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ウェハプロセス制御以外を自律分散モジュール化することで、メインコントローラのリソースを、プロセス制御に集中させます。
さらに高速・低ジッタでリアルタイム性のあるEtherCATを採用することで再現性を確保します。
NX-ECT101
NXシリーズ EtherCAT® スレーブユニット
この商品について
関連情報
- 商品カテゴリ共通
情報更新 : 2022/08/01
EtherCAT 自律分散システムで、半導体装置の付加価値向上
ウェハプロセス制御の再現性を確保
装置設計リードタイム短縮
分散モジュール化することで並行開発が可能。さらにNX-ECT101を使用しEtherCATに統一することで、習得するツールが減少します。
使用するSysmac Studioは、モーション・セーフティ・センシングまでの開発環境を統合したオートメーションソフトウェアです。
そのため、設計リードタイムや設計者育成期間が短縮できます。
フットプリントの削減
NXシリーズは、制御と安全を合わせても、幅102mm。
他社と比べ48%＊1スリム化し、フットプリントの削減に貢献します。
メンテナンス性向上
パソコンを持ち込んでツールを操作する必要がなく、SDメモリカードだけでプログラムのアップデートが可能。また、プログラムを誤操作で書き換えることがないため、簡単・確実にメンテナンスすることができます。
情報更新 : 2022/08/01
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