外形 | 1180(W)×1640 (D)×1500(H) mm | |
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質量 | 約850kg | |
電源部 | 電圧 | AC200~240V(単相)変動範囲±10% |
定格電力 | 2.0kVA | |
ライン高さ | 900±20mm | |
エア | 0.3~0.6MPa | |
使用温度範囲 | 10~35℃ | |
使用湿度範囲 | 35~80%RH(ただし、結露のないこと) | |
画像信号入力部 | 撮像系 | 12Mpixカメラ |
検査原理 | カラーハイライト+位相シフトによる3D形状復元 | |
画素分解能 | 10μm/15μm | |
FOV | 10μ:40×30mm | |
15μ:60×45mm |