センサヘッド

項目 形ZG2-WDS8 形ZG2-WDS22 形ZG2-WDS70 形ZG2-WDS3V
光学方式 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射 拡散反射
計測
範囲		 高さ方向 50±3mm 44±2
mm		 100±12
mm		 94±10
mm		 210±48mm
（高精度モード
にて）		 22.3±0.5
mm		 10.6±0.4
mm
幅方向（※5） 8mmTYP 22mmTYP 70mmTYP 3mmTYP
分解
能		 高さ方向（※1） 1μm 2.5μm 6μm 0.2μm
幅方向 13μm(8mm/
631pix)		 35μm(22mm/
631pix)		 111μm(70mm/
631pix)		 5μm(3mm/631pix)
リニアリティ
（高さ方向）（※2）		 ±0.1%F.S.
温度特性（※3） 0.03%F.S./℃ 0.02%F.S./℃ 0.08%F.S./℃
光源 種類 可視半導体レーザ
波長 658nm 650nm
出力 最大出力5mW　最大露光（光学機器を使用しない場合）1mW 最大出力 1mW
レーザクラス クラス2（JIS、IEC/EN、GB/T）
クラス3B（FDA）		 クラス2（JIS、IEC/EN、FDA、GB/T）
ビーム形状（測定中心
距離にて）（※4）		 30μm×24mmTYP 60μm×45mmTYP 120μm×
75mmTYP		 25μm×4mmTYP
LED表示灯 STANDBY：レーザ発光準備が整っているときに点灯（表示色：グリーン）
LD_ON：レーザ発光時に点灯（表示色：グリーン）
計測対象物 不透明体/透明体表面 不透明体表面 不透明体/透明体表面
耐環
境性		 使用周囲照度 受光面照度　7000lx以下：白熱ランプ
周囲温度範囲 動作時：0～+50℃　保存時：-15～+60℃（ただし、氷結、結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時各：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造（※6） IP66（IEC60529） IP67（IEC60529）
振動（耐久） 10 ～150Hz（片振幅0.35mm）　X、Y、Z方向 80min
衝撃（耐久） 150m/s2　6方向、各3回（上下・左右・前後）
材質 ケース：アルミダイキャスト、前面カバー：ガラス、コード被覆部：耐熱塩化ビニール、
コネクタ：亜鉛合金および黄銅
コード長 0.5m、2m（耐屈曲ケーブル）
最小曲げ半径 68mm
質量 約500g 約500g 約650g 約300g
付属品 レーザ関連ラベル（EN：2 枚、FDA：3 枚、GB：2 枚）、フェライトコア（2 個）、取扱説明書 レーザ関連ラベル（EN：1 枚、FDA：3 枚、GB：1 枚）、
フェライトコア大（1 個）、フェライトコア小（1 個）

※1: 当社標準の対象物を計測中心距離に設置し、全ライン平均高さ計測を行った場合。条件は以下のとおり。ただし、強い電磁界内では、分解能を満足できないことがあります。

形式 CCDモード 平均回数 計測対象物
正反射 拡散反射
形ZG2-WDS8/ZG2-WDS22/ZG2-WDS70 高精度モード 64 回 当社標準の白色アルミナセラミック
形ZG2-WDS3V 当社標準の鏡面体 当社標準の拡散反射物体

形ZG2-WDS8T/WDS3VTの最小分解能は、平均回数を増やしても0.25μmです。それ以上小さくはなりません。

※2: 当社標準の対象物で全ライン平均高さ計測を行ったときの理想直線に対する誤差。計測対象物によってリニアリティは変わることがあります。

形式 CCDモード 平均回数 計測対象物
正反射 拡散反射
形ZG2-WDS8/ZG2-WDS22/ZG2-WDS70 高精度モード 1回 当社標準の白色アルミナセラミック
形ZG2-WDS3V 当社標準の鏡面体 当社標準の拡散反射物体

※3: センサヘッドと計測対象物の間をアルミの治具で固定した場合の値です。CCDモードは標準モードです。
※4: 中心光強度の1/e2(13.5%)で定義。定義域外にも漏れ光があり、対象物周囲の光の反射率が対象物に比べて高い状況では、影響が出る場合があります。
※5: 計測中心距離付近における計測範囲（幅方向）代表値です。保証値ではありません。
※6: コネクタ部の保護構造はIP40 です。

輸出貿易管理令について

形ZG2-WDS8/WDS3V センサ部は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象貨物（または技術）に該当します。
日本国外に持ち出す際には、日本国政府の輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出貿易管理令に該当しない形ZG2-WDS8T/WDS3VT を品揃えしております。（分解能が異なります）

形ZG2-WDC11/WDC41 コントローラに内蔵されるプログラムは、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象技術に該当します。
ただし、貿易外省令第９条第2 項第14 号イの規定により、役務取引許可は不要です。

センサコントローラ

項目 形ZG2-WDC11/WDC11A 形ZG2-WDC41/WDC41A
入出力タイプ NPN タイプ PNP タイプ
センサヘッド接続台数 1台/コントローラ
コントローラ連結台数 2台
計測周期（※1） 16ｍｓ（高精度モード）、8ｍｓ（標準モード）、5ｍｓ（高速モード）
最小表示単位 10nm
表示範囲 -999.99999 ～ 999.99999
表示 液晶モニタ 2.2 インチ　TFT カラーLCD（557×234pix）
ＬＥＤ ・タスク毎判定表示灯（表示色：オレンジ）：T1、T2、T3、T4
・レーザ表示灯（表示色：グリーン）：LD ON
・ゼロリセット表示灯（表示色：グリーン）：ZERO
・トリガ表示灯（表示色：グリーン）：TRIG
外
部
I/F		 入出力
信号線		 アナログ出力 電圧・電流の2通りから選択（下面スライドスイッチにて切替）
・電圧出力時：-10～+10V　出力インピーダンス：40Ω
・電流出力時：4～20ｍＡ　最大負荷抵抗：300Ω
判定出力(ALL-
PASS/NG/ERROR)		 NPNオープンコレクタ
DC30V、50mA　max.
残留電圧1.2V以下		 PNPオープンコレクタ
50mA　max.
残留電圧1.2V以下
トリガ補助出力
(ENABLE/GATE)
レーザ停止入力
(LD-OFF)		 ON時：0V短絡または1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）		 ON時：電源電圧短絡または
　　　　電源電圧-1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
ゼロリセット入力
(ZERO)
計測トリガ入力
(TRIG)
バンク切替入力
(BANKA～D)
シリアル
I/O		 USB2.0 １ポート、FULL SPEED[12Mbps]、MINI-B
RS-232C １ポート、最大115200bps
パラレル
出力
（形ZG-
RPD装
着時）		 出力 18端子
主な機能 設定登録数 16バンク
感度調整機能 マルチ/高速マルチ/オート/固定
計測項目（アイテム） 高さ/2点段差/3点段差/エッジ位置/エッジ幅/傾き/交点角度/交点位置/
断面積/タスク間演算
（最大8 項目同時計測可能）
補助機能 フィルタ/レーザ光量調整/位置補正機能（高さ・位置・傾き）/連結演算/
変曲点計測
プロファイル保存 16プロファイル（1バンクにつき、1プロファイル）
トリガモード 外部トリガ/連続
定格 電源電圧 DC21.6～26.4V（リップル含む）
消費電流 0.8A以下（１センサヘッドあたり）
絶縁抵抗 リード線一括とコントローラケース間：20ＭΩ（250Vメガにて）
耐電圧 リード線一括とコントローラケース間：AC1000V 50/60Hz 1min
耐環境性 周囲温度範囲 動作時：0～+50℃　保存時：-15～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時各：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 IP20（IEC60529)
振動（耐久） 振動周波数：10～150Hz　片振幅：0.35mm　加速度：50m/s2
衝撃（耐久） 150m/s2　6方向、各3回（上下・左右・前後）
材質 筐体：ポリカーポネイト（ＰＣ）、コード被覆部：耐熱塩化ビニール
コード長 2m
最小曲げ半径 57mm
質量 約300g（コード部含む）（梱包状態：約450g）
付属品 形ZG2-WDC□1 ：フェライトコア大（1個）、インシュロック（1個）、
取扱説明書
形ZG2-WDC□1A：フェライトコア大（1個）、フェライトコア小（2個）、
インシュロック（1個）、取扱説明書、Smart Monitor ZG2（専用パソコン
ソフト、CD-ROM）（※2）、USB ケーブル

※1: ここに記載している計測周期は、固定・オート感度の場合の値です。マルチ感度 / 高速マルチ感度に設定している場合や、その他の設定内容によって、計測周期が長くなります。 また、ハイパワーモードをONにしている場合は、CCD モードの設定によらず、最短計測周期は95ms になります。また、コントローラやデータストレージユニットを連結している場合は、計測周期が約22ms 長くなります。実際の計測周期は、RUN モードのエコモニタでご確認ください。
※2: Smart Monitor ZG2　動作環境
  　　OS：        Windows 10（32 ビット版/64 ビット版）
                       Windows 7（32 ビット版/64 ビット版）
                       Windows XP（Service Pack3 以上、32 ビット版）
       CPU：       Intel Pentium III 1GHz 以上（推奨：2GHz 以上）
       メモリ：    1GB 以上
       表示画面： 1024×768 ドット以上、1600 万色以上
      ・Windows は、米国Microsoft Corporation の米国およびその他の国における商標または登録商標です。
      ・その他記載されているシステム名、製品名は各社の商標または登録商標です。

データストレージユニット

項目 形ZG2-DSU11 形ZG2-DSU41
入出力タイプ NPN PNP
コントローラ接続台数 2台（※1）
接続可能コントローラ 形ZG2-WDC11/WDC41
外部
I/F		 入出力
信号線		 ロギング開始/
終了入力		 ON時：0V短絡または1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）		 ON時：電源電圧短絡または
　　　　 電源電圧-1.5V以下
OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下）
判定出力
（HIGH/PASS/
LOW/ERROR）		 NPNオープンコレクタ
DC30V、50mA max.
残留電圧1.2V以下		 PNPオープンコレクタ
50mA max.
残留電圧1.2V以下
シリアル
Ｉ/Ｏ		 USB2.0 1 ポート、FULL SPEED［12Mbps］、MINI-B
RS-232C 1ポート、最大115200bps
機能 ロギング
データ数
※2		 本体メモリ プロファイル保存：5,120枚
計測値保存：最大65,000個（※3）
メモリカード
（256MB）※4		 プロファイル保存：最大35,328枚（256枚×138ファイル）
計測値保存：最大715万個（65,000個×110ファイル）
ロギングトリガ 外部トリガ、データトリガ（セルフトリガ）、時間トリガ
外部バンク機能 4096バンク
その他の機能 アラーム出力機能
定格 電源電圧 DC21.6～26.4V（リップル含む）
消費電流 0.5A以下
耐環
境性		 周囲温度範囲 動作時：0～+50℃　保存時：0～+60℃（ただし、氷結・結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時各：35～85%RH（ただし、結露しないこと）
保護構造 IP20（IEC60529）
材質 筐体：ポリカーボネイト（PC）
コード長 2m
最小曲げ半径 52mm
質量 約280g
付属品 フェライトコア（1個）、取扱説明書

※1: 連結には、コントローラリンクユニットが必要です。
※2: ロギング中は本体メモリにデータが保存され、ロギング終了時に自動的にメモリカードへ書き込まれます。
　　設定条件によってロギングできる数は異なります。詳細はユーザーズマニュアルをご覧ください。
※3: センサコントローラを2 台接続しそれぞれ8 タスクを計測している場合でも、計測値を65,000 回分保存できます。
※4: 以下の条件でロギングした場合の最大保存数です。
　　・センサコントローラ１台で１タスクを計測
　　・プロファイルのみ、または計測値のみをロギング