人を超える自働化

ワーク全体の温度均一化

  • 制御

課題

温度制御による品質向上や調整期間短縮など、高レベルの品質平準化

半導体・電子部品業界の熱処理・焼成工程では、温度制御による品質向上や現場での温度調整期間の短縮など、人の能力では対処できない高レベルの品質平準化が求められます。

解決策

独自の温度制御技術により、
熟練工を超える精緻な温度調整の自動化を実現

オムロンは、独自のワーク温度均一技術と温度プロファイル生成の自動化技術によって、熟練工を超える精緻な温度調整の自動化を実現します。熱処理工程での温度制御の巧拙は、製品の品質や歩留まりに大きな影響を及ぼします。従来の制御技術では、昇温中のワーク温度のばらつきの抑制は困難でした。オムロンが独自開発した「ワーク温度均一技術(特許出願済み)」では、ワークやその近傍の温度ばらつきを70%以上低減し(当社実績)、製品品質を向上させます。さらに、温度プロファイル生成の自動化技術で、数十chといったヒータ点数が多い場合でも、精緻な温度調整が可能です。

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