F3M-S

マッピングセンサ（くし型）

F3M-S

13段/25段一括マッピングスループットの向上。SICダミーウエハ安定検出により、コストダウン貢献

※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

この商品について

情報更新 : 2013/12/03

プロセスチェック用の半透明の安価なダミーウエハも確実に検出できるので、コストダウンに貢献します。
また、シリコンウエハやガラスウエハが混在したカセットのマッピングも対応します。

注. 透明ウエハの検出対応機種は、形F3M-S625/S626/S825/S826です。
　　検出時の設定条件が制約されますので、必ずご相談ください。

出力調整にオートティーチングを採用。簡単な操作で、設定時間を最短にします。
さらに、リモートティーチングで組み込み後の設定も容易に行えます。

装置の非稼働時間の最短化に貢献します。
注. 形F3M-S826/S626タイプには自己診断機能はありません。

オムロンオリジナル光学系により、センサの投光・受光素子を本体内に収納。
マッピング時、半導体ウエハが静電気を帯びていても、誤動作やセンサの破壊を防止します。

情報更新 : 2013/12/03