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ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ

ファイバ同軸変位センサ

ZW-8000 / 7000 / 5000シリーズ

透明体も鏡面も粗面も、超高精度・超高速に安定測定

※ Web特別価格提供品

超高精度インライン測定を極める

白色共焦点方式のZWによる高精度安定測定と装置への組み込み易さを動画で分かりやすくご説明します。

センサヘッド

形ZW-S8010/S8020/S8030/SP8007/SP8010/SPR8007/SPR8010

形式 形ZW-S8010 形ZW-S8020 形ZW-S8030 形ZW-SP8007 形ZW-SP8010 形ZW-SPR8007 形ZW-SPR8010
適用センサコントローラ 形ZW-8000□
センサヘッドタイプ 角型ストレートタイプ ペン型ストレートタイプ ペン型ライトアングルタイプ
測定中心距離 *1 10mm 20mm 30mm 7mm 10mm 7mm 10mm
測定範囲 *2 ±0.5mm ±1mm ±2mm ±0.3mm ±0.7mm ±0.3mm ±0.7mm
静止分解能 *3 0.002μm 0.004μm 0.008μm 0.002μm 0.003μm 0.003μm 0.005μm
リニアリティ *4 ±0.3μm ±0.6μm ±1.3μm ±0.3μm ±0.45μm ±0.45μm ±0.7μm
スポット径
(測定範囲内全領域) *5
φ4μm φ7μm φ10μm φ7μm φ10μm φ8μm φ11μm
測定周期 *6 60μs~7,500μs
使用周囲照度 物体面照度30,000Lx以下:白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時0~50℃、保存時-15~+60℃(ただし、氷結・結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露しないこと)
保護構造 IP40(IEC60529)
振動(耐久) 10~150Hz(片方振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 80分
衝撃(耐久) 150m/s2、6方向、 各3回(上下・左右・前後)
温度特性 *7 0.6μm/℃
(0.2μm/℃)
1.1μm/℃
(0.5μm/℃)
1.8μm/℃
(1.0μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
レーザの安全性 クラス1(IEC/EN60825-1)
材質 筐体:アルミダイカスト
ファイバケーブル被覆部:PVC
キャリブレーションROM:PC
筐体:SUS
ファイバケーブル被覆部: PVC
キャリブレーションROM: PC
取付プレート:アルミ
筐体:SUS、アルミ
ファイバケーブル被覆部: PVC
キャリブレーションROM: PC
取付プレート:アルミ
ファイバケーブル長 0.3m、2m(耐屈曲ケーブル)
ファイバケーブル最小曲げ半
20mm
絶縁抵抗
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:AC1000V、50/60Hz、1分間
質量 ファイバケーブル長0.3m:約170g
ファイバケーブル長2m:約180g
ファイバケーブル長0.3m:約27g
ファイバケーブル長2m:約37g
ファイバケーブル長0.3m:約31g
ファイバケーブル長2m:約41g
付属品 キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1
本、ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、
取扱説明書、ご使用上の注意
取付プレート:1個、本体固定用ネジ(M2×10mm):4本、
キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1本、
ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、
取扱説明書、ご使用上の注意

*1. センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、ペン型ライトアングルタイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.15mmの個体差があります。
*2. 測定範囲は測定周期が100μs以上の場合
*3. 当社標準の鏡面対象物を測定中心距離にて平均回数16384回で測定した場合の実力値
   輸出管理貿易令対応センサコントローラ(形ZW-8000T)と接続した場合は、センサヘッドや設定条件にかかわらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*4. 当社標準の鏡面対象物を材質設定:鏡面で測定した場合の理想直線に対する誤差
*5. 測定波長のピーク光強度の1/e2(13.5%)で定義した実力値
*6. 2m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000ユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。
*7. センサヘッドと対象物の間をアルミ治具で固定し、センサヘッドとセンサコントローラを同一温度環境に設置した場合の測定中心距離における測定値の変化量の実力値。()内はSUS 304冶具時の実力値。
   厚み測定の場合は、表面・裏面各高さの差分から算出するため温度変化の影響を受けません。

形ZW-S7010/S7020/S7030/S7040/SP7007/SP7010/SPR7007/SPR7010

形式 形ZW-S7010 形ZW-S7020 形ZW-S7030 形ZW-S7040 形ZW-SP7007 形ZW-SP7010 形ZW-SPR7007 形ZW-SPR7010
適用センサコントローラ 形ZW-7000□
センサヘッドタイプ 角型ストレートタイプ ペン型ストレートタイプ ペン型ライトアングルタイプ
測定中心距離 *1 10mm 20mm 30mm 40mm 7mm 10mm 7mm 10mm
測定範囲 *2 ±0.5mm ±1mm ±2mm ±3mm ±0.3mm ±0.7mm ±0.3mm ±0.7mm
静止分解能 *3 0.004μm 0.008μm 0.016μm 0.024μm 0.004μm 0.006μm 0.006μm 0.009μm
リニアリティ *4 ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm ±3.0μm ±0.45μm ±0.7μm ±0.7μm ±1.1μm
スポット径
(測定範囲内全領域) *5
φ50μm φ70μm φ100μm φ120μm φ130μm φ170μm φ150μm φ190μm
測定周期 *6 20μs~400μs
使用周囲照度 物体面照度30,000Lx以下:白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時0~50℃、保存時-15~+60℃(ただし、氷結・結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露しないこと)
保護構造 IP40(IEC60529)
振動(耐久) 10~150Hz(片方振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 80分
衝撃(耐久) 150m/s2、6方向、 各3回(上下・左右・前後)
温度特性 *7 0.6μm/℃
(0.2μm/℃)
1.1μm/℃
(0.5μm/℃)
1.8μm/℃
(1.0μm/℃)
2.1μm/℃
(1.2μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
材質 筐体:アルミダイカスト
ファイバケーブル被覆部:PVC
キャリブレーションROM:PC
筐体:SUS
ファイバケーブル被覆部:PVC
キャリブレーションROM:PC
取付プレート:アルミ
筐体:SUS、アルミ
ファイバケーブル被覆部:PVC
キャリブレーションROM:PC
取付プレート:アルミ
ファイバケーブル長 0.3m、2m(耐屈曲ケーブル)
ファイバケーブル
最小曲げ半径
20mm
絶縁抵抗
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:AC1000V、50/60Hz、1分間
質量 ファイバケーブル長0.3m:約170g
ファイバケーブル長2m:約180g
ファイバケーブル長 0.3m:約27g
ファイバケーブル長2m: 約37g
ファイバケーブル長 0.3m:約31g
ファイバケーブル長2m: 約41g
付属品 キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1本、
ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:2個、
取扱説明書、ご使用上の注意
取付プレート:1個、本体固定用ネジ(M2×10mm):4本、
キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1本、
ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:2個、
取扱説明書、ご使用上の注意

*1. センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、ペン型ライトアングルタイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.15mmの個体差があります。
*2. 測定範囲は測定周期が28μs以上の場合
*3. 当社標準の鏡面対象物を測定中心距離にて平均回数16384回で測定した場合の実力値
   輸出管理貿易令対応センサコントローラ(形ZW-7000T)と接続した場合は、センサヘッドや設定条件にかかわらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*4. 当社標準の鏡面対象物を材質設定:鏡面で測定した場合の理想直線に対する誤差
*5. 測定波長のピーク光強度の1/e2(13.5%)で定義した実力値
*6. 10m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000ユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。
*7. センサヘッドと対象物の間をアルミ治具で固定し、センサヘッドとセンサコントローラを同一温度環境に設置した場合の測定中心距離における測定値の変化量の実力値。()内はSUS 304冶具時の実力値。
   厚み測定の場合は、表面・裏面各高さの差分から算出するため温度変化の影響を受けません。

形ZW-S5010/S5020/S5030/SP5007/SP5010/SPR5007/SPR5010

形式 形ZW-S5010 形ZW-S5020 形ZW-S5030 形ZW-SP5007 形ZW-SP5010 形ZW-SPR5007 形ZW-SPR5010
適用センサコントローラ 形ZW-5000□
センサヘッドタイプ 角型ストレートタイプ ペン型ストレートタイプ ペン型ライトアングルタイプ
測定中心距離*1 10mm 20mm 30mm 7mm 10mm 7mm 10mm
測定範囲 ±0.5mm ±1mm ±2mm ±0.3mm ±0.7mm ±0.3mm ±0.7mm
静止分解能 *2 0.004μm 0.008μm 0.016μm 0.004μm 0.006μm 0.006μm 0.009μm
リニアリティ *3 ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm ±0.45μm ±0.7μm ±0.7μm ±1.1μm
スポット径
(測定範囲内全領域) *4
φ9μm φ13μm φ18μm φ13μm φ18μm φ15μm φ20μm
測定周期 *5 80μs~1,600μs
使用周囲照度 物体面照度30,000Lx以下:白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時0~50℃、保存時-15~+60℃(ただし、氷結・結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露しないこと)
保護構造 IP40(IEC60529)
振動(耐久) 10~150Hz(片方振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 80分
衝撃(耐久) 150m/s2、6方向、 各3回(上下・左右・前後)
温度特性 *6 0.6μm/℃
(0.2μm/℃)
1.1μm/℃
(0.5μm/℃)
1.8μm/℃
(1.0μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
0.8μm/℃
(0.4μm/℃)
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
材質 筐体:アルミダイカスト
ファイバケーブル被覆部:PVC
キャリブレーションROM:PC
筐体:SUS
ファイバケーブル被覆部: PVC
キャリブレーションROM:PC
取付プレート:アルミ
筐体:SUS、アルミ
ファイバケーブル被覆部: PVC
キャリブレーションROM: PC
取付プレート:アルミ
ファイバケーブル長 0.3m、2m(耐屈曲ケーブル)
ファイバケーブル
最小曲げ半径
20mm
絶縁抵抗
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧
(キャリブレーションROM)
ケースと端子一括間:AC1000V、50/60Hz、1分間
質量 ファイバケーブル長0.3m:約170g
ファイバケーブル長2m:約180g
ファイバケーブル長0.3m: 約29g
ファイバケーブル長2m: 約39g
ファイバケーブル長0.3m: 約33g
ファイバケーブル長2m: 約43g
付属品 キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1本、
ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、
取扱説明書、ご使用上の注意
取付プレート:1個、本体固定用ネジ(M2×10mm):4 本、
キャリブレーションROM固定用ネジ(M2×5mm):1本、
ファイバ保護キャップ:1個、ストラップ:1個、
取扱説明書、ご使用上の注意

*1. センサヘッド前面からの距離を表しています。なお、ペン型ライトアングルタイプについてはセンサヘッド前面からの距離に最大±0.15mmの個体差があります。
*2. 当社標準の鏡面対象物を測定中心距離にて平均回数16384回で測定した場合の実力値
   輸出管理貿易令対応センサコントローラ(形ZW-5000T)と接続した場合は、センサヘッドや設定条件にかかわらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*3. 当社標準の鏡面対象物を材質設定:鏡面で測定した場合の理想直線に対する誤差
*4. 測定波長のピーク光強度の1/e2(13.5%)で定義した実力値
*5. 5m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000ユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。
*6. センサヘッドと対象物の間をアルミ治具で固定し、センサヘッドとセンサコントローラを同一温度環境に設置した場合の測定中心距離における測定値の変化量の実力値。()内はSUS 304冶具時の実力値。
   厚み測定の場合は、表面・裏面各高さの差分から算出するため温度変化の影響を受けません。

センサコントローラ

項目 仕様
形ZW-8000□ 形ZW-7000□ 形ZW-5000□
入出力タイプ NPN/PNP共用
センサヘッド接続台数 1台
適用センサヘッド 形ZW-S80□□/ZW-SP80□□/
ZW-SPR80□□
形ZW-S70□□/ZW-SP70□□/
ZW-SPR70□□
形ZW-S50□□/ZW-SP50□□/
ZW-SPR50□□
LEDの安全性 リスクグループ1(IEC62471)
レーザの安全性 クラス1(IEC/EN60825-1)
セグメント
表示
メインデジタル表示 11セグメント白色表示、6桁
サブデジタル表示 11セグメント緑色表示、6桁
表示灯 状態表示灯 HIGH(橙色)、PASS(緑色)、LOW(橙色)、STABILITY(緑色)、ZERO(緑色)、ENABLE(緑色)、
THRESHOLD-H(橙色)、THRESHOLD-L(橙色)、RUN(緑色)
EtherCAT表示灯 ECAT RUN(緑色)、L/A IN(Link/Activity IN)(緑色)、L/A OUT(Link/Activity OUT)(緑色)、
ECAT ERR(赤色)
外部
インタ
フェース
Ethernet 100BASE-TX/10BASE-T 無手順(TCP/UDP)、EtherNet/IP
EtherCAT EtherCAT専用プロトコル100BASE-TX
RS-232C 最大115,200bps
アナログ
出力端子台
アナログ電圧出力
(OUTV)
-10V~+10V、出力インピーダンス:100Ω
アナログ電流出力
(OUTA)
4mA~20mA、最大負荷抵抗:300Ω
32極拡張
コネクタ
判定出力(HIGH/
PASS/LOW)
トランジスタ出力方式
出力電圧:DC21.6~30V
負荷電流:50mA以下 
ON時残留電圧:2V以下
OFF時漏れ電流:0.1mA以下
ビジー出力(BUSY)
アラーム出力
(ALARM)
イネーブル出力
(ENABLE)
シンクフラグ出力
(SYNFLG)
トリガビジー出力
(TRIGBUSY)
ロギングステート出力
(LOGSTAT)
ロギングエラー出力
(LOGERR)
スタビリティ出力
(STABILITY)
タスクステート出力
(TASKSTAT)
LIGHTオフ入力
(LIGHT OFF)
DC入力方式
入力電圧:DC24V±10%(DC21.6~26.4V)
入力電流:7mA Typ.(DC24V)
ON電圧/ON電流:19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流:5V/1mA以下
ゼロリセット入力
(ZERO)
タイミング入力
(TIMING)
リセット入力
(RESET)
シンク入力(SYNC)
トリガ入力(TRIG)
ロギング入力
(LOGGING)
バンク 選択中
バンク出力
(BANK_
OUT 1~3)
トランジスタ出力方式
出力電圧:DC21.6~30V
負荷電流:50mA以下
ON時残留電圧:2V以下
OFF時漏れ電流:0.1mA以下
バンク
選択入力
(BANK_
SEL 1~3)
DC入力方式
入力電圧:DC24V±10%(DC21.6~26.4V)
入力電流:7mA Typ.(DC24V)
ON電圧/ON電流:19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流:5V/1mA以下
主な機能 露光時間 オート/固定
測定周期 *1 60μs~7,500μs 20μs~400μs 80μs~1,600μs
材質指定 標準/鏡面/粗面
測定アイテム 高さ/厚み/演算
フィルタ処理 メディアン/平均/微分/ハイパス/ローパス/バンドパス
出力 スケーリング/各種ホールド/ゼロリセット/測定値ロギング/キープ・クランプ
表示 測定値/しきい値/アナログ出力電圧値または電流値/判定結果/分解能/投光量/内部ロギング状態/ピーク受光量
設定登録数 標準モード:最大8バンク
判定値モード:最大32バンク
タスク処理 マルチタスク(1バンクあたり最大4タスク)
システム セーブ/初期化/測定情報表示/通信設定/センサヘッド校正/キーロック/ゼロリセットメモリ/タイミング入力
定格 電源電圧 DC21.6V~26.4V(リップル含む)
消費電流 700mA以下 800mA以下
絶縁抵抗 リード線一括とFG端子間:20MΩ(250Vメガにて)
耐電圧 リード線一括とFG端子間:AC500V、50/60Hz、1分間
耐環境性 保護構造 IP20(IEC60529)
振動(耐久) 10~55Hz(片振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 50分
衝撃(耐久) 150m/s2、6方向、各3回(上下・左右・前後)
周囲温度範囲 動作時:0~40℃、保存時:-15~+60℃
(ただし、氷結、結露しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし結露しないこと)
接地 D種接地(接地抵抗100Ω以下)*従来の第三種接地
材質 筐体:PC
質量 約950g(本体のみ)、
約150g(パラレルケーブル)
約900g(本体のみ)、約150g(パラレルケーブル)
付属品 パラレルケーブル:1本(形ZW-XCP2E)、
ファイバクリーナ:10本(形ZW-XCL)、
取扱説明書、会員登録シート、ご使用上の注意
パラレルケーブル:1本(形ZW-XCP2E)、
ファイバクリーナ:10本(形ZW-XCL)、
ファイバアダプタキャップ:1個、
ストラップ:1個、
取扱説明書、会員登録シート、ご使用上の注意

注. 輸出管理貿易令対応センサコントローラ(形ZW-8000T/7000T/5000T)をご用意しております。
  このセンサコントローラをご使用の場合は、接続されるセンサヘッドや設定条件に関わらず、最小分解能は0.25μmとなります。
*1. 形ZW-8000シリーズでは2m以上、形ZW-7000シリーズでは10m以上、形ZW-5000シリーズでは5m以上の延長用ファイバケーブルを接続した場合、測定周期(露光時間)の設定範囲が変わります。詳細は、ZW-8000/7000/5000ユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「測定周期を設定する」を参照してください。

EtherCAT通信仕様

項目 仕様
通信規格 IEC61158 Type12
物理層 100BASE-TX(IEEE802.3)
コネクタ RJ45×2
EtherCAT IN : EtherCAT入力
EtherCAT OUT : EtherCAT出力
通信媒体 カテゴリ5以上ツイストペアケーブル(アルミテープと編組の二重遮へいシールドケーブル、ストレートを推奨)
通信距離 ノード間距離 100m以内
プロセスデータ 可変PDOマッピング(variable PDO mapping)
メールボックス(CoE) エマージェンシーメッセージ、SDOリクエスト、SDOレスポンス、SDOインフォメーション
ディストリビューテッドクロック DCモードによる同期
LED表示 L/A IN (Link/Activity IN)×1、L/A OUT (Link/Activity OUT)×1、ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

オートメーションソフトウェア Sysmac Studio

項目 動作環境 *3
オペレーティングシステム(OS) *1
日本語版または英語版
Windows 7(32bit版/64bit版)/ Windows 8(32bit版/64bit版)/ Windows 8.1(32bit版/64bit版)/
Windows 10(32bit版/64bit版)
CPU Intel® Celeron® processor 540(1.8GHz)以上のプロセッサを搭載したDOS/V(IBM AT 互換機)パーソナルコンピュータ。
Intel®CoreTM i5 M520 processo(r 2.4GHz)、または相当以上のプロセッサを搭載したDOS/V(IBM AT 互換機)
パーソナルコンピュータを推奨。
メインメモリ 2GB以上
4GB以上を推奨
ハードディスク 4.6GB以上の空き容量 *2
ディスプレイ XGA 1024×768、1600万色 WXGA 1280×800ドット以上を推奨
ディスク装置 DVD-ROMドライブ
通信ポート USB2.0対応USBポートまたはEthernetポート *4
対応言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、中国語簡体字、中国語繁体字、韓国語

*1. Sysmac Studio対応オペレーティングシステムのご注意:
   必要システム、ハードディスク容量は、システム環境によって異なる場合がありますので、ご注意ください。
*2. ファイルロギング機能を用いる場合は、別途、ロギング用のメモリが必要です。
*3. 動作環境、注意事項は変位センサエディションに関する記載となります。スタンダードエディションに関する動作環境及び注意事項はSysmac Studio Version1 オペレーションマニュアル(SBCA-470)をご参照ください。
*4. パソコンとコントローラなどのハードウェアを接続する方法/ケーブルにつきましては各ハードウェアのマニュアルをご参照ください。

バージョン情報

センサヘッド/ケーブルに対応するセンサコントローラのバージョンとSysmac Studioの関係

センサヘッド、ケーブルにより使用可能なセンサコントローラのバージョンが異なります。下表に記載のバージョンでお使いください。
Sysmac Studio スタンダードエディション/変位センサエディションは、最新版をお使いください。

センサヘッド/ケーブル形式 センサコントローラ形式 センサコントローラの
バージョン
Sysmac Studio スタンダードエディション/
変位センサエディションの対応バージョン
タイプ 形式
角型ストレートタイプ 形ZW-S80□0 □M 形ZW-8000□ Ver.3.000以降 Ver.1.22以降で使用できます。
ペン型ストレートタイプ 形ZW-SP8007 □M
形ZW-SP8010 □M
ペン型ライトアングルタイプ 形ZW-SPR8007 □M
形ZW-SPR8010 □M
延長用ファイバケーブル 形ZW-XF80□□R
角型ストレートタイプ 形ZW-S70□0 □M 形ZW-7000□ Ver.2.030以降 Ver.1.15以降で使用できます。
ペン型ストレートタイプ 形ZW-SP7007 □M
形ZW-SP7010 □M
Ver.2.110以降
ペン型ライトアングルタイプ 形ZW-SPR7007 □M
形ZW-SPR7010 □M
延長用ファイバケーブル 形ZW-XF7002R
形ZW-XF7005R
Ver.2.030以降
形ZW-XF7010R
形ZW-XF7020R
形ZW-XF7030R
Ver.2.100以降
角型ストレートタイプ 形ZW-S50□0 □M 形ZW-5000□ Ver.2.100以降 Ver.1.18以降で使用できます。
ペン型ストレートタイプ 形ZW-SP5007 □M
形ZW-SP5010 □M
Ver.2.110以降
ペン型ライトアングルタイプ 形ZW-SPR5007 □M
形ZW-SPR5010 □M
延長用ファイバケーブル 形ZW-XF50□□R Ver.2.100以降

注. センサコントローラのバージョンアップ方法はZW-8000/7000/5000ユーザーズマニュアル(SCEA-702)の「ファームウェアのアップデート」を参照してください。