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ZSシリーズ

スマートセンサ 2次元CMOSレーザタイプ

ZSシリーズ

スマートセンサを新領域へ導く超高精度変位計ラインナップ

形ZS-HLDS2 0.5M/ HLDS2 2M/ LD40 4Mは2019年8月受注終了予定

※ Web特別価格提供品

ZS-HLシリーズ

超ロングレンジから超高精度までコアの品質を支える超高性能タイプ

●測定中芯距離 20mm~1500mmを品揃え
●最大分解能 0.02μm(0.001μm)を実現
●応答速度 最速110μs
●パラレル出力が可能

ZSシリーズ 特長 2

全ラインアップでクラス2レーザ

ZSシリーズ 特長 3
ZSシリーズ 特長 4

超安定性

最適サイズ/安定性 ヘッドサイズ

性能重視の最適なヘッドサイズと3点止め※での保持機構が、抜群のセンシング安定性を確保。

ZSシリーズ 特長 7

※ZS-HLDS2を除く。

優れた移動分解能 レンズ高解像度化

受光レンズの高感度化と高解像度化により、光学系を最適にすることで移動分解能(ワーク表面位置による誤差)を大幅に低減しました。

ZSシリーズ 特長 8

材質間誤差低減 2次元CMOS

CCDでは受光光量過多になると隣の画素に電荷が溢れます。
CMOSではこのような現象がないため材質による過多による光の変動の影響を受けません。

ZSシリーズ 特長 9

ZS-Lシリーズ

スポット検出・幅広検出・長距離検出など様々な高精度変位計測に最適なスタンダードタイプ

●選べるビーム形状
 スポットタイプ・ラインタイプ
●豊富な品揃え
 ロングレンジタイプ・ミドルレンジタイプ・ショートレンジタイプ

ZSシリーズ 特長 11