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ZSシリーズ

スマートセンサ 2次元CMOSレーザタイプ

ZSシリーズ

スマートセンサを新領域へ導く超高精度変位計ラインナップ

リニューアル前の旧商品（ZS-HLDC□/LDC□）は、2023年4月末に受注終了しました。後継機種はZS-HLDC□-Nになります。受注終了品の詳細は以下のリンクよりご確認ください。

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※ Web特別価格提供品

白色共点方式で課題解決

ZSが苦手とする様々な材質や状態が混在するワークも、白色共焦点方式のZWなら高精度に安定測定します。

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この商品について

関連情報

情報更新 : 2023/06/01

※リニューアル前の旧商品「形ZS-HLDC□/LDC□」の情報は、カタログ欄に掲載されているZS シリーズカタログ（カタログ番号：SCHE-027）をご覧ください。

センサコントローラ

形式 形ZS-HLDC11A-N 形ZS-HLDC11-N 形ZS-HLDC41A-N 形ZS-HLDC41-N
平均回数 1/2/4/8/16/32/64/128/256/512/1,024/2,048/4,096回
センサ接続台数 1台/コントローラ
外部
I/F		 接続方式 シリアルI/Oはコネクタ方式、その他はコード引出し方式（標準コード長：2m）
シリアル
I/O		 USB2.0 1ポート、FULL SPEED［最大12Mbps］、MINI-B
RS-232C 1ポート、最大115,200bps
出力 判定出力 HIGH/PASS/LOW 3出力
NPNオープンコレクタ DC30V
50mA max.残留電圧1.2Ｖ以下		 HIGH/PASS/LOW 3出力
PNPオープンコレクタ
50mA max.残留電圧1.2Ｖ以下
リニア出力 電圧、電流出力の2とおりから選択（下面スライドスイッチにて切替）
・電圧出力時：-10～+10V　出力インピーダンス：40Ω
・電流出力時：4～20mA　最大負荷抵抗：300Ω
入力 レーザOFF/
ZEROリセット
タイミング/
RESET		 ON時：0V短絡または1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流 0.1mA以下）		 ON時：電源電圧短絡または電源電圧-1.5V以内
OFF時：開放（漏れ電流 0.1mA以下）
機能 表示：計測値表示/しきい値・電圧または電流値・受光量値・分解能表示/端子台出力表示
センシング：モード/ゲイン/測定物/ヘッド設置
測定点：平均/ピーク/ボトム/厚み/段差/演算
フィルタ：スムーズ/平均/微分
出力：スケーリング/各種ホールド/ゼロリセット
I/O設定：リニア（ファーカス/補正）/判定（ヒス、タイマ）/非測定/バンク（切替、クリア）/端子台
システム：セーブ/初期化/計測情報表示/通信設定/キーロック/言語切替/データロード
タスク機能：シングルタスク/マルチタスク（最大4タスク）を切替
状態表示灯 HIGH（橙色）、PASS（緑色）、LOW（橙色）、LDON（緑色）、ZERO（緑色）、ENABLE（緑色）
セグメント
表示		 メインデジタル 8セグメント赤色表示、6桁
サブデジタル 8セグメント緑色表示、6桁
液晶表示 16桁×2行、文字色：緑、1文字あたりの解像度：□5×8ピクセル
設定入力 設定キー 方向キー（UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向）、SETキー、ESCキー、MENUキー、ファンクションキー（1～4）
スライドスイッチ しきい値選択スイッチ（H/L　2ステート）、モード切替スイッチ（FUN/TEACH/RUN　3ステート）
電源電圧 DC21.6V～26.4V（リップル含む）
消費電流 0.5A以下（センサヘッド接続時において）
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結、結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 IP20（IEC60529）
材質 筐体：ポリカーボネイト（PC）
コード長 2m
質量 約280g（梱包材、付属品含まず）
付属品 設定用ソフトウェア、
USBケーブル、
フェライトコア（3個）、
取扱説明書		 フェライトコア（1個）、
取扱説明書		 設定用ソフトウェア、
USBケーブル、
フェライトコア（3個）、
取扱説明書		 フェライトコア（1個）、
取扱説明書

輸出貿易管理令

形ZS-HLDC□□□-Nコントローラに内蔵されるプログラムは、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象技術に該当します。
ただし、貿易外省令第9条第2項第十四号イの規定により、役務取引許可は不要です。
該当形式：形ZS-HLDC11-N、形ZSHLDC11A-N、形ZS-HLDC41-N、形ZS-HLDC41A-N

形ZS-HLシリーズ センサヘッド

形式 形ZS-HLDS2V 形ZS-HLDS5 形ZS-HLDS10 形ZS-HLDS60 形ZS-HLDS150
光学方式 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 拡散反射
測定中心距離 25mm 50mm 44mm 100mm 94mm 600mm 1500mm
測定範囲 ±2mm ±5mm ±4mm ±20mm ±16mm ±350mm ±500mm
光源 可視半導体レーザ（波長650nm、1mW以下、JISクラス2）
ビーム形状 ラインビーム
ビーム径 ＊1 2.2mm×45μm 1.0mm×30μm 3.5mm×60μm 16×0.3mm
（500mmにて）		 40×1.5mm
（1,500mmにて）
リニアリティ ＊2 ±0.2%F.S. ±0.1%F.S. ±0.07%F.S.
（250～750mm）
±0.1%F.S.
（750～950mm）		 ±0.2%F.S.
分解能 ＊3 0.6μm
（平均回数128）		 0.1μm
（平均回数512）		 1μm
（平均回数64）		 8μm（平均回数64、
250mmにて）、
40μm（平均回数64、
600mmにて）		 500μm
（平均回数64）
温度特性 ＊4 ±0.1%F.S./℃ 0.01%F.S./℃
サンプリング周期 110μs（高速モード）、500μs（標準モード）、2.2ms（高精度モード）、4.4ms（高感度モード）
LED
表示灯		 NEAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
FAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
使用周囲照度 受光面照度3,000lx以下：白熱ランプ 受光面照度1,000lx以下：
白熱ランプ		 受光面照度500lx以下：
白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度 動作時、保存時：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 ＊5 IP67 コード長0.5mの場合：IP66、
コード長2mの場合：IP67		 IP66 ＊6
材質 ケース：アルミダイキャスト、前面カバー：ガラス
コード長 2m 0.5m、2m
質量 約350g 約600g 約800g
付属品 形ZS-HLDS2V:
レーザ関連ラベル（JIS・EN 各1枚）、フェライトコア（2個）、インシュロック（2個）、取扱説明書
形ZS-HLDS5/-HLDS10/-HLDS60/-HLDS150：
レーザ関連ラベル（JIS・EN 各1枚、FDA３枚）、フェライトコア（4個）、インシュロック（2個）、取扱説明書

＊1. 測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。
＊2. 測定値における理想直線に対する誤差。
　　　ワークによって直線が変わることがあります。ワークは以下のとおり。

形式 拡散反射 正反射
形ZS-HLDS2V - ガラス
形ZS-HLDS5 白アルミナセラミック ガラス
形ZS-HLDS10 白アルミナセラミック
形ZS-HLDS60/HLDS150 白アルミナセラミック -

＊3. 高精度モード、表内の平均回数に設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値（形ZS-HLDS60の場合は、250mmでの最高分解能も併記）。ワークは以下のとおり。

形式 拡散反射 正反射
形ZS-HLDS2V - ガラス
形ZS-HLDS5 白アルミナセラミック ガラス
形ZS-HLDS10 白アルミナセラミック
形ZS-HLDS60/HLDS150 白アルミナセラミック -

＊4. センサヘッドとワークの間をアルミ冶具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の参考値。
＊5. コネクタ部の保護構造はIP40です。
＊6. IP67品については別途お問い合わせください。

輸出貿易管理令

形ZS-HLDS□□□センサ部は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象貨物（または技術）に該当します。
日本国外に持ち出す際には、日本国政府の輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
該当形式：形ZS-HLDS2V、形ZS-HLDS5
なお、輸出貿易管理令に該当しない形式を品揃えしております。（分解能が異なります。）
形式の末尾に（T）がつきます。（例：形ZS-HLDS2VT）

形ZS-Lシリーズ センサヘッド

形式 形ZS-LD20 形ZS-LD20S 形ZS-LD40 形ZS-LD10G 形ZS-LD15G
光学方式 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射
測定中心距離 20mm 6.3mm 20mm 6.3mm 40mm 30mm 10mm 15mm
測定範囲 ±1mm ±1mm ±1mm ±1mm ±2.5mm ±2mm ±0.5mm ±0.75mm
光源 可視半導体レーザ（波長650nm、1mW以下、JISクラス2）
ビーム形状 ラインビーム スポットビーム ラインビーム
ビーム径 ＊1 900×25μm φ25μm 2000×35μm 約25×900μm
リニアリティ ＊2 ±0.1% F.S.
分解能 ＊3 0.1μm（0.008μm） 0.1μm（0.001μm） 0.4μm（0.015μm） 0.1μm（0.001μm） 0.15μm（0.001μm）
温度特性 ＊4 0.04% F.S./℃ 0.04% F.S./℃ 0.02% F.S./℃ 0.04% F.S./℃
サンプリング周期 110μs（高速モード）、500μs（標準モード）、2.2ms（高精度モード）、4.4ms（高感度モード）
LED
表示灯		 NEAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
FAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
使用周囲照度 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度 動作時、保存時：35～85% RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 ＊5 コード長 0.5mの場合：IP66、コード長 2mの場合： IP67 IP40
材質 ケース：アルミダイキャスト、前面カバー：ガラス
コード長 0.5m、2m
質量 約350g 約400g
付属品 レーザ関連ラベル（JIS・EN 各1枚、FDA 3枚）、フェライトコア（2個）、
インシュロック（2個）、取扱説明書		 レーザ安全説明ラベル（JIS・EN 各1枚）、
フェライトコア（2個）、インシュロック（2個）

＊1. 測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。
＊2. 測定値における理想直線に対する誤差。ワークは、白アルミナセラミック（ただし、正反射モードについてはガラス）。ワークによって直線性が変わることがあります。
＊3. 平均回数128回、高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。ワークは、白アルミナセラミック、（ただし、正反射モードについてはガラス）。（　）内は平均回数4,096回に設定し、USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の参考値。
＊4. センサヘッドとワークの間をアルミ治具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の参考値。
＊5. コネクタ部の保護構造はIP40です。

輸出貿易管理令

形ZS-LD□□□センサ部は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象貨物（または技術）に該当します。
日本国外に持ち出す際には、日本国政府の輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
該当形式：形ZS-LD20、形ZS-LD20S、形ZS-LD40、形ZS-LD10G、形ZS-LD15G
なお、輸出貿易管理令に該当しない形式を品揃えしております。（分解能が異なります。）
形式の末尾に（T）がつきます。（例：形ZS-LD20T）

形ZS-Lシリーズ センサヘッド

形式 形ZS-LD50 形ZS-LD50S 形ZS-LD80 形ZS-LD130 形ZS-LD200 形ZS-LD350S
適合コントローラ 形ZS-HLDC/LDCシリーズ
光学方式 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射
測定中心距離 50mm 47mm 50mm 47mm 80mm 78mm 130mm 130mm 200mm 200mm 350mm
測定範囲 ±5mm ±4mm ±5mm ±4mm ±15mm ±14mm ±15mm ±12mm ±50mm ±48mm ±135mm
光源 可視半導体レーザ（波長650nm、1mW以下、JISクラス2）
ビーム形状 ラインビーム スポットビーム ラインビーム ラインビーム ラインビーム スポットビーム
ビーム径 ＊1 900×60μm φ50μm 900×60μm 600×70μm 900×100μm φ240μm
リニアリティ ＊2 ±0.1% F.S. ±0.25%
F.S.		 ±0.1%
F.S.		 ±0.25%
F.S.		 ±0.1% F.S.
分解能 ＊3 0.8μm 0.8μm 2μm 3μm 5μm 20μm
温度特性 ＊4 0.02% F.S./℃ 0.02% F.S./℃ 0.01% F.S./℃ 0.02% F.S./℃ 0.02% F.S./℃ 0.04% F.S./℃
サンプリング周期 110μs（高速モード）、500μs（標準モード）、2.2ms（高精度モード）、4.4ms（高感度モード）
LED
表示灯		 NEAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より近側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
FAR灯 測定中心距離付近、および測定範囲内の測定中心距離より遠側で点灯
測定範囲外、または受光量過不足の場合、フラッシング
使用周囲照度 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ 受光面照度
2,000lx以下：
白熱ランプ		 受光面照度3000lx以下：白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時、保存時：35～ 85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 ＊5 コード長 0.5mの場合：IP66、コード長 2mの場合： IP67
材質 ケース：アルミダイキャスト、前面カバー：ガラス
コード長 0.5m、 2m
質量 約350g
付属品 レーザ関連ラベル（JIS・EN 各1枚、FDA 3枚）、フェライトコア（2個）、インシュロック（2個）、取扱説明書

＊1. 測定中心距離の値（実力値）で、中心光強度の1/e2（13.5%）で定義。定義域外にも漏れ光があり、ワーク周囲の光反射率がワークに比べて高い状況では、影響の出る場合があります。
＊2. 測定値における理想直線に対する誤差。ワークは、白アルミナセラミック（ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。ワークによって直線性が変わることがあります。
＊3. 平均回数128回、高精度モードに設定した場合の測定中心距離における変位出力の「ピーク to ピーク」の変位換算値。ワークは、白アルミナセラミック（ただし形ZS-LD50/LD50Sの正反射モードの場合はガラス）。（　）内は平均回数4,096回に設定し、USBまたはRS-232Cからデータを取込んだ場合の参考値。
＊4. センサヘッドとワークの間をアルミ治具で固定した場合の測定中心距離における温度特性の参考値。
＊5. コネクタ部の保護構造はIP40です。

情報更新 : 2023/06/01

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