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2012/03 受注終了

F3M-S

マッピングセンサ(くし型)

F3M-S

13段/25段一括マッピングスループットの向上。SICダミーウエハ安定検出により、コストダウン貢献

※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

(単位:mm)

指定なき寸法公差:公差等級 IT16

形F3M-S625

F3M-S 外形寸法 2

形F3M-S626

F3M-S 外形寸法 3

形F3M-S825

F3M-S 外形寸法 4

形F3M-S826

F3M-S 外形寸法 5

形F3M-S1213

F3M-S 外形寸法 6

形F3M-S1225

F3M-S 外形寸法 7