本体

分類 形状 接続方式 機能 形式
NPN出力 PNP出力
汎用タイプ 401_lu_1_1 コード引き出しタイプ ―― 形E3X-A11 形E3X-A41
タイマ
自己診断
外部診断		 形E3X-A21 形E3X-A51
長距離タイプ ―― 形E3X-H11 ＊2 ――
高速検出タイプ タイマ
自己診断
外部診断		 形E3X-F21 ＊2 形E3X-F51 ＊2
マーク検出タイプ
（緑色光源）		 ―― 形E3X-VG11 ＊2 ――
タイマ
自己診断
外部診断		 形E3X-VG21 ＊2 ――
LED点灯確認
タイプ		 ―― 形E3X-A11-8 ＊1 ――

＊1　価格、定格／性能につきましてはお問い合わせください。
＊2　2008年3月末に生産終了しました。

アクセサリ（別売）

形状 名称 形式 数量 備考
401_lu_2_1 保護カバー 形E39-G4 ＊ 1個 ・商品に装着されています。
・アンプに装着の保護カバー　破損時、紛失時用
401_lu_2_2 手回し
感度調整ツマミ		 形E39-G3 ＊ 1個 ・アンプに装着の保護カバー　破損時、紛失時用

＊1995年6月頃より設計変更を行っており、新タイプのカバーは旧タイプのファイバアンプにはご利用になれません。

透過形ファイバユニット

注1. 【Free-cut】はフリーカット可能なユニットです。
　 2. 標準検出物体の大きさはファイバコア径（レンズ付はレンズ径）と同じです。
　 3. 最小検出物体の検出距離は指定なき場合は定格検出距離における値です。
＊1. 赤色光
＊2. 緑色光

長距離

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
M4
【Free-cut】		 401_lu_3_1 形E3X-A 350(1,000) ＊1 φ1.4（φ0.5） 形E32-T11L 25mm
形E3X-H 700(2,000) ＊1
形E3X-F 150 ＊1
形E3X-VG 40(120) ＊2
Φ 3
【Free-cut】		 401_lu_3_2 形E3X-A 350 ＊1 φ1.4（φ0.5） 形E32-T12L
形E3X-H 700 ＊1
形E3X-F 150 ＊1
形E3X-VG 40 ＊2
M3
【Free-cut】		 401_lu_3_3 形E3X-A 100 ＊1 φ0.9（φ0.2） 形E32-T21L 10mm
形E3X-H 200 ＊1
形E3X-F 50 ＊1
形E3X-VG 10 ＊2
Φ 2（細径）
【Free-cut】		 401_lu_3_4 形E3X-A 100 ＊1 φ0.9（φ0.2） 形E32-T22L
形E3X-H 200 ＊1
形E3X-F 50 ＊1
形E3X-VG 10 ＊2
M14
レンズつき、
防爆用途に
最適
【Free-cut】		 401_lu_3_5 形E3X-A 7,000 ＊1 φ10（φ0.8） 形E32-T17L 25mm
形E3X-H 14,000 ＊1 φ10（φ0.8）
形E3X-F 3,000 ＊1 φ10（φ1.5）
形E3X-VG 800 ＊2 φ10（φ2.1）

基本

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
M4
【Free-cut】		 401_lu_4_1 形E3X-A 200(1,500) ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-TC200 25mm
形E3X-H 400(3,000) ＊1
形E3X-F 80 ＊1
形E3X-VG 28(190) ＊2
M3 反射形
サイドビュー
（変換アタッチ
メント
形E39-F5
取りつけ可能）
【Free-cut】		 401_lu_4_2 形E3X-A 180 ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-TC200A
形E3X-H 360 ＊1 φ1（φ0.3）
形E3X-F 80 ＊1 φ1（φ0.2）
形E3X-VG 28 ＊2
M3
微小ワーク
検出
【Free-cut】		 401_lu_4_3 形E3X-A 50 ＊1 φ0.5（φ0.1） 形E32-TC200E 10mm
形E3X-H 100 ＊1
形E3X-F 26 ＊1
形E3X-VG 8 ＊2

細径ヘッド

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
Φ 2
微小ワーク
検出
【Free-cut】		 401_lu_5_1 形E3X-A 50 ＊1 φ0.5（φ0.1） 形E32-T22 10mm
形E3X-H 100 ＊1
形E3X-F 26 ＊1
形E3X-VG 7 ＊2
Φ 1.2
スリーブ
つき
【Free-cut】		 401_lu_5_2 形E3X-A 180 ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-TC200B
形E32-TC200B4		 25mm
形E3X-H 400 ＊1
形E3X-F 80 ＊1
形E3X-VG 28 ＊2
Φ 0.9
スリーブ
つき
【Free-cut】		 401_lu_5_3 形E3X-A 50 ＊1 φ0.5（φ0.1） 形E32-TC200F
形E32-TC200F4		 10mm
形E3X-H 100 ＊1
形E3X-F 26 ＊1
形E3X-VG 8 ＊2

柔軟（R1）

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
【Free-cut】
電線のように
曲げられる（R1）		 401_lu_6_1 形E3X-A 140(1,000) ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-T11R 1mm
401_lu_6_2 形E3X-A 30 ＊1 φ0.5（φ0.2） 形E32-T21R

耐屈曲（R4）

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
可動部
取りつけ（R4）
【Free-cut】		 401_lu_7_1 形E3X-A 180（1,000） ＊1 Φ 1（Φ 0.3） 形E32-T11 4
mm
形E3X-H 360 ＊1 Φ 1（Φ 0.2）
形E3X-F 80 ＊1 Φ 1（Φ 0.2）
形E3X-VG 10（120） ＊2
401_lu_7_2 形E3X-A 50 ＊1 Φ 0.5（Φ 0.1） 形E32-T21
形E3X-H 100 ＊1
形E3X-F 26 ＊1
形E3X-VG 6 ＊2

サイドビュー

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
長距離
省スペース
【Free-cut】		 401_lu_8_1 形E3X-A 120 ＊1 Φ 1（Φ 0.1） 形E32-T14L 25
mm
形E3X-H 240 ＊1 Φ 1（Φ 0.2）
形E3X-F 30 ＊1
形E3X-VG 10 ＊2 Φ 1（Φ 0.1）
微小ワーク検出
【Free-cut】		 401_lu_8_2 形E3X-A 45 ＊1 Φ 0.5（Φ 0.1） 形E32-T24 10
mm
形E3X-H 90 ＊1
形E3X-F 15 ＊1 Φ 0.5（Φ 0.3）
形E3X-VG 2 ＊2 Φ 0.5（Φ 0.2）
ねじ取りつけ形
【Free-cut】		 401_lu_8_3 形E3X-A 900 ＊1 Φ 4（Φ 0.2） 形E32-T14 25
mm
形E3X-H 1,800 ＊1
形E3X-F 380 ＊1
形E3X-VG 80 ＊2

耐薬品

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
フッ素樹脂
カバーで耐
環境に強い
使用周囲
温度：-30
～+70°C
【Free-cut】		 401_lu_9_1 形E3X-A 800 ＊1 φ4（φ0.9） 形E32-T12F 40mm
形E3X-H 1,600 ＊1 φ4（φ0.7）
形E3X-F 300 ＊1
形E3X-VG 70 ＊2 φ4（φ0.6）
フッ素樹脂
カバーで耐
環境に強い
サイドビュー
使用周囲
温度：-30
～+70°C
【Free-cut】		 401_lu_9_2 形E3X-A 100 ＊1 φ3（φ0.7） 形E32-T14F
形E3X-H 200 ＊1 φ3（φ0.9）

耐熱

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
150℃ ＊3
使用周囲温度：
-40～+150℃
ファイバ
外被材質：
フッ素系樹脂
【Free-cut】		 401_lu_10_1 形E3X-A 200 ＊1 φ1.5（φ1） 形E32-T51 35mm
形E3X-H 400 ＊1
形E3X-F 80 ＊1
形E3X-VG 20 ＊2
150℃ ＊3
サイドビュー
微小ワーク検出
使用周囲温度：
-40～+150℃
ファイバ
外被材質：
フッ素系樹脂
【Free-cut】		 401_lu_10_2 形E3X-A 60 ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-T54
形E3X-H 130 ＊1 φ1（φ0.3）
300℃ ＊4
スパイラルチュー
ブつき、機械的
強度にすぐれる
使用周囲温度：
-40～+300℃
ファイバ外被
材質：SUS		 401_lu_10_3 形E3X-A 150(1,500) ＊1 φ1（φ0.2） 形E32-T61-S 25mm
形E3X-H 300(3,000) ＊1 φ1（φ0.3）
形E3X-F 60(450) ＊1 φ1（φ0.5）
形E3X-VG 18(130) ＊2
200℃ ＊4
L字形ファイバ
外被材質：SUS
【Free-cut】		 401_lu_10_4 形E3X-H 700 ＊1 φ1.7（φ0.4） 形E32-T84S

＊3. 連続使用時の場合は、－40～＋130℃内でご使用ください。
＊4. ファイバ先端の耐熱温度です。

溝形

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
フィルム
シートの検出、
光軸調整不要
取りつけ容易
【Free-cut】		 401_lu_11_1 形E3X-A 10 ＊1 φ4（φ0.5） 形E32-G14 25mm
形E3X-H 10 ＊1 φ4（φ1）
形E3X-F 10 ＊1 φ4（φ0.6）
形E3X-VG 10 ＊2

狭視界

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
ウエハ
検出に最適
【Free-cut】		 401_lu_12_1 形E3X-A 1,000 ＊1 φ1.7（φ0.5） 形E32-T22S 10mm
401_lu_12_2 形E3X-H 700 ＊1 φ2（φ0.5） 形E32-T24S

エリア検出

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプ
ユニット		 検出距離（mm）
〔（ ）内はレンズ
ユニット形E39-F1
使用時〕		 標準検出物体
（mm）〔最小
検出物体
（不透明体）
代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
多点検知
（4ヘッド）		 401_lu_13_1 形E3X-A 150 ＊1 φ2（φ0.3） 形E32-M21 25mm
形E3X-H 300 ＊1 φ2（φ0.4）
形E3X-F 65 ＊1 φ2（φ0.3）
形E3X-VG 20 ＊2
微小ワークを
広いエリアで
安定検出
保護構造：
IEC規格 IP50
【Free-cut】		 401_lu_13_2 形E3X-A 300 ＊1 （φ2）＊ 形E32-T16P 10mm
形E3X-H 600 ＊1 （φ1.1）＊
幅10mmの
エリアで検出、
長距離
【Free-cut】		 401_lu_13_3 形E3X-A 750 ＊1 （φ6）＊ 形E32-T16 25mm
形E3X-H 1,500 ＊1 （φ6）＊
形E3X-F 330 ＊1 （φ7）＊
形E3X-VG 150 ＊2

＊検出距離100mmで、数値は11mm幅の検出エリアで検出可能な値、形E32-T16の場合は10mm幅のときの値になります。（検出物体径は静止状態での値）

反射形ファイバユニット

注1. 【Free-cut】はフリーカット可能なユニットです。
　　2. 最小検出物体は、反射形ファイバユニットにおいて最も小さなものが検出できる距離における値です。
　　3. 内部反射光により「最大感度設定」でご使用されますと「入光継続」になることがあります。
　　　　このような場合には「ワーク無しティーチング」または「2点ティーチング」でご使用ください。
＊1. 赤色光
＊2. 緑色光
＊3. 検出距離は白画用紙での値です。

長距離

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
M6
【Free-cut】		 401_lu_14_1 形E3X-A 100 ＊1 100×100（Φ 0.015） 形E32-D11L 25mm
形E3X-H 200 ＊1 200×200（φ0.015）
形E3X-F 45 ＊1 50×50（φ0.2）
形E3X-VG 10 ＊2 25×25（φ3）
Φ 3（細径）
【Free-cut】		 401_lu_14_2 形E3X-A 60 ＊1 100×100（φ0.04） 形E32-D12
形E3X-H 120 ＊1 200×200（φ0.015）
形E3X-F 15 ＊1 25×25（φ2.4）
形E3X-VG 2 ＊2 25×25（φ1.6）
M4
【Free-cut】		 401_lu_14_3 形E3X-A 25 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D21L 10mm
形E3X-H 50 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-F 11 ＊1 25×25（φ0.26）
形E3X-VG 1 ＊2 25×25（φ1）
Φ 3（細径）
【Free-cut】		 401_lu_14_4 形E3X-A 25 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D22L
形E3X-H 50 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-F 11 ＊1 25×25（φ0.26）
形E3X-VG 1 ＊2 25×25（φ1）

基本

特長
(フリーカット
可否：注1)		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
M6
【Free-cut】		 401_lu_15_1 形E3X-A 75 ＊1 100×100（φ0.015） 形E32-DC200 25mm
形E3X-H 150 ＊1 200×200（φ0.015）
形E3X-F 33 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-VG 10 ＊2 25×25（φ0.2）
M3（細径）
【Free-cut】		 401_lu_15_2 形E3X-A 18 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-DC200E 10mm
形E3X-H 36 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-F 8 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 2 ＊2 25×25（φ1）

細径ヘッド

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
Φ 2.5
スリーブつき
【Free-cut】		 401_lu_16_1 形E3X-A 75 ＊1 100×100（φ0.03） 形E32-DC200B
形E32-DC200B4		 25mm
形E3X-H 150 ＊1 200×200（φ0.015）
形E3X-F 33 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-VG 10 ＊2 25×25（φ1）
Φ 1.2
スリーブつき
【Free-cut】		 401_lu_16_2 形E3X-A 18 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-DC200F
形E32-DC200F4		 10mm
形E3X-H 36 ＊1 25×25（φ0.015）
形E3X-F 8 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 2 ＊2 25×25（φ1）
Φ 0.8
微小ワーク
検出
【Free-cut】		 401_lu_16_3 形E3X-A 5 ＊1 25×25（φ0.015） 形E32-D33 4mm
形E3X-H 10 ＊1
形E3X-F 1.8 ＊1 25×25（φ0.03）

柔軟（R1）

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
電線のように
曲げられる（R1）
【Free-cut】		 401_lu_17_1 形E3X-A 45 ＊1 100×100（φ0.03） 形E32-D11R 1mm
401_lu_17_2 形E3X-A 7 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D21R

耐屈曲（R4）

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
可動部取りつけ
（R4）
【Free-cut】		 401_lu_18_1 形E3X-A 45 ＊1 50×50（φ0.03） 形E32-D11 4mm
形E3X-H 90 ＊1 100×100（φ0.015）
形E3X-F 20 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 7 ＊2 25×25（φ0.5）
401_lu_18_2 形E3X-A 7 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D21
形E3X-H 14 ＊1 25×25（φ0.015）
形E3X-F 3 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 1 ＊2 25×25（φ1）

同軸

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
M6　
高精度位置決め
【Free-cut】		 401_lu_19_1 形E3X-A 75 ＊1 100×100（φ0.03） 形E32-CC200 25mm
形E3X-H 150 ＊1 200×200（φ0.015）
形E3X-F 33 ＊1 50×50（φ0.03）
形E3X-VG 10 ＊2 25×25（φ0.5）
φ3（細径）
高精度位置決め
【Free-cut】		 401_lu_19_2 形E3X-A 40 ＊2 50×50（φ0.04） 形E32-D32L
形E3X-H 80 ＊1 100×100（φ0.015）
形E3X-F 11 ＊1 25×25（φ1.1）
形E3X-VG 4 ＊2 25×25（φ1）
φ2
高精度位置決め
微小スポットレン
ズ（形E39-F3A）
取りつけ可
（スポットφ0.5
～1mm可変）
【Free-cut】		 401_lu_19_3 形E3X-A 20 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D32
形E3X-H 40 ＊1 50×50（φ0.015）
形E3X-F 9 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 2.5 ＊2 25×25（φ0.5）

サイドビュー

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
Φ 6
長距離
【Free-cut】		 401_lu_20_1 形E3X-A 40 ＊1 50×50（φ0.03） 形E32-D14L 25mm
形E3X-H 40 ＊1
形E3X-F 12 ＊1 25×25（φ0.5）
形E3X-VG 1.5 ＊2 25×25（φ1）
Φ 2（細径）
省スペース
【Free-cut】		 401_lu_20_2 形E3X-A 15 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-D24 10mm
形E3X-H 15 ＊1
形E3X-F 4 ＊1
形E3X-VG 1.6 ＊2 25×25（φ1）

耐薬品

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
フッ素樹
脂カバー
耐環境に強い
使用周囲温度：
-30～+70℃
【Free-cut】		 401_lu_21_1 形E3X-A 50 ＊1 50×50（φ0.03） 形E32-D12F 40mm
形E3X-H 50 ＊1
形E3X-F 20 ＊1 25×25（φ0.5）
形E3X-VG 4 ＊2

耐熱

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
150℃＊4
使用周囲温度：
-40～+150℃
ファイバ外被材質：
フッ素系樹脂
【Free-cut】		 401_lu_22_1 形E3X-A 60 ＊1 100×100（Φ 0.03） 形E32-D51 35mm
形E3X-H 120 ＊1 200×200（Φ 0.03）
形E3X-F 26 ＊1 50×50（Φ 0.03）
形E3X-VG 5 ＊2 25×25（φ1）
300℃ ＊5
使用周囲温度：
-40～+300℃
ファイバ外被材質：
SUS		 401_lu_22_2 形E3X-A 45 ＊1 50×50（φ0.03） 形E32-D61 25mm
形E3X-H 45 ＊1
形E3X-F 20 ＊1 25×25（φ0.03）
形E3X-VG 5 ＊2 25×25（φ1）
400℃ ＊5
使用周囲温度：
-40～+400℃
ファイバ外被材質：
SUS		 401_lu_22_3 形E3X-A 30 ＊1 50×50（φ0.03） 形E32-D73
形E3X-H 30 ＊1
形E3X-F 17 ＊1 25×25（φ0.2）
形E3X-VG 3 ＊2 25×25（φ1）

＊4. 使用時の場合は、－40～＋130℃内でご使用ください。
＊5. ファイバ先端の耐熱温度です。

回帰反射

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
透明体検出
【Free-cut】		 401_lu_23_1 形E3X-A 10～250 ＊1 φ35（φ0.3） 形E32-R21
+
形E39-R3（付属）		 10mm
形E3X-H 10～250 ＊1
形E3X-F 20～230 ＊1 φ35（φ0.5）
透明体検出
使用周囲温度：
-25～+55℃
保護構造：
IEC規格IP66
【Free-cut】		 401_lu_23_2 形E3X-A 150～1500 ＊1 φ35（φ0.6） 形E32-R16
+
形E39-R1（付属）		 25mm
形E3X-H 150～1,500 ＊1
形E3X-F 50～700 ＊1

限定反射

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
ウエハ・
微小段差検出
使用周囲温度：
-40～+105℃
保護構造：
IEC規格IP50
【Free-cut】		 401_lu_24_1 形E3X-A 7.2±1.8 ＊1 25×25（φ0.015） 形E32-L25L 10mm
形E3X-H 7.2±1.8 ＊1
形E3X-F 7.2±1.8 ＊1
401_lu_24_2 形E3X-A 4±2 ＊1 25×25（φ0.015） 形E32-L24L
形E3X-H 4±2 ＊1
形E3X-F 4±2 ＊1
ウエハ・
微小段差検出
保護構造：
IEC規格IP50
【Free-cut】		 401_lu_24_3 形E3X-A 3.3 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-L25 25mm
形E3X-H 3.3 ＊1 25×25（φ0.015）
形E3X-F 3.3 ＊1 25×25（φ0.5）
401_lu_24_4 形E3X-A 3.3 ＊1 25×25（φ0.03） 形E32-L25A
形E3X-H 3.3 ＊1 25×25（φ0.015）
形E3X-F 3.3 ＊1 25×25（φ0.5）

液面検出

特長
(フリーカット
可否：注1）		 形状 使用アンプユニット 検出距離
（mm） ＊3		 標準検出物体（mm）
〔最小検出物体
（銅素線）代表例〕		 形式 許容
曲げ
半径
液体接触タイプ
曲げ不可部
長さL＝150/
350mmの
2タイプ		 401_lu_25_1 形E3X-A ――― 検出物体：
25℃の純水		 形E32-D82F1
形E32-D82F2		 40mm
形E3X-H
管取りつけ
タイプ
【Free-cut】		 401_lu_25_2 形E3X-A ――― 検出物体：
液体		 形E32-L25T 10mm
形E3X-H