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変位センサ/測長センサ 機能/仕様一覧セレクション

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変位センサ/測長センサ 機能/仕様一覧セレクション（1.41MB）
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分類 変位センサ
判別
検出方式 レーザ式 レーザ式 レーザ式 近接式 接触式 超音波式
特長 あらゆるワークを10μmオーダーで計測
  • アンプ内蔵形
  • 簡易計測に最適
  • どんなワークでも安定計測
  • 4種の距離バリエーション
 あらゆる材質の測定が可能 磁性金属を高精度に計測 非接触では実現できない高精度で安定した計測が可能 透明体の測定が可能
誰でも簡単に最適設定が可能 光電センサ並のコンパクトサイズ
  • φ6mmの細径
  • 10mmのロングレンジヘッド
  • 長距離
  • ワイドレンジ
形式 形ZX2 形ZX1 形ZX-L-N（形ZX-LD） 形ZX-E 形ZX-T 形E4PA-N
外観
検出距離
（測定範囲）		 拡散反射 正反射タイプ（ウエハ計測）   拡散反射
タイプ		 正反射
タイプ		      
50±10mm、
100±35mm		 48±5mm 50±10mm、
100±35mm、
300±150mm、
600±400mm		 40±10mm、
100±40mm、
300±200mm		 30±2mm 0～0.5mm、
0～1mm、
0～2mm、
0～4mm、
0～7mm		 0～1mm、
0～4mm、
0～10mm		 50～500mm、
120～2,000mm、
240～4,000mm、
400～6,000mm
分解能 最小 1.5μm 1.5μm 2μm 2μm 0.25μm 0.25μm 0.1μm －
最大 5μm 80μm 300μm 2.8μm 0.4μm
リニアリティ 最小 ±0.05%F.S. ±0.3%F.S. ±0.15%F.S. ±0.2%F.S. ±0.2%F.S. ±0.5%F.S. ±0.04%F.S. ±1%F.S.
最大 ±0.15%F.S. ±0.5%F.S. ±2%F.S. ±1.0%F.S. ±0.1%F.S.
測定周期 ＊ 30μs 30μs － 150μs 150μs 150μs 1ms 応答63～850ms
規格 CE ● ● ● ● ● ● ● ●

＊測定周期は、最高性能を記載しています。詳細は各ページを参照してください。

分類 変位センサ
高精度測定
検出方式 白色共焦点方式 レーザ式
特長 白色同軸原理のメリットをまずラインに組み込みたいお客様に最適 移動しながら「粗面ワーク」をリアルに形状測定 薄膜シートやガラスなどバタつく・傾く「透明体・鏡面ワーク」測定に最適
  • 高精度
  • 超ロングレンジ
  • 高速移動ワークに追従
形式 形ZW-5000 形ZW-7000 形ZW-8000 形ZS
外観
検出距離
（測定範囲）		       拡散反射タイプ 正反射タイプ
7±0.3mm、
10±0.7mm、
10±0.5mm、
20±1mm、
30±2mm		 7±0.3mm、
10±0.7mm、
10±0.5mm、
20±1mm、
30±2mm、
40±3mm		 7±0.3mm、
10±0.7mm、
10±0.5mm、
20±1mm、
30±2mm		 50±5mm、
80±15mm、
100±20mm、
130±15mm、
200±50mm、
350±135mm、
600±350mm、
1500±500mm		 10±0.5mm、
15±0.75mm、
20±1mm、
25±2mm、
40±2.5mm
分解能 最小 0.004μm 0.004μm 0.002μm 0.1μm 0.001μm
最大 0.016μm 0.024μm 0.008μm 500μm 0.4μm
リニアリティ 最小 ±0.45μm ±0.45μm ±0.3μm ±0.07%F.S. ±0.05%F.S.
最大 ±2.0μm ±3.0μm ±1.3μm ±0.25%F.S. ±0.2%F.S.
測定周期 ＊ 80μs 20μs 60μs 110μs 110μs
規格 CE ● ● ● ● ●

＊測定周期は、最高性能を記載しています。詳細は各ページを参照してください。

分類 変位センサ 測長センサ
形状計測 透過形
検出方式 レーザ式 レーザ式
特長 幅広レーザビームで、段差・幅・断面積・傾斜などの形状を2次元センシング
  • CCD方式
  • ガラス位置決めが可能
形式 形ZG2 形ZX-GT
外観
検出距離
（測定範囲）		 拡散反射タイプ 正反射タイプ  
50±3mm
（幅8mm）、
100±12mm
（幅22mm）、
210±48mm
（幅70mm）		 22.3±0.5mm
（幅3mm）		 0～40mm
（測定幅28mm）、
0～500mm
（測定幅28mm）
分解能 最小 1μm（高さ方向） 0.2μm（高さ方向） 10μm
最大 6μm（高さ方向）
リニアリティ 最小 ±0.1%F.S. ±0.1%F.S. ±0.1%F.S.
最大
測定周期 ＊ 16ms 16ms 0.5ms
規格 CE ● ● ●

＊測定周期は、最高性能を記載しています。詳細は各ページを参照してください。