ZSシリーズ

スマートセンサ 2次元CMOSレーザタイプ

ZSシリーズ

スマートセンサを新領域へ導く超高精度変位計ラインナップ

形ZS-LD80 1Mは2021年1月受注終了。一部商品は受注終了しております、「種類/価格」をご覧ください

※ Web特別価格提供品

ZSが苦手とする様々な材質や状態が混在するワークも、白色共焦点方式のZWなら高精度に安定測定します。

この商品について

情報更新 : 2020/06/01

●測定中芯距離 20mm～1500mmを品揃え
●最大分解能 0.02μm（0.001μm）を実現
●応答速度最速110μs
●パラレル出力が可能

性能重視の最適なヘッドサイズと3点止め＊1での保持機構が、抜群のセンシング安定性を確保。

＊1. ZS-HLDS2を除く。
＊2. 2019年8月末に受注終了しました。

受光レンズの高感度化と高解像度化により、光学系を最適にすることで移動分解能（ワーク表面位置による誤差）を大幅に低減しました。

CCDでは受光光量過多になると隣の画素に電荷が溢れます。
CMOSではこのような現象がないため材質による過多による光の変動の影響を受けません。

●選べるビーム形状
　スポットタイプ・ラインタイプ
●豊富な品揃え
　ロングレンジタイプ・ミドルレンジタイプ・ショートレンジタイプ

情報更新 : 2020/06/01