光学方式 | 正反射 | 拡散反射 | 拡散反射 | 正反射 | 拡散反射 | 正反射 | 拡散反射 | |
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計測
範囲 |
高さ方向 | 22.3±0.5mm | 10.6±0.4mm | 50±3mm | 44±2mm | 100±12mm | 94±10mm | 210±48mm |
幅方向 | 3mmTYP | 8mmTYP | 22mmTYP | 70mmTYP | ||||
分解能 | 高さ方向 | 0.2μm | 1μm | 2.5μm | 6μm | |||
幅方向 | 5μm(3mm/631pix) | 13μm(8mm/631pix) | 35μm(22mm/631pix) | 111μm(70mm/631pix) | ||||
形式 | 形ZG2-WDS3V 2M | 形ZG2-WDS8 2M | 形ZG2-WDS22 2M | 形ZG2-WDS70 2M | ||||
形ZG2-WDS3V 0.5M | 形ZG2-WDS8 0.5M | 形ZG2-WDS22 0.5M | 形ZG2-WDS70 0.5M |