定するまでの待ち時間を短縮して生産能力の向上に貢献します。

予期可能な外乱に対し、あらかじめ温度変動を抑制する制御機能です。外乱発生前に温度調節器ユニットに信号を入力することにより、本機能が動作し操作量を加算または減算します。外乱オートチューニングにより、FF(フィードフォワード)操作量、FF動作時間とFF待ち時間を自動調整します。