注. 各記号を組み合わせたすべての形式がご用意できるということではありません。可能な組み合わせについては、種類表を参照してください。
*1. DC電源の協調ロボットは、自動搬送モバイルロボットと組み合わせて操作することが可能です。
*2. 可搬質量およびアームの長さは、モデルによって異なります。
*3.SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)は、世界中のマイクロエレクトロニクスとナノエレクトロニクスのメーカーの団体であり、安全に関するガイドラインを発行しています。 SEMI S2は、半導体製造装置の環境、健康、および安全(EHS)に関する規格です。