| 形式 | 形F3M-S625 | 形F3M-S626 | 形F3M-S825 | 形F3M-S826 | 形F3M-S1213 | 形F3M-S1225 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 段数 | 25 | 26 | 25 | 26 | 13 | 25 | |
| 光軸ピッチ | 4.76mm | 6.35mm | 10mm | ||||
| 光軸部厚み | 1.5mm | ||||||
| 検出物体 | 6インチ（5インチ）半導体 シリコンウエハ、sicウエハ （透過率30％以下のワーク）＊ |
8インチ半導体シリコンウエハ、 sicウエハ （透過率30％以下のワーク）＊ |
12インチ半導体シリコンウエハ、 12インチsicウエハ （透過率30％以下のワーク） |
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光源 （発光波長） |
赤外発光ダイオード（860nm） | 赤外発光ダイオード（940nm） | |||||
| 電源電圧 | DC12～24V±10％リップル（p-p）10％以下 | ||||||
| 消費電流 | 120mA以下 | ||||||
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出力 形式 |
制御 出力 |
負荷電源電圧DC30V以下、負荷電流20mA以下（残留電圧1V以下）、流入電流20mA、 全chパラレル出力、NPNオープンコレクタ出力形、しゃ光時ON |
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アンサー バック 出力 |
リモートティーチング時28ピン出力を本機能にシフト | ||||||
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自己診 断出力 |
負荷電源電圧 DC30V以下 負荷電流 20mA以下（残 留電圧1V以下） 流入電流20mA NPNオープン コレクタ出力 |
− | 負荷電源電圧 DC30V以下 負荷電流 20mA以下（残 留電圧1V以下） 流入電流20mA NPNオープン コレクタ出力 |
− | 負荷電源電圧DC30V以下 負荷電流20mA以下 （残留電圧1V以下） 流入電流20mA NPNオープンコレクタ出力 |
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| 表示灯 |
電源 表示灯 |
電源投入時：点灯（緑色） | |||||
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警告 表示灯 |
ティーチング時、ワークなし時、光量不足時、その他異常発生時：点灯（赤色） | ||||||
| 応答時間 | 10ms以下 | ||||||
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制御出力停止 入力 |
全出力停止時：GND−制御出力停止入力間を短絡（0V短絡電流1mA以下） 出力停止解除時：GND−制御出力停止入力間を開放（オープンまたは9V以上使用電源電圧以下） |
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リモートティー チング入力 |
ON時：GND−リモート入力間を短絡（0V短絡電流1mA以下） OFF時：GND−リモート入力間を開放（オープンまたは9V以上使用電源電圧以下） |
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ティーチング 確認機能 |
表示灯（橙色） | ||||||
| 使用周囲照度 | 受光面照度蛍光灯：1,500lx以下 | ||||||
| 周囲温度 | 動作時：0～＋40°C、保存時：−25～＋60°C （ただし、氷結、結露しないこと） |
動作時：0～＋55°C、 保存時：−25～＋60°C （ただし、氷結、結露しないこと） |
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| 周囲湿度 | 動作時・保存時：各35～85％RH（ただし、結露しないこと） | ||||||
| 耐ノイズ | 電源ライン：±480V（ノーマルモード/ノイズシミュレータにて） 静電ノイズ：±8kVにて誤動作および破損なし |
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| 振動（耐久） | 10～55Hz 複振幅0.5mm X、Y、Z 各方向 2h | ||||||
| 衝撃（耐久） | 300m/s2 X、Y、Z 各方向 3回 | ||||||
| 保護構造 | IEC規格IP40 | ||||||
| 接続方式 | コネクタつきコード引き出しタイプ（標準コード長100mm） | コネクタ接続式 | |||||
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質量 （梱包状態） |
約110g | 約200g | 約300g | ||||
| 材質 | 光軸部 | ポリカーボネート | |||||
| ケース | ABS | ABS、アルミニウム （アルマイト処理/クリア仕上げ） |
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| コード | 可倒タイプビニール絶縁 | − | |||||
| 付属品 | スペーサ、取扱説明書 | 取扱説明書 | |||||
＊透明ウエハを検出される場合は、設定条件が制約されますので、必ずご相談ください。