定格/性能
| 項目 | タイプ | 標準 | センサ通信ユニット用 *1 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| NPN出力 | 形E3X-HD11 | 形E3X-HD6 | 形E3X-HD14 | 形E3X-HD0 | |
| PNP出力 | 形E3X-HD41 | 形E3X-HD8 | 形E3X-HD44 | ||
| 接続方式 | コード引き出し | 省配線コネクタ
*2 |
M8コネクタ | センサ通信ユニット用コネクタ | |
| 光源(発光波長) | 赤色4元素発光ダイオード(625nm) | ||||
| 電源電圧 | DC12~24V±10% リップル(p-p)10%以下 | センサ通信ユニットを通して
コネクタより供給 |
|||
| 消費
電力 |
通常モード | 720mW以下
(電源電圧24V時、 消費電流30mA以下/電源電圧12V時、 消費電流60mA以下) |
|||
| エコ機能ON | 530mW以下
(電源電圧24V時、 消費電流22mA以下/電源電圧12V時、 消費電流44mA以下) |
||||
| エコ機能LO | 640mW以下(電源電圧24V時、消費電流26mA
以下/電源電圧12V時、消費電流53mA以下) |
─ | |||
| 制御出力 | 負荷電源電圧:DC26.4V以下 オープンコレクタ出
力形 負荷電流 : 1~3台連結時 100mA以下 4台以上連結時 20mA以下 残留電圧: 負荷電流 10mA未満 1V以下 負荷電流 10~100mA 2V以下 オフ状態電流:0.1mA以下 |
─ | |||
| 保護回路 | 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護 | 電源逆接続保護、出力短絡保護 | |||
| 応答
時間 |
最速モード(SHS)
*3 |
NPN出力 動作・復帰:各50μs
PNP出力 動作・復帰:各55μs |
─ | ||
| 高速モード(HS) | 動作・復帰:各250μs( 工場出荷時設定) | ||||
| 標準モード(Stnd) | 動作・復帰:各1ms | ||||
| ギガパワーモード
(GIGA) |
動作・復帰:各16ms | ||||
| 最大連結台数 | 16台 | 形E3X-CRT使用時 16台、
形E3X-ECT使用時 30台 |
|||
| 相互干渉防止台数 | 10台(光通信同期式) *3 | ||||
| オートパワーコントロール
(APC) |
常時有効 | ||||
| その他機能 | パワーチューニング、 微分機能、 DPC機能、 タイマ(オフディレイ/オンディレイ/
ワンショット)、ゼロリセット、 設定リセット、 エコモード |
||||
| 使用周囲照度 | 受光面照度 白熱ランプ : 20,000lx以下、 太陽光 : 30,000lx以下 | ||||
| 周囲温度範囲 | 動作時:
1~2台連結時:-25~+55℃、 3~10台連結時:-25~+50℃、 11~16台連結時:-25~+45℃ 保存時 :-30~+70℃ (ただし、氷結、結露しないこと) |
動作時:
1~2台連結時:0~55℃、 3~10台連結時:0~50℃、 11~16台連結時:0~45℃、 17~30台連結時:0~40℃ 保存時 : -30~+70℃ (ただし、氷結、結露しないこと) |
|||
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時:各35~85%RH(ただし、結露しないこと) | ||||
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上(DC500Vメガにて) | ||||
| 耐電圧 | AC1,000V 50/60Hz 1min | ||||
| 振動(耐久) | 10~55Hz 複振幅 1.5mm X、Y、Z各方向 2h | 10~150Hz 複振幅 0.7mm
X、Y、Z各方向 80min |
|||
| 衝撃(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回 | 150m/s2 X、Y、Z各方向 3回 | |||
| 保護構造 | IEC規格 IP50(保護カバー装着時) | ─ | |||
| 質量
(梱包状態/本体のみ) |
約105g/約65g | 約60g/約20g | 約70g/約25g | 約65g/約25g | |
| 材質 | ケース | ポリカーボネート(PC) | 耐熱ABS(コネクタ:PBT) | ||
| カバー | ポリカーボネート(PC) | ||||
| ケーブル | PVC | ─ | |||
| 付属品 | 取扱説明書 | ||||
*1. EtherCAT対応通信ユニットE3X-ECT、 CompoNet対応通信ユニットE3X-CRTに対応します。
*2. E3X-CN11(親コネクタ3芯)、 E3X-CN12(子コネクタ1芯)どちらのコネクタでも使用できます。
*3. 検出機能を最速モード(SHS)に選択した場合は、 通信機能が無効となり、 相互干渉防止機能および通信機能は使用できません。
パワーチューニングを実施したE3X-DA-Sを含んで連結した場合は、相互干渉防止台数は6台まで、
パワーチューニングを実施したE3X-MDAを含んで連結した場合は、相互干渉防止台数は5台までとなります。
形E3X-DA-Sシリーズは、2017年3月末および2019年3月に受注終了しました。
形E3X-MDAシリーズは、2021年8月末に受注終了予定です。
検出距離
ねじ型
| 検出方式 | 検出方向 | サイズ | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 透過形 | ライトアングル | M4 | 形E32-T11N 2M | 2,000 | 1,000 | 700 | 280 |
| 形E32-LT11N 2M | 4,000 * | 3,500 | 2,300 | 920 | |||
| ストレート | 形E32-T11R 2M | 2,000 | 1,000 | 700 | 280 | ||
| 形E32-LT11 2M | 4,000 * | 4,000 * | 2,700 | 1,080 | |||
| 形E32-LT11R 2M | 4,000 * | 3,500 | 2,300 | 920 | |||
| 反射形 | ライトアングル | M3 | 形E32-C31N 2M | 110 | 50 | 46 | 14 |
| 形E32-C21N 2M | 290 | 130 | 90 | 39 | |||
| M4 | 形E32-D21N 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | ||
| M6 | 形E32-C11N 2M | 780 | 350 | 320 | 100 | ||
| 形E32-LD11N 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | |||
| ストレート | M3 | 形E32-D21R 2M | 140 | 60 | 40 | 16 | |
| 形E32-C31 2M | 330 | 150 | 100 | 44 | |||
| 形E32-C31M 1M | |||||||
| M4 | 形E32-D211R 2M | 140 | 60 | 40 | 16 | ||
| M6 | 形E32-D11R 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | ||
| 形E32-CC200 2M | 1,400 | 600 | 400 | 180 | |||
| 形E32-LD11 2M | 860 | 360 | 250 | 110 | |||
| 形E32-LD11R 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | |||
*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
円柱型
| 検出方式 | サイズ | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 透過形 | φ1 | トップビュー | 形E32-T223R 2M | 450 | 250 | 150 | 60 |
| φ1.5 | 形E32-T22B 2M | 680 | 400 | 220 | 90 | ||
| φ3 | 形E32-T12R 2M | 2,000 | 1,000 | 700 | 280 | ||
| サイドビュー | 形E32-T14LR 2M | 750 | 450 | 260 | 100 | ||
| 反射形 | φ1.5 | トップビュー | 形E32-D22B 2M | 140 | 60 | 40 | 16 |
| φ1.5+φ0.5 | 形E32-D43M 1M | 28 | 12 | 8 | 4 | ||
| φ3 | 形E32-D22R 2M | 140 | 60 | 40 | 16 | ||
| 形E32-D221B 2M | 300 | 140 | 90 | 40 | |||
| 形E32-D32L 2M | 700 | 300 | 200 | 90 | |||
| φ3+φ0.8 | 形E32-D33 2M | 70 | 30 | 20 | 8 | ||
フラット形
| 検出方式 | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 透過形 | トップビュー | 形E32-T15XR 2M | 2,000 | 1,000 | 700 | 280 |
| サイドビュー | 形E32-T15YR 2M | 750 | 450 | 260 | 100 | |
| フラットビュー | 形E32-T15ZR 2M | |||||
| 反射形 | トップビュー | 形E32-D15XR 2M | 840 | 350 | 240 | 100 |
| サイドビュー | 形E32-D15YR 2M | 200 | 100 | 52 | 24 | |
| フラットビュー | 形E32-D15ZR 2M | |||||
スリーブ形
| 検出方式 | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 透過形 | サイドビュー | 形E32-T24R 2M | 170 | 100 | 50 | 20 |
| 形E32-T24E 2M | 450 | 250 | 150 | 60 | ||
| トップビュー | 形E32-T33 1M | 150 | 90 | 50 | 20 | |
| 形E32-T21-S1 2M | 510 | 300 | 170 | 68 | ||
| 形E32-TC200BR 2M | 2,000 | 1,000 | 700 | 280 | ||
| 反射形 | サイドビュー | 形E32-D24R 2M | 70 | 30 | 20 | 8 |
| 形E32-D24-S2 2M | 120 | 53 | 45 | 14 | ||
| トップビュー | 形E32-D43M 1M | 28 | 12 | 8 | 4 | |
| 形E32-D331 2M | 14 | 6 | 4 | 2 | ||
| 形E32-D33 2M | 70 | 30 | 20 | 8 | ||
| 形E32-D32-S1 0.5M | 63 | 27 | 18 | 7 | ||
| 形E32-D31-S1 0.5M | ||||||
| 形E32-DC200F4R 2M | 140 | 60 | 40 | 16 | ||
| 形E32-D22-S1 2M | 250 | 110 | 72 | 30 | ||
| 形E32-D21-S3 2M | ||||||
| 形E32-DC200BR 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | ||
| 形E32-D25-S3 2M | 250 | 110 | 72 | 30 | ||
小スポット反射
| 種類 | スポット径 | 中心距離
(mm) |
形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 可変スポット | φ0.1~0.6 | 6~15 | 形E32-C42 1M+形E39-F3A | 6~15mmでスポット径φ0.1~0.6mm | |||
| φ0.3~1.6 | 10~30 | 形E32-C42 1M+形E39-F17 | 10~30mmでスポット径φ0.3~1.6mm | ||||
| 平行光 | φ4 | 0~20 | 形E32-C31 2M+形E39-F3C | 0~20mmでスポット径φ4mm以下 | |||
| 形E32-C31N 2M+形E39-F3C | |||||||
| 一体型 | φ0.1 | 5 | 形E32-C42S 1M | 5mmでスポット径φ0.1mm | |||
| φ6 | 50 | 形E32-L15 2M | 50mmでスポット径φ6mm | ||||
| 小スポット | φ0.1 | 7 | 形E32-C41 1M+形E39-F3A-5 | 7mmでスポット径φ0.1mm | |||
| φ0.5 | 形E32-C31 2M+形E39-F3A-5 | 7mmでスポット径φ0.5mm | |||||
| 形E32-C31N 2M+形E39-F3A-5 | |||||||
| φ0.2 | 17 | 形E32-C41 1M+形E39-F3B | 17mmでスポット径φ0.2mm | ||||
| φ0.5 | 形E32-C31 2M+形E39-F3B | 17mmでスポット径φ0.5mm | |||||
| 形E32-C31N 2M+形E39-F3B | |||||||
| φ3 | 50 | 形E32-CC200 2M+形E39-F18 | 50mmでスポット径φ3mm | ||||
| 形E32-C11N 2M+形E39-F18 | |||||||
ハイパワー
| 種類 | 検出方向 | 開口角 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 透過形
一体型 |
ライトアングル | 15° | 形E32-LT11N 2M | 4,000
*2 |
3,500 | 2,300 | 920 |
| トップビュー | 10° | 形E32-T17L 10M | 20,000
*1 |
20,000
*1 |
20,000
*1 |
8,000 | |
| 15° | 形E32-LT11 2M | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
2,700 | 1,080 | ||
| 形E32-LT11R 2M | 4,000
*2 |
3,500 | 2,300 | 920 | |||
| サイドビュー | 30° | 形E32-T14 2M | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
1,800 | |
| 透過形
レンズ 装着 |
ライトアングル | 12° | 形E32-T11N 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
2,000 |
| 6° | 形E32-T11N 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
3,600 | ||
| トップビュー | 12° | 形E32-T11R 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
2,000 | |
| 6° | 形E32-T11R 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
3,600 | ||
| サイドビュー | 60° | 形E32-T11R 2M+形E39-F2 | 1,450 | 800 | 500 | 200 | |
| トップビュー | 12° | 形E32-T11 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
1,860 | |
| 6° | 形E32-T11 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
||
| サイドビュー | 60° | 形E32-T11 2M+形E39-F2 | 2,300 | 1,320 | 860 | 320 | |
| トップビュー | 12° | 形E32-T51R 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
3,900 | 1,500 | |
| 6° | 形E32-T51R 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
||
| サイドビュー | 60° | 形E32-T51R 2M+形E39-F2 | 1,400 | 720 | 500 | 200 | |
| トップビュー | 12° | 形E32-T81R-S 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
2,700 | 1,000 | |
| 6° | 形E32-T81R-S 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
1,800 | ||
| サイドビュー | 60° | 形E32-T81R-S 2M+形E39-F2 | 1,000 | 550 | 360 | 140 | |
| トップビュー | 12° | 形E32-T61-S 2M+形E39-F1 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
1,800 | |
| 6° | 形E32-T61-S 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
3,100 | ||
| サイドビュー | 60° | 形E32-T61-S 2M+形E39-F2 | 1,680 | 900 | 600 | 240 | |
| トップビュー | 12° | 形E32-T51 2M+形E39-F1-33 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
2,300 | 1,400 | |
| 6° | 形E32-T51 2M+形E39-F16 | 4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
4,000
*2 |
||
| 反射形
一体型 |
トップビュー | 4° | 形E32-D16 2M | 40~
2,800 |
40~
1,400 |
40~
900 |
40~
480 |
*1. ファイバ長が片側10mのため、20,000mmとしています。
*2. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
狭視界
| 検出方式 | 検出方向 | 開口角 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | ||||
| 透過形 | サイドビュー | 1.5° | 形E32-A03 2M | 3,220 | 1,780 | 1,200 | 500 |
| 形E32-A03-1 2M | |||||||
| 3.4° | 形E32-A04 2M | 1,280 | 680 | 450 | 200 | ||
| 4° | 形E32-T24SR 2M | 4,000 * | 2,200 | 1,460 | 580 | ||
| 形E32-T24S 2M | 4,000 * | 2,600 | 1,740 | 700 | |||
| 形E32-T22S 2M | 4,000 * | 3,800 | 2,500 | 1,000 | |||
*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
背景をとらずに検出
| 検出方式 | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 限定反射形 | フラットビュー | 形E32-L16-N 2M | 0~15 | 0~12 | ||
| 形E32-L24S 2M | 0~4 | |||||
| サイドビュー | 形E32-L25L 2M | 5.4~9(中心7.2) | ||||
透明体検出(回帰反射形)
| 検出方式 | 特長 | サイズ | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 回帰反射形 | フィルム検出 | M3 | 形E32-C31 2M
+形E39-F3R +形E39-RP37 |
250 | 200 | ― | |
| 角型 | ― | 形E32-R16 2M | 150~1,500 | ||||
| ねじ型 | M6 | 形E32-R21 2M | 10~250 | ||||
| ナット型 | 形E32-LR11NP 2M
+形E39-RP1 |
1,350 | 1,200 | 1,000 | 550 | ||
透明体検出(限定反射形)
| 検出方式 | 特長 | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 限定反射形 | 小型 | フラットビュー | 形E32- L24S 2M | 0~4 | |||
| 標準 | 形E32-L16-N 2M | 0~15 | 0~12 | ||||
| ガラス基板
アライメント70℃ |
形E32-A08 2M | 10~20 | ― | ||||
| 標準/長距離 | 形E32-A12 2M | 12~30 | ― | ||||
| サイドビュー形状 | サイドビュー | 形E32-L25L 2M | 5.4~9(中心7.2) | ||||
| ガラス基板
マッピング70℃ |
トップビュー | 形E32-A09 2M | 15~38 | ― | |||
耐薬品/耐油
| 検出
方式 |
種類 | 検出方向 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 透過形 | 耐油 | ライトアン
グル |
形E32-T11NF 2M | 4,000 *1 | 4,000 *1 | 4,000 *1 | 2,200 |
| 耐薬品/油 | トップビュー | 形E32-T12F 2M | 4,000 *1 | 4,000 *1 | 4,000 *1 | 1,600 | |
| 形E32-T11F 2M | 4,000 *1 | 4,000 *1 | 2,600 | 1,000 | |||
| サイドビュー | 形E32-T14F 2M | 1,400 | 800 | 500 | 200 | ||
| 耐薬品/油150℃ | トップビュー | 形E32-T51F 2M | 4,000 *1 | 2,800 | 1,800 | 700 | |
| 反射形 | 半導体:洗浄・
現像・エッチン グ60℃ |
トップビュー | 形E32-L11FP 2M | レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから19~31mm(推奨検出距離:22mm) |
|||
| 半導体:
剥離85℃ |
形E32-L11FS 2M | レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから32~44mm(推奨検出距離:35mm) |
|||||
| 耐薬品/油 | 形E32-D12F 2M | ― *2 | 190 | 130 | 60 | ||
| ケーブルのみ
耐薬品 |
形E32-D11U 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | ||
*1. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
*2. 検出物体が無くてもフッ素樹脂に反射して入光状態になります。
耐屈曲
| 検出方式 | サイズ | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 透過形 | φ1.5 | 形E32-T22B 2M | 680 | 400 | 220 | 90 |
| M3 | 形E32-T21 2M | |||||
| M4 | 形E32-T11 2M | 2,500 | 1,350 | 900 | 360 | |
| 角型 | 形E32-T25XB 2M | 500 | 300 | 170 | 70 | |
| 反射形 | φ1.5 | 形E32-D22B 2M | 140 | 60 | 40 | 16 |
| M3 | 形E32-D21 2M | |||||
| φ3 | 形E32-D221B 2M | 300 | 140 | 90 | 40 | |
| M4 | 形E32-D21B 2M | |||||
| M6 | 形E32-D11 2M | 840 | 350 | 240 | 100 | |
| 角型 | 形E32-D25XB 2M | 240 | 100 | 60 | 30 | |
耐熱
| 検出方式 | 耐熱温度 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 透過形 | 100℃ | 形E32-T51R 2M | 1,600 | 800 | 560 | 225 |
| 150℃ | 形E32-T51 2M | 2,800 | 1,500 | 1,000 | 400 | |
| 200℃ | 形E32-T81R-S 2M | 1,000 | 550 | 360 | 140 | |
| 350℃ | 形E32-T61-S 2M | 1,680 | 900 | 600 | 240 | |
| 反射形 | 100℃ | 形E32-D51R 2M | 670 | 280 | 190 | 80 |
| 150℃ | 形E32-D51 2M | 1,120 | 450 | 320 | 144 | |
| 200℃ | 形E32-D81R-S 2M | 420 | 180 | 120 | 54 | |
| 300℃ | 形E32-A08H2 2M | 10~20 | ― | |||
| 形E32-A09H2 2M | 20~30(中心25) | ― | ||||
| 350℃ | 形E32-D611-S 2M | 420 | 180 | 120 | 54 | |
| 形E32-D61-S 2M | ||||||
| 400℃ | 形E32-D73-S 2M | 280 | 120 | 80 | 36 | |
エリア検出
| 検出方式 | タイプ | 検出幅 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | ||||
| 透過形 | エリア | 11mm | 形E32-T16PR 2M | 3,100 | 1,700 | 1,120 | 440 |
| 形E32-T16JR 2M | 2,750 | 1,500 | 960 | 380 | |||
| 30mm | 形E32-T16WR 2M | 4,000 * | 2,600 | 1,700 | 680 | ||
| 反射形 | アレイ | 11mm | 形E32-D36P1 2M | 700 | 300 | 200 | 90 |
*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
液面レベル検出
| 検出方式 | パイプ径 | 特長 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| パイプ取り
つけ |
φ3.2/6.4/
9.5 |
安定残量検出 | 形E32-A01 5M | 適用パイプ:φ3.2/6.4/9.5の透明パイプ、推奨肉厚1mm | |||
| φ8~10 | 複数連装使用 | 形E32-L25T 2M | 適用パイプ:φ8~10mmの透明パイプ、推奨肉厚1mm | ||||
| 制限なし | 大型パイプ | 形E32-D36T 2M | 適用パイプ:透明パイプ、径の制限なし | ||||
| 接液(耐熱
200℃) |
― | ― | 形E32-D82F1 4M | 接液タイプ | |||
耐真空
| 検出方式 | 耐熱温度 | 形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準モード | 高速モード | 最速モード | |||
| 透過形 | 120℃ | 形E32-T51V 1M | 720 | 400 | 260 | 100 |
| 形E32-T51V 1M+E39-F1V | 2,000 * | 2,000 * | 1,360 | 520 | ||
| 200℃ | 形E32-T84SV 1M | 1,760 | 950 | 640 | 260 | |
*ファイバ長が片側1mのため、2,000mmとしています。
FPD/半導体/太陽電池業界
| 検出
方式 |
アプリケーション | 使用
温度 |
形式 | 検出距離(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GIGA
モード |
標準
モード |
高速
モード |
最速
モード |
||||
| 限定
反射形 |
ガラス有無検出 | 70℃ | 形E32-L16-N 2M | 0~15 | 0~12 | ||
| ガラス基板アライ
メント |
形E32-A08 2M | 10~20 | ― | ||||
| 300℃ | 形E32-A08H2 2M | ||||||
| 70℃ | 形E32-A12 2M | 12~30 | ― | ||||
| ガラス基板マッピング | 形E32-A09 2M | 15~38 | ― | ||||
| 300℃ | 形E32-A09H2 2M | 20~30(中心25) | ― | ||||
| WET工程(洗浄、
現像、エッチング) |
60℃ | 形E32-L11FP 2M | レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから19~31mm(推奨検出距離:22mm) |
||||
| WET工程(剥離) | 85℃ | 形E32-L11FS 2M | レンズ先端から8~20mm(推奨検出距離:11mm)
取付穴中心Aから32~44mm(推奨検出距離:35mm) |
||||
| 透過形 | ウエハマッピング | 70℃ | 形E32-A03 2M | 3,220 | 1,780 | 1,200 | 500 |
| 形E32-A03-1 2M | |||||||
| 形E32-A04 2M | 1,280 | 680 | 450 | 200 | |||
| 形E32-T24SR 2M | 4,000 * | 2,200 | 1,460 | 580 | |||
| 形E32-T24S 2M | 4,000 * | 2,600 | 1,740 | 700 | |||
*ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。