センサヘッド

項目 仕様
ZP-LS025L(C) ZP-LS025S(C) ZP-LS050L(C) ZP-LS050S(C) ZP-LS100L(C) ZP-LS100S(C)
基準距離 25mm 50mm 100mm
測定距離 20～30mm 40～60mm 65～135mm
光源 赤色半導体レーザ
波長 660nm
レーザクラス ZP-LS□L、ZP-LS□S：クラス2（JIS/IEC/EN/FDA/GB）
ZP-LS□LC、ZP-LS□SC：クラス1（JIS/IEC/EN/FDA/GB）
レーザ出力 ZP-LS□L、ZP-LS□S：1mW以下
ZP-LS□LC、ZP-LS□SC：0.376mW以下
スポット径 ＊1 約50×1000μm 約φ50μm 約70×1600μm 約φ70μm 約130×2900μm 約φ120μm
リニアリティ
（直線性）
＊2 		Near側 ±0.05%F.S.
(±5μm)		 ±0.1%F.S.
(±10μm)		 ±0.03%F.S.
（±6μm）		 ±0.075%F.S.
（±15μm）		 ±0.025%F.S.
（±17.5μm）		 ±0.07%F.S.
（±49μm）
20～25mmで使用時 40～50mmで使用時 65～100mmで使用時
全領域 ±0.08%F.S.
(±8μm)		 ±0.125%F.S.
(±12.5μm)		 ±0.04%F.S.
(±8μm)		 ±0.1%F.S.
(±20μm)		 ±0.065%F.S.
(±45.5μm)		 ±0.085%F.S.
(±59.5μm)
20～30mmで使用時 40～60mmで使用時 65～135mmで使用時
分解能（繰り返し精度）＊3 0.5μm 0.6μm 0.7μm 0.8μm 1.2μm 1.3μm
温度特性 ＊4 0.01%F.S./°C 0.01%F.S./°C 0.01%F.S./°C
表示灯 2個（色で識別）
HIGH（橙色）/PASS（緑色）/LOW（橙色）、範囲外（白色）、エラー（赤色）、設定モード時（青色）
使用周囲照度 受光面照度白熱ランプ：10,000lx以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C、保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
振動（耐久） 10～500Hz 複振幅1.5mm X、Ｙ、Ｚ各方向120min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
保護構造 IP67（IEC60529）
接続方式 ＊5 コネクタ中継タイプ（標準コード長2m/0.2m）
材質 ケース・カバー：ポリブチレンテレフタレート、光学窓：ガラス、ねじ部：SUS304、ケーブル：PVC
質量（本体のみ） 約90g（コード長2m）、約45g（コード長0.2m）
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート、FDA証明ラベル、固定ねじ（M3×30mm 2本）、レーザ警告ラベル
（ZP-LS□L、ZP-LS□Sのみ）

＊1. 基準距離における値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義しています。
＊2. 当社標準対象物（白色拡散物体）を測定した場合の、変位出力の理想直線に対する誤差を示します。対象物によって、直線性や測定値が変わることがあります。
　　 F.S.とは測定範囲の全範囲を示します。（ZP-LS100L：70mm）
＊3. 当社標準対象物（白色拡散物体）を基準距離にて測定周期1ms、平均回数128回で測定した場合の値です。
＊4. センサヘッドと当社標準対象物（白色拡散物体）の間をアルミの治具で固定した場合の値（代表例）です。（基準距離で測定）
＊5. 本製品は、レーザ変位センサアンプユニット（ZP-L3□□□）から電源が供給されます。

項目 仕様
ZP-LS300L(C) ZP-LS300S(C) ZP-LS600L(C) ZP-LS600S(C)
基準距離 300mm 600mm
測定距離 150～450mm 200～1000mm
光源 赤色半導体レーザ
波長 660nm
レーザクラス ZP-LS□L、ZP-LS□S：クラス2（JIS/IEC/EN/FDA/GB）
ZP-LS□LC、ZP-LS□SC：クラス1（JIS/IEC/EN/FDA/GB）
レーザ出力 ZP-LS□L、ZP-LS□S：1mW以下
ZP-LS□LC、ZP-LS□SC：0.376mW以下
スポット径 ＊1 約340×2800μm 約φ310μm 約670×5800μm 約φ600μm
リニアリティ
（直線性）
＊2 		Near側 ±0.03%F.S.
（±90μm）		 ±0.04%F.S.
（±120μm）		 ±0.06%F.S.
（±480μm）		 ±0.075%F.S.
（±600μm）
150～300mmで使用時 200～600mmで使用時
全領域 ±0.1%F.S.
(±300μm)		 ±0.125%F.S.
(±375μm)		 ±0.15%F.S.
(±1,200μm)		 ±0.2%F.S.
(±1,600μm)
150～450mmで使用時 200～1,000mmで使用時
分解能（繰り返し精度）＊3 4μm 14μm
温度特性 ＊4 0.01%F.S./°C 0.02%F.S./°C
表示灯 2個（色で識別）
HIGH（橙色）/PASS（緑色）/LOW（橙色）、範囲外（白色）、エラー（赤色）、設定モード時（青色）
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ：5,000lx以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C、保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
振動（耐久） 10～500Hz 複振幅1.5mm X、Ｙ、Ｚ各方向120min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
保護構造 IP67（IEC60529）
接続方式 ＊5 コネクタ中継タイプ（標準コード長2m/0.2m）
材質 ケース・カバー：ポリブチレンテレフタレート、光学窓：ガラス、ねじ部：SUS304、ケーブル：PVC
質量（本体のみ） 約110g（コード長2m）、約70g（コード長0.2m）
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート、FDA証明ラベル、固定ねじ（M3×35mm 2本）、レーザ警告ラベル
（ZP-LS□L、ZP-LS□Sのみ）

＊1. 基準距離における値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義しています。
＊2. 当社標準対象物（白色拡散物体）を測定した場合の、変位出力の理想直線に対する誤差を示します。対象物によって、直線性や測定値が変わることがあります。
　　 F.S.とは測定範囲の全範囲を示します。（ZP-LS100L：70mm）
＊3. 当社標準対象物（白色拡散物体）を基準距離にて測定周期1ms、平均回数128回で測定した場合の値です。
＊4. センサヘッドと当社標準対象物の間（白色拡散物体）をアルミの治具で固定した場合の値（代表例）です。（基準距離で測定）
＊5. 本製品は、レーザ変位センサアンプユニット（ZP-L3□□□）から電源が供給されます。

アンプユニット

親機ZP-L30□0

項目 仕様
ZP-L3000 ZP-L3010 ZP-L3050 ZP-L3060
親機/子機 親機
入出力タイプ NPN PNP
アナログ
出力 ＊1 		電流出力 4～20mA
最大負荷抵抗350Ω		 アナログ出力なし 4～20mA
最大負荷抵抗350Ω		 アナログ出力なし
電圧出力 ±5V 、 1～5V 、 0～5V
出力インピーダンス：100Ω		 ±5V 、 1～5V 、 0～5V
出力インピーダンス：100Ω
制御出力 ＊2 HIGH/PASS/LOW/エラー出力
オープンコレクタ出力DC30V、50mA以下、残留電圧：2V以下
N.O.、N.C.切り替え可能
外部入力 ゼロリセット、レーザOFF、タイミング、リセット、BANK
ON時：0V短絡または1.2V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）		 ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.2V以内
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
測定周期 125μs/250μs/500μs/1ms/2ms/4ms/20ms/50ms/100ms切替式
最大接続台数 16台（親機1台につき子機15台が接続可能）
表示 有機ELディスプレイ
判定表示灯：HIGH（橙色/赤色）、PASS（緑色/赤色）、LOW（橙色/赤色）
状態表示灯：LASER（緑色）、ZERO（緑色）、ENABLE（緑色）
電源電圧 ＊3 DC10～30V リップル（p-p）10%含む
消費電力 ＊4 2,300mW以下 2,000mW以下 2,300mW以下 2,000mW以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C（単体/連結）
保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
振動（耐久） 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Ｙ、Ｚ各方向80min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
保護構造 IP40（IEC60529）
接続方式 コード引き出しタイプ（標準コード長2m）
材質 本体ケース、操作部カバー：ポリカーボネート
ケーブル：PVC
質量（本体のみ） 約160g 約150g 約160g 約150g
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

＊1. ±5V、1～5V、0～5V、4～20mAのいずれかを選択して使用します。
＊2. 親機を含め6台以上増設する場合は、負荷電流20mA/ch以下で使用してください。
＊3. 本製品に供給する電源は、クラス2電源を使用してください。親機を含め6台以上増設する場合は、電源電圧20～30V（p-p）10%含むで使用してください。
＊4. センサヘッドを含みます。各出力の負荷電流を含みません。

子機ZP-L35□0

項目 仕様
ZP-L3500 ZP-L3510 ZP-L3550 ZP-L3560 ZP-L3590
親機/子機 子機
入出力タイプ NPN PNP 入出力なし
アナログ
出力 ＊1 		電流出力 4～20mA
最大負荷抵抗：350Ω		 アナログ出力なし 4～20mA
最大負荷抵抗：350Ω		 アナログ出力なし
電圧出力 ±5V、1～5V、
0～5V
出力インピーダンス：
100Ω		 ±5V、1～5V、
0～5V
出力インピーダンス：
100Ω
制御出力 ＊2 HIGH/PASS/LOW/エラー出力
オープンコレクタ出力DC30V、50mA以下、残留電圧：2V以下
N.O.、N.C.切り替え可能		 制御出力なし
外部入力 ゼロリセット、レーザOFF、タイミング、リセット、BANK 外部入力なし
ON時：0V短絡または1.2V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）		 ON時：電源電圧短絡または
電源電圧-1.2V以内
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
測定周期 125μs/250μs/500μs/1ms/2ms/4ms/20ms/50ms/100ms切替式
最大接続台数 16台（親機1台につき子機15台が接続可能）
表示 有機ELディスプレイ
判定表示灯：HIGH（橙色/赤色）、PASS（緑色/赤色）、LOW（橙色/赤色）
状態表示灯：LASER（緑色）、ZERO（緑色）、ENABLE（緑色）
電源電圧 ＊3 親機から供給
消費電力 ＊4 2,300mW以下 2,000mW以下 2,300mW以下 2,000mW以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C（単体/連結）＊6
保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
振動（耐久） 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Ｙ、Ｚ各方向80min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
保護構造 ＊5 IP40（IEC60529）
接続方式 コード引き出しタイプ（標準コード長2m） なし
材質 本体ケース、操作部カバー：ポリカーボネート
ケーブル：PVC		 本体ケース、操作部カバー：
ポリカーボネート
質量（本体のみ） 約150g 約140g 約150g 約140g 約70g
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

＊1. ±5V、1～5V、0～5V、4～20mAのいずれかを選択して使用します。
＊2. 親機を含め6台以上増設する場合は、負荷電流20mA/ch以下で使用してください。
＊3. 本製品に供給する電源は、クラス2電源を使用してください。親機を含め6台以上増設する場合は、電源電圧20～30V（p-p）10%含むで使用してください。
＊4. センサヘッドを含みます。各出力の負荷電流を含みません。
＊5. アンプユニット親機と連結接続時です。
＊6. 親機を含むアンプユニットの合計連結台数が3台以上、かつZP-L3500/-L3550が含まれている場合は、周囲温度範囲（動作時）：-10～+45℃にて使用してください。

IO-Link対応アンプユニット

ZP-L39□□-IL3

項目 仕様
ZP-L3930-IL3 ZP-L3931-IL3
入出力タイプ NPN/PNP切り替え式
制御出力 ＊1 PASS/スマートベリファイ/出力1反転/エラー出力/無効
オープンコレクタ出力50mA以下、残留電圧：2V以下
N.O.、N.C.切り替え可能
外部入力 ゼロリセット/レーザOFF/タイミング・リセット切り替え式
・PNP設定時
ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.5V以内
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
・NPN設定時
ON時：0V短絡または1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
測定周期 125μs/250μs/500μs/1ms/2ms/4ms/20ms/50ms/100ms切替式
最大接続台数 1台（他のアンプユニットと連結できません。）
表示 有機ELディスプレイ
判定表示灯：HIGH（橙色/赤色）、PASS（緑色/赤色）、LOW（橙色/赤色）
状態表示灯：LASER（緑色）、ZERO（緑色）、ENABLE（緑色）
電源電圧 ＊2 DC10～30V リップル（p-p）10%含む
消費電力 ＊3 2,000mW以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50℃
保存時：-15～+70℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
振動（耐久） 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Y、Z 各方向80min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
保護構造 IP40（IEC60529）
接続方式 バラ線コード引き出しタイプ
（標準コード長2m）		 M12コネクタコード引き出しタイプ
（標準コード長0.3m）
材質 本体ケース、操作部カバー：ポリカーボネート
ケーブル：PVC
質量（本体のみ） 約150g 約90g
IO-Link IO-Link仕様 Ver.1.1
伝送速度 COM3：230.4Kbps
データ長 PDサイズ：6バイト、ODサイズ：2バイト（M-sequence type：TYPE_2_V）
最小サイクルタイム COM3：1.1ms
デバイスプロファイル スマートセンサプロファイル（SSP3.2）
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート

＊1. スマートベリファイ／出力1反転／エラー出力は出力2のみ対応しています。
＊2. この商品の電源は、クラス2電源、またはクラス2電源に接続されたIO-Linkマスタの電源を使用してください。
＊3. センサヘッドを含みます。各出力の負荷電流を含みません。

主な搭載機能

機能名 機能説明
測定周期 ワークの反射率や傾きに応じて任意で設定可能です。
Auto設定で、今測定しているワークに最適な測定周期に自動設定することも可能です。
平均回数 測定値の安定性に応じて任意で設定可能です。
隣接演算 複数台のセンサヘッド・アンプユニット間での演算が行えます。
加算・減算が可能で、段差測定や厚み測定に役立ちます。演算は親機で行います。
アナログ出力設定 アナログ出力を電圧出力、電流出力に変更することが可能です。
アナログ出力
スケーリング 		測定結果とアナログ出力を対応付ける機能です。微小な変位量の変化を、
アナログ出力の大きな変化に拡大したい場合などに活用できます。
測定値スケーリング
設定 		測定結果に補正をかける機能です。
期待する結果と測定結果の間に誤差がある場合や、一定のオフセット値を
載せたい場合などに活用できます。
測定面選択 測定範囲内に複数の測定面が存在する場合に、どの面を測定結果にするか選択できます。
透明ガラス越しの測定や薄膜の表面を検出したい場合/裏面を検出したい場合に活用できます。
微分 一定時間前の変位量と現在の変位量の差を測定結果とする機能です。
薄い板状のワークの枚数を数えたい場合など、急激な変化だけを検出したい場合に役立ちます。
ホールド 指定した期間の特徴量を検出結果にする機能です。
期間内のピーク値（ピークホールド）、ボトム値（ボトムホールド）、
変化幅（ピークtoピークホールド）など、どのような特徴量を抽出するか選択できます。
タイマモード 判定出力の変化時にディレイ（遅れ）させたり一定期間PASS出力をONさせたりすることが
できます。
判定出力の変化が非常に速く、上位機器が信号を受けられないような場合に活用できます。
同期 センサヘッドの測定タイミングを指定できます。
測定タイミングをずらすことで、センサ間の相互干渉を防止することができます。
バンク切替 センサ設定をバンクに保存/ロードできます。
測定周期、しきい値などの設定をまとめて変更できるので、生産品目の段取り替えをする際
などに便利です。

通信ユニット

ZP-EIP

一般仕様

項目 仕様
ZP-EIP
接続可能センサ ZPシリーズアンプユニット
電源電圧 DC10～30V、リップル（p-p）10%含む（アンプユニットより供給）
消費電力 1,500mW以下（アンプユニットは含まない）
表示灯 MS（緑色/赤色）、NS（緑色/赤色）、L/A ETH1（緑色）、U/IN PWR（緑色）、
SS（緑色/赤色）
外部入力 Mode1選択時：通信ユニットバッファリング制御用入力（2入力）
Mode2選択時：頭出し情報入力（2入力）
・DC入力方式
入力電圧：DC10～30V
入力電流：8mA TYP（DC24V）
ON電圧/ON電流：8.8V以上/2mA以上
OFF電圧/OFF電流：4V以下/0.5mA以下
制御出力 通信ユニットバッファリング状態出力（2出力）
・トランジスタ出力方式
出力電圧：DC10～30V
最大負荷電流：50mA
ON時残留電圧：2V以下
OFF時漏れ電流：0.1mA以下
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C、保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
振動（耐久） 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Ｙ、Ｚ各方向80min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下・左右・前後）各3回
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
最大センサ連結台数 16台
保護構造 ＊1 IP20（IEC60529）
質量（本体のみ） 約85g
材質 ポリカーボネート
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート、エンドプレート（2個）

＊1. アンプユニット接続時です。

EtherNet/IP 通信仕様

項目 仕様
ZP-EIP
通信プロトコル EtherNet/IPプロトコル
・Implicitメッセージ（Class1）
・Explicitメッセージ（Class3、UCMM）
変調方式 ベースバンド
通信速度設定 10Mbps/100Mbps
EtherNet物理層 ＊1 100BASE-TX/10BASE-T（ただし、100BASE-TXを推奨します。）
スイッチングハブ レイヤ2スイッチ
伝送媒体 カテゴリ5以上ツイストペアケーブル
（推奨ケーブル：アルミテープと編組の二重遮へいシールドケーブル）
伝送距離 100m以内（ノードとノード間、ハブとノード間）
トポロジ スター型、ツリー型
接続台数 ・スター型
制限なし
・ツリー型
スイッチングハブの使用において、カスケード接続数に制限なし
EtherNet/IP
タグデータリンク 		コネクション数＊2 1（Point to Point）
パケット
インターバル（RPI） 		1～10,000ms
ユニット許容
通信帯域幅 		4,000pps
Explicit
メッセージ 		Class3
（コネクション数）＊2 		5
UCMM
（非コネクション型）＊2 		サポート
EtherNet/IP I/Oコネクションサイズ 入力：276バイト以下（INデータ、ステータス、空きエリアを含む）
出力：24バイト以下（OUTデータ、空きエリアを含む）
サポート機能 サポートサービス タグデータリンク、CIPメッセージ通信、
時計自動調整（NTP/SNTPクライアント）、
BOOTP（クライアント）、DHCP（クライアント）
IPアドレス重複検知 検知機能あり

＊1. タグデータリンクをご使用の場合は、100BASE-TXにて使用してください。
＊2. タグデータリンク（Class1）、Class3、およびUCMMを同時に接続可能なコネクション最大数は10となります。

ZP-RSA

一般仕様

項目 仕様
ZP-RSA
接続可能センサ ZPシリーズアンプユニット
電源電圧 DC10～30V、リップル（p-p）10%含む（アンプユニットから供給）
消費電力 700mW以下（アンプユニットは含まない）
表示灯 MS（緑色/赤色）、SS（緑色/赤色）、RD（緑色）、SD（緑色）
外部入力 リクエスト入力
ON時：0V短絡または1.2V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
周囲温度範囲 動作時：-10～+50°C
保存時：-15～+70°C（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
振動（耐久） 10～150Hz 複振幅0.7mm X、Y、Z 各方向80min.
衝撃（耐久） 300m/s2 6方向（上下、左右、前後）各3回
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min.
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vにて）
最大センサ連結台数 16台
保護構造 ＊1 IP20（IEC60529）
材質 ポリカーボネート
質量（本体のみ） 約75g
付属品 取扱説明書、コンプライアンスシート、エンドプレート（2個）

＊1. アンプユニット接続時です。

RS-232C 通信仕様

項目 仕様
ZP-RSA
通信ポート RS-232C（端子台）
通信方式 全二重
同期方式 調歩同期
伝送コード ASCII
通信速度 ＊1 2,400、4,800、9,600（出荷時）、19,200、38,400、57,600、115,200bps
データビット長 ＊1 7ビット、8ビット（出荷時）
パリティチェック ＊1 なし（出荷時）、偶数、奇数
ストップビット長 1ビット
データ区切り 受信時 CRまたはCR+LFを自動認識
送信時 CR+LF固定

＊1. ZP-RSA前面のロータリスイッチで切り替え可能です。スイッチ変更は電源OFF状態で実施してください。次回電源投入時に設定が反映されます。