対応ウエハサイズ 段数 機能 形式
6インチ（5インチ）
（ピッチ4.76mm）		 25段 自己診断 形F3M-S625
26段 ― 形F3M-S626
8 インチ
（ピッチ6.35mm）		 25段 自己診断 形F3M-S825
26段 ― 形F3M-S826
12 インチ
（ピッチ10mm）		 13段 自己診断 形F3M-S1213
25段 自己診断 形F3M-S1225