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2019/03 受注終了

ZW

ファイバ同軸変位センサ

ZW

超小型･超軽量。どんな材質でも安定測定。強いセンサヘッド構造のファイバ同軸変位センサ。通信機能として、EtherCAT(R)、EtherNet/IP(TM)を新搭載。

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※ Web特別価格提供品

※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。

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透明体も鏡面も粗面も、レーザ変位センサZWシリーズで超高精度・超高速に安定測定します！

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この商品について

関連情報

情報更新 : 2017/05/10

センサヘッド

項目 形ZW-
S07		 形ZW-
S20		 形ZW-
S30		 形ZW-
S40		 形ZW-
SR07		 形ZW-
SR20		 形ZW-
SR40
測定中心距離 7mm 20mm 30mm 40mm 7mm 20mm 40mm
測定範囲 ±0.3mm ±1mm ±3mm ±6mm ±0.3mm ±1mm ±6mm
静止分解能 ＊1 0.01μm 0.02μm 0.06μm 0.08μm 0.01μm 0.02μm 0.08μm
リニアリティ ＊2 ±0.8μm ±1.2μm ±4.5μm ±7.0μm ±1.1μm ±1.6μm ±9.3μm
スポット径
＊3		 Near φ20μm φ45μm φ70μm φ90μm φ20μm φ45μm φ90μm
Center φ18μm φ40μm φ60μm φ80μm φ18μm φ40μm φ80μm
Far φ20μm φ45μm φ70μm φ90μm φ20μm φ45μm φ90μm
測定周期 500μs～10ms
適用センサコント
ローラ		 形ZW-C1□□□/-CE1□□
使用周囲照度 物体面照度10,000Lx以下：白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃　保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時/保存時：35～85%（ただし、結露しないこと）
保護構造 IP40（IEC60529）
振動（耐久） 10～150Hz（片振幅0.35mm）　X/Y/Z各方向 80分
衝撃（耐久） 150m/s2 6方向、各3回（上下・左右・前後）
温度特性 ＊4 0.6μm/℃ 1.5μm/℃ 2.8μm/℃ 4.8μm/℃ 0.6μm/℃ 1.5μm/℃ 4.8μm/℃
材質 筐体：アルミダイカスト、ファイバケーブル被覆部：PVC、キャリブレーションROM：PC
ファイバケーブル長 0.3m、2m（耐屈曲ケーブル）
ファイバケーブル
最小曲げ半径		 20mm
絶縁抵抗（キャリブ
レーションROM）		 ケースと端子一括間：20ＭΩ （250Vメガにて）
耐電圧（キャリブレー
ションROM）		 ケースと端子一括間：AC1,000V、50/60Hz、1分間
質量 約105g（筐体、ファイバケーブル合計） 約130g（筐体、ファイバケーブル合計）
付属品 キャリブレーションROM固定用ねじ（M2）、ストラップ（1個）、取扱説明書、
ご使用上の注意

＊1. 当社標準の鏡面対象物を測定中心距離にて平均回数4,096回で測定した場合の実力値
　　　輸出貿易管理令対応コントローラ（形ZW-CE1□T）と接続した場合は、センサヘッド、平均回数に関わらず、最小分解能は0.25μｍとなります。
＊2. 当社標準の鏡面対象物を測定した場合の理想直線に対する誤差
　　　上記以外の対象物を測定した場合のリニアリティの参考値は下表のとおりです。

形ZW-S07 形ZW-S20 形ZW-S30 形ZW-S40 形ZW-SR07 形ZW-SR20 形ZW-SR40
ガラス ±1.0μm ±1.2μm ±4.5μm ±7.0μm ±1.1μm ±1.6μm ±9.3μm
SUS BA ±1.2μm ±1.4μm ±5.5μm ±8.5μm ±1.2μm ±1.8μm ±9.3μm
白色セラミック ±1.6μm ±1.7μm ±6.4μm ±9.5μm ±1.6μm ±1.9μm ±11.0μm

＊3. 測定エリア内の中心光強度の1/e2（13.5％）にて定義した実力値
＊4. センサヘッドと対象物の間をアルミ冶具で固定し、センサヘッドとコントローラを同一温度環境に設置した場合の測定中心距離における温度特性。

オートメーションソフトウェア Sysmac Studio

項目 条件
オペレーティングシステム（OS）
＊1 ＊2		 Windows XP（Service Pack3以上、32bit版）/Windows Vista（32bit版）/
Windows 7（32bit版/64bit版）/Windows 8（32bit版/64bit版）/
Windows 8.1（32bit版/64bit版）/Windows 10（32bit版/64bit版）
CPU Celeron 540（1.8GHz）以上のCPUを搭載したWindowsパソコン
Core i5 M520（2.4GHz）、または相当以上を推奨
メインメモリ 2GB以上
3Dモーショントレースを使用
する場合の推奨ビデオメモリ/
ビデオカード		 ビデオメモリ：512MB以上
ビデオカード：以下のどちらかのビデオカード
　・NVIDIA® GeForce® 200シリーズ以上
　・ATI RadeonHD5000シリーズ以上
ハードディスク 1.6GB以上の空き容量
ディスプレイ XGA 1024×768、1600万色　WXGA 1280×800以上を推奨
ディスク装置 DVD-ROMドライブ
通信ポート USB2.0対応USBポートまたはEthernetポート ＊3
対応言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、中国語簡体字、
中国語繁体字、韓国語

＊1. Sysmac Studio対応オペレーティングシステムのご注意： 　必要システム、ハードディスク容量は、システム環境によって異なる場合がありますので、ご注意ください。
＊2. Sysmac StudioをMicrosoft Windows Vista/7で使用するときには、以下の制約があります。
 　参照できないヘルプファイルが一部あります。
 　Microsoft社より配布されているWindows用のヘルププログラム（WinHlp32.exe）を導入すれば、ヘルプが参照可能になります。
 　導入方法の詳細については、以下のMicrosoft社のホームページを参照するか、Misrosot社にお問い合わせください。
 　（インターネットに接続している場合は、ヘルプファイルを開くと自動でダウンロードページが表示されます。）
 　 http://support.microsoft.com/kb/917607/ja
＊3. パソコンとコントローラなどのハードウェアを接続する方法/ケーブルにつきましては各ハードウェアのマニュアルをご参照ください。

設定用ソフトウェア Smart Monitor ZW 形ZW-SW101

動作環境

項目 条件
オペレーティングシステム(OS) Windows7 （32bit版/64bit版）
WindowsXP （Service Pack3以上、32bit版）
CPU Intel PentiumⅢ 850MHz以上（推奨：2GHz以上）
メインメモリ 1GB以上
ハードディスク 50MB以上の空き容量
表示画面 1024×768ドット以上、1,600万色以上
対応言語 日本語/英語
通信ポート Ethernetポート

コントローラ

形式 形ZW-CE10 形ZW-CE15
入出力タイプ NPN PNP
センサヘッド接続台数 1台
適用センサヘッド 形ZW-S□□/-SR□□
測定用光源 白色LED
セグメント
表示		 メインデジタル表示 11セグメント赤色表示、6桁
サブデジタル表示 11セグメント緑色表示、6桁
LED表示 状態表示灯 HIGH（橙色）、PASS（緑色）、LOW（橙色）、STABILITY
（緑色）、ZERO（緑色）、ENABLE（緑色）、THRESHOLD-H
（橙色）、THRESHOLD-L（橙色）、RUN（緑色）
EtherCAT表示灯 L/A IN（Link/Activity IN）（緑色）、L/A OUT（Link/Activity
OUT）（緑色）
ECAT RUN（緑色）、ECAT ERR（赤色）
外部
インター
フェース		 Ethernet 100BASE-TX/10BASE-T　無手順（TCP/UDP）、EtherNet/IPTM
EtherCAT EtherCAT専用プロトコル100BASE-TX
RS-232C 最大115,200bps
アナ
ログ
出力
端子
台		 アナログ電圧出力
（OUT1V）		 -10～+10V、出力インピーダンス：100Ω
アナログ電流出力
（OUT1A）		 4～20mA、最大負荷抵抗：300Ω
32極
拡張
コネ
クタ		 判定出力（HIGH1/
PASS1/LOW1）		 トランジスタ出力方式
出力電圧：DC21.6～30V
負荷電流：50mA以下　
ON時残留電圧：1.2V以下
OFF時漏れ電流：0.1mA以下
ビジー出力（BUSY1）
アラーム出力（ALARM1）
イネーブル出力
（ENABLE）
LEDオフ入力
（LED OFF1）		 DC入力方式
入力電圧：DC24V±10%（DC21.6～26.4V）
入力電流：7mA Typ.（DC24V）
ON電圧/ON電流：19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流：5V/1mA以下
ゼロリセット入力
（ZERO）
タイミング入力
（TIMING1）
リセット入力
（RESET1）
バ
ン
ク		 選択中バンク出力
（BANK_
OUT1～3）		 トランジスタ出力方式
出力電圧：DC21.6～30V
負荷電流：50mA以下　
ON時残留電圧：1.2V以下
OFF時漏れ電流：0.1mA以下
バンク選択入力
（BANK_
SEL1～3）		 入力電圧：DC21.6～26V
入力電流：7mA Typ.（DC24V）
ON電圧/ON電流：19V/3mA以上
OFF電圧/OFF電流：5V/1mA以下
主な機能 露光時間 オート/固定
測定周期 500μs～10ms
材質指定 標準/鏡面/粗面
測定アイテム 高さ/厚み/演算
フィルタ処理 メディアン/平均/微分/ハイパス/ローパス/バンドパス
出力 スケーリング/各種ホールド/ゼロリセット/測定値ロギング
表示 測定値/しきい値/アナログ出力電圧または電流値/判定結果/
分解能/露光時間
設定登録数 最大8バンク
タスク処理 マルチタスク（1バンクあたり最大4タスク）
システム セーブ/初期化/測定情報表示/通信設定/センサヘッド校正/
キーロック/ゼロリセットメモリ/タイミング入力
定格 電源電圧 DC21.6～26.4 V（リップル含む）
消費電流 600mA以下
絶縁抵抗 リード線一括とFG端子間： 20MΩ（250V メガにて）
耐電圧 リード線一括とFG端子間： AC500V 50/60Hz、1分間
耐環境性 保護構造 IP20（IEC60529）
振動（耐久） 10～55Hz（片振幅 0.35mm）X/Y/Z 各方向50分
衝撃（耐久） 150m/s2　6方向　各3回（上下・左右・前後）
周囲温度範囲 動作時：0～+40℃、保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露
しないこと）
周囲湿度範囲 動作時/保存時：35～85%（ただし、結露しないこと）
接地 D種接地（接地抵抗100Ω以下）　＊従来の第三種接地
材質 筐体：PC
質量 約750g（本体のみ）、約150g（パラレルケーブル）
付属品 取扱説明書、会員登録シート、パラレルケーブル（形ZW-XCP2E）

注1.輸出貿易管理令対応コントローラ（形ZW-CE1□T）をご用意しております。
 このコントローラをご使用の場合は、接続されるセンサヘッド、平均回数に関わらず、最小分解能は0.25μｍとなります。
 注2.バイナリ出力搭載コントローラもご用意しております（形ZW-C10/-C15）。詳細はお問い合わせください。

ZWシリーズ EtherCAT通信仕様

項目 仕様
通信規格 IEC61158 Type12
物理層 100BASE-TX（IEEE802.3）
コネクタ RJ45×2
EtherCAT IN ： EtherCAT入力
EtherCAT OUT ： EtherCAT出力
通信媒体 カテゴリ5以上ツイストペアケーブル
（アルミテープと編組の二重遮へいシールドケーブル、ストレートを推奨）
通信距離 ノード間距離 100m以内
プロセスデータ 可変PDOマッピング（variable PDO mapping）
メールボックス（CoE） エマージェンシーメッセージ、SDOリクエスト、SDOレスポンス、
SDOインフォメーション
ディストリビューテッドクロック DCモード1による同期
LED表示 L/A IN (Link/Activity IN)×1、L/A OUT (Link/Activity OUT)×1、ECAT RUN×1、
ECAT ERR×1

情報更新 : 2017/05/10

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