• 薄型・軽量のフローセンサ。
• 独自の流路構造により高精度、高速応答を実現。
MEMSフローセンサ
空気用、流量範囲 3L/min 薄型・小型で高精度センシングを実現
※ このページの記載内容は、生産終了以前の製品カタログに基づいて作成した参考情報であり、製品の特長 / 価格 / 対応規格 / オプション品などについて現状と異なる場合があります。ご使用に際してはシステム適合性や安全性をご確認ください。
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• 独自の流路構造により高精度、高速応答を実現。