電極間抵抗検知方式

50MΩインピーダンス液体から一般水まで安定検出。 

しかも検知レンジは4段階に設定できるため、液体に合わせた検出が可能。

専用防爆バリア（別売）

危険雰囲気中で、漏液検出器の使用可能な小型専用防爆バリアをシリーズ化。

交流検出方式

検出帯への信号供給は交流を採用しているため電触を起こさず安全。

ノイズキャンセラー（PAT）

3芯ケーブルを応用したノイズキャンセル回路により、ノイズ耐性に優れた検出を実現。

多チャンネル使用

電源回路部と検出回路部の絶縁により同一箇所への複数設置が可能。

半導体製造装置の結露・液漏れ検出

洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出。

耐薬品性に優れた漏液検知帯

電極部にSUS316、絶縁被覆部にポリエチレンを採用。酸性やアルカリ性などの耐性をアップ。

薬液タンクのパイプ継手部の漏液検出

パイプの継手部など漏液の可能性のある部位に検知帯を巻き付けて液漏れを検出。

CMP装置の計量槽の漏液検出

ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止。

メッキ装置の洗浄水レベル検出

洗浄槽内の純水のレベルを検出。
高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。

注. 防爆エリアでひとつの水槽に形K7Lを2個以上ご使用になる場合は、必ず水槽をアース接地してください。