ワーク・設備・
現場課題
- 予測不可能な外乱によるウエハの反りなどワークの変形やヒータ・センサの位置ズレ・劣化など設備の変動で歩留まりが悪化
- 不良が発生した際に、異常発生範囲・原因を調査するために時間がかかる
ワーク・設備・環境の変動例
ウエハの反り・異物付着
断熱材・炉壁の劣化
特徴量データの傾向監視により、ワーク・設備・環境変動を検知
温度制御時の波形を特徴量化することで、設備の状態を定量的に管理。これによって、設備の状態がいつもと違うことを早期に発見し、不良品の削減に貢献します。
従来
温度の波形の監視だけでは、
微細な変動を捉えることが難しい
NX-HTC
特徴量で監視することで、
微細な変動を検知が可能
