ファイバアンプ

タイプ 汎用タイプ 超APC寿命タイプ 高速応答タイプ
標準 センサ通信ユニット用
形式 形E3X-DA□-S
（□：21/51/7/9）		 形E3X-DA0-S ＊1 形E3X-DA□R-S
（□：21/51/7/9）		 形E3X-DA□F-S
（□：21/51/7/9）
光源（発光波長） 赤色4元素発光ダイオード（625nm）
電源電圧 DC12～24V±10%
リップル（p-p）10%以下		 センサ通信ユニットを
通じてコネクタより供給		 DC12～24V±10% リップル（p-p）10%以下
消費電力 通常モード：960mW以下
（電源電圧24V時 消費電流40mA以下/電源電圧12V時 消費電流80mA以下）
省電力ECO1：720mW以下
（電源電圧24V時 消費電流30mA以下/電源電圧12V時 消費電流60mA以下）
省電力ECO2：600mW以下
（電源電圧24V時 消費電流25mA以下/電源電圧12V時 消費電流50mA以下）
制御出力・
APCアラーム出力 ＊1		 負荷電源電圧DC26.4V以下、オープンコレクタ出力形（NPN/PNP出力形式によって異なります）
負荷電流：50mA以下（残留電圧2V以下）
外部入力 ＊2 無電圧入力形
（有接点/無接点）＊3		 ― 無電圧入力形
（有接点/無接点）＊3		 ―
保護回路 電源逆接続保護、出力短絡保護、出力逆接続保護
応
答
時
間		 最速モード ＊4 動作・復帰：各80μs ― 動作・復帰：各80μs NPN出力
　動作：46μs、
　復帰：48μs
PNP出力
　動作：51μs、
　復帰：53μs
高速モード 動作・復帰：各250μs ―
標準モード 動作・復帰：各1ms
高精度モード 動作・復帰：各4ms
タフモード 動作・復帰：各16ms
感度設定 ティーチングまたはマニュアル調整
機
能		 パワー
チューニング		 投光パワー＆受光ゲイン・デジタル制御方式
微分検出 片側エッジ検出モード/両側エッジ検出モード切替可能
片側エッジ：250/500μs/1/10/100ms切替可能
両側エッジ：500μs/1/2/20/200ms切替可能		 ―
オートパワー
コントロール（APC）		 常時有効
投光電流高速制御方式
形E3X-DA□R-SはワイドレンジAPC
タイマ タイマ機能無効/オフディレー/オンディレー/ワンショット/オンディレー+オフディレーから選択可能
1ms～5s（1～20ms：1ms単位、20～200ms：10ms単位、200ms～1s：100ms単位、
1～5s：1s単位）
ATC あり
APC余裕度表示 ― あり ―
スローモーション表示 ― あり
ゼロリセット マイナス表示可能（しきい値もシフトします）
設定リセット イニシャルリセット（工場出荷時の状態）/ユーザリセット（セーブした状態）から選択可能
相互干渉防止 10台まで ＊5 ―
エコモード ＊6 OFF（デジタル表示点灯）/ECO1（デジタル表示暗点灯）/ECO2（デジタル表示消灯）から選択可能
外部入力設定 ＊2 各種ティーチング/パワーチューニング/ゼロリセット/投光オフ/
ATC開始から選択可能		 ―
出力設定 チャンネルごと出力/エリア出力/
自己診断出力から選択可能		 ―
表示灯 動作表示灯1ch（橙色）、
動作表示灯2ch（橙色）		 動作表示灯1ch（橙
色）、APCアラーム
出力表示灯（橙色）		 動作表示灯1ch（橙
色）、パワーチュー
ニング表示灯（橙色）
デジタル表示 受光量+しきい値 その他6パターンから選択可能（カタログの「6.表示切替」参照）
表示方向 通常/リバース切替可能
キーロック キーロック キーロック/簡単キーロック（スイッチ切替）
使用周囲照度 受光面照度 白熱ランプ：10,000lx以下、太陽光：20,000lx以下
最大連結台数 16台（連結台数によって周囲温度仕様が異なります）＊7
周囲温度範囲 動作時：1～2台連結時：-25～+55℃、3～10台連結時：-25～+50℃、
11～16台連結時：-25～+45℃ ＊8
保存時：-30～+70℃（ただし、氷結、結露しないこと）
周囲湿度範囲 動作時・保存時：各35～85%RH（ただし、結露しないこと）
絶縁抵抗 20MΩ以上（DC500Vメガにて）
耐電圧 AC1,000V 50/60Hz 1min
振動（耐久） 10～55Hz
複振幅1.5mm
X、Y、Z各方向 2h		 10～150Hz
（複振幅0.7mm）
X、Y、Z各方向 80min		 10～55Hz 複振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
衝撃（耐久） 500m/s2
X、Y、Z各方向 3回		 200m/s2
X、Y、Z各方向 3回		 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回
保護構造 IEC60529規格IP50 （保護カバー装着時）
接続方式 コード引き出しタイプ
（標準コード長2m）、
または
省配線コネクタタイプ		 センサ通信ユニット用
コネクタ		 コード引き出しタイプ（標準コード長2m）、
または省配線コネクタタイプ
質量（梱包状態） コード引き出しタイプ：
約100g、
省配線コネクタタイプ：
約55g		 約55g コード引き出しタイプ：約100g、
省配線コネクタタイプ：約55g
材
質		 ケース ポリブチレンテレフタレート
カバー ポリカーボネート
付属品 取扱説明書

＊1. EtherCATセンサ通信ユニット（形E3X-ECT）、CompoNetセンサ通信ユニット（形E3X-CRT）に対応します。
＊2. コード引き出しタイプのみ。
＊3. 入力に関する詳細は、以下となります。

有接点入力（リレー、スイッチ） 無接点入力（トランジスタ）
NPNタイプ ON時：0Vに短絡（流出電流：1mA以下）
OFF時：開放、またはVccに短絡		 ON時：1.5V以下（流出電流：1mA以下）
OFF時：Ｖcc-1.5V～Ｖcc（漏れ電流：0.1mA以下）
PNPタイプ ON時：Ｖccに短絡（吸込電流：3mA以下）
OFF時：開放、または0Vに短絡		 ON時：Ｖcc-1.5V～Ｖcc（吸込電流：3mA以下）
OFF時：1.5V以下（漏れ電流：0.1mA以下）

＊4. 検出機能を最速モードに選択した場合は、通信機能、相互干渉防止機能は無効となります。
＊5. ファイバアンプを連結した場合、相互干渉防止機能は有効です。形E3X-DA-Sシリーズ、形E3C-LDAシリーズの混在使用でも
        同様に有効です。
　　　 また、パワーチューニングを有効にした場合は、相互干渉防止機能は6台までとなります。
＊6. 汎用タイプ形E3X-DA□-S（□：21/51/7/9/0）では、エコモード有効時、定格検出距離は約1/2、受光量は約1/3になります。
＊7. 形E3X-DA0-Sで形E3X-ECTを使用時は30台
＊8. 形E3X-DA0-Sをセンサ通信ユニット（形E3X-ECTまたは、形E3X-CRT）とセットで使用の場合　動作時：1～2台連結時：0～
       55℃、3～10台連結時：0～50℃、11～16台連結時：0～45℃、（形E3X-ECTを使用の場合：17～30台連結時：0～40℃）

省配線コネクタ

形式 形E3X-CN21/22/11 形E3X-CN12
定格電流 2.5A
定格電圧 50V
接触抵抗 20mΩ以下（DC20mV以下、100mA以下）
〔ファイバアンプ本体との接続および隣接コネクタとの接続にて（コードの導体抵抗は除く）〕
挿抜（耐久） 50回（ファイバアンプ本体との接続および隣接コネクタとの接続にて）
材質 ハウジング ポリブチレンテレフタレート
コンタクト リン青銅/ニッケル下地金メッキ
質量（梱包状態） 約55g 約25g

検出距離

●形E3X-DA□-S（□：21/51/7/9/0）・形E3X-DA□F-S（□：21/51/7/9）
ねじ型

検出方式 検出方向 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
透過形 ライトアングル M4 形E32-T11N 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
形E32-LT11N 2M 4,000 ＊ 4,000 ＊ 3,500 2,300 920
ストレート 形E32-T11R 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
形E32-LT11 2M 4,000 ＊ 4,000 ＊ 4,000 ＊ 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000 ＊ 4,000 ＊ 3,500 2,300 920
反射形 ライトアングル M3 形E32-C31N 2M 110 80 50 46 14
形E32-C21N 2M 290 150 130 90 39
M4 形E32-D21N 2M 840 600 350 240 100
M6 形E32-C11N 2M 780 560 350 320 100
形E32-LD11N 2M 840 600 350 240 100
ストレート M3 形E32-D21R 2M 140 100 60 40 16
形E32-C31 2M 330 240 150 100 44
形E32-C31M 1M
M4 形E32-D211R 2M 140 100 60 40 16
M6 形E32-D11R 2M 840 600 350 240 100
形E32-CC200 2M 1,400 1,000 600 400 180
形E32-LD11 2M 860 610 360 250 110
形E32-LD11R 2M 840 600 350 240 100

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

円柱型

検出方式 サイズ 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 Φ 1 トップビュー 形E32-T223R 2M 450 300 250 150 60
Φ 1.5 形E32-T22B 2M 680 480 400 220 90
Φ 3 形E32-T12R 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T14LR 2M 750 550 450 260 100
反射形 Φ 1.5 トップビュー 形E32-D22B 2M 140 100 60 40 16
Φ 1.5＋Φ 0.5 形E32-D43M 1M 28 20 12 8 4
Φ 3 形E32-D22R 2M 140 100 60 40 16
形E32-D221B 2M 300 220 140 90 40
形E32-D32L 2M 700 500 300 200 90
Φ 3＋Φ 0.8 形E32-D33 2M 70 50 30 20 8

フラット型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 トップビュー 形E32-T15XR 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
サイドビュー 形E32-T15YR 2M 750 550 450 260 100
フラットビュー 形E32-T15ZR 2M
反射形 トップビュー 形E32-D15XR 2M 840 600 350 240 100
サイドビュー 形E32-D15YR 2M 200 140 100 52 24
フラットビュー 形E32-D15ZR 2M

スリーブ型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 形E32-T24R 2M 170 120 100 50 20
形E32-T24E 2M 450 300 250 150 60
トップビュー 形E32-T21-S1 2M 510 360 300 170 68
形E32-T33 1M 150 110 90 50 20
形E32-TC200BR 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
反射形 サイドビュー 形E32-D24R 2M 70 52 30 20 8
形E32-D24-S2 2M 120 80 53 45 14
トップビュー 形E32-D43M 1M 28 20 12 8 4
形E32-D331 2M 14 10 6 4 2
形E32-D33 2M 70 50 30 20 8
形E32-D32-S1 0.5M 63 43 27 18 7
形E32-D31-S1 0.5M
形E32-DC200F4R 2M 140 100 60 40 16
形E32-D22-S1 2M 250 170 110 72 30
形E32-D21-S3 2M
形E32-DC200BR 2M 840 600 350 240 100
形E32-D25-S3 2M 250 170 110 72 30

小スポット反射

種類 スポット径 中心距離
（mm） 		形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
可変スポット Φ 0.1～0.6 6～15 形E32-C42 1M＋形E39-F3A 6～15mmでスポット径Φ 0.1～0.6mm
Φ 0.3～1.6 10～30 形E32-C42 1M＋形E39-F17 10～30mmでスポット径Φ 0.3～1.6mm
平行光 Φ 4 0～20 形E32-C31 2M＋形E39-F3C 0～20mmでスポット径Φ 4mm以下
形E32-C31N 2M＋形E39-F3C
一体型 Φ 0.1 5 形E32-C42S 1M 5mmでスポット径Φ 0.1mm
Φ 6 50 形E32-L15 2M 50mmでスポット径Φ 6mm
小スポット Φ 0.1 7 形E32-C41 1M＋形E39-F3A-5 7mmでスポット径Φ 0.1mm
Φ 0.5 形E32-C31 2M＋形E39-F3A-5 7mmでスポット径Φ 0.5mm
形E32-C31N 2M＋形E39-F3A-5
Φ 0.2 17 形E32-C41 1M＋形E39-F3B 17mmでスポット径Φ 0.2mm
Φ 0.5 形E32-C31 2M＋形E39-F3B 17mmでスポット径Φ 0.5mm
形E32-C31N 2M＋形E39-F3B
Φ 3 50 形E32-CC200 2M＋形E39-F18 50mmでスポット径Φ 3mm
形E32-C11N 2M＋形E39-F18

注. 形E3X-DA0-Sは、最速モードではご使用できません。

ハイパワー

種類 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
透過形
一体型		 ライトアングル 15° 形E32-LT11N 2M 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,500 2,300 920
トップビュー 10° 形E32-T17L 10M 20,000
＊1		 20,000
＊1		 20,000
＊1		 20,000
＊1		 8,000
15° 形E32-LT11 2M 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 2,700 1,080
形E32-LT11R 2M 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,500 2,300 920
サイドビュー 30° 形E32-T14 2M 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 1,800
透過形
レンズ
装着		 ライトアングル 12° 形E32-T11N 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 2,000
6° 形E32-T11N 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,600
トップビュー 12° 形E32-T11R 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 2,000
6° 形E32-T11R 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,600
サイドビュー 60° 形E32-T11R 2M＋形E39-F2 1,450 1,040 800 500 200
トップビュー 12° 形E32-T11 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 1,860
6° 形E32-T11 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2
サイドビュー 60° 形E32-T11 2M＋形E39-F2 2,300 1,640 1,320 860 320
トップビュー 12° 形E32-T51R 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,900 1,500
6° 形E32-T51R 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2
サイドビュー 60° 形E32-T51R 2M＋形E39-F2 1,400 1,000 720 500 200
トップビュー 12° 形E32-T81R-S 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 2,700 1,000
6° 形E32-T81R-S 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 1,800
サイドビュー 60° 形E32-T81R-S 2M＋形E39-F2 1,000 720 550 360 140
トップビュー 12° 形E32-T61-S 2M＋形E39-F1 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 1,800
6° 形E32-T61-S 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 3,100
サイドビュー 60° 形E32-T61-S 2M＋形E39-F2 1,680 1,200 900 600 240
トップビュー 12° 形E32-T51 2M＋形E39-F1-33 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 2,300 1,400
6° 形E32-T51 2M＋形E39-F16 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2		 4,000
＊2
反射形
一体型		 トップビュー 4° 形E32-D16 2M 40～
2,800		 40～
2,000		 40～
1,400		 40～
900		 40～
480

＊1. ファイバ長が片側10mのため、20,000mmとしています。
＊2. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

狭視界

検出方式 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 1.5° 形E32-A03 2M 3,220 2,300 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
3.4° 形E32-A04 2M 1,280 920 680 450 200
4° 形E32-T24SR 2M 4,000 ＊ 2,960 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 ＊ 3,500 2,600 1,740 700
形E32-T22S 2M 4,000 ＊ 4,000 ＊ 3,800 2,500 1,000

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

背景をとらずに検出

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 フラットビュー 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
形E32-L24S 2M 0～4
サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）

透明体検出（回帰反射形）

検出方式 特長 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
回帰反射形 フィルム検出 M3 形E32-C31 2M
＋形E39-F3R
＋形E39-RP37		 250 200 ―
角型 ― 形E32-R16 2M 150～1,500
ねじ型 M6 形E32-R21 2M 10～250
ナット型 形E32-LR11NP 2M
＋形E39-RP1		 1,350 1,270 1,200 1,000 550

透明体検出（限定反射形）

検出方式 特長 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
限定反射形 小型 フラットビュー 形E32- L24S 2M 0～4
標準 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板
アライメント70℃		 形E32-A08 2M 10～20 ―
標準/長距離 形E32-A12 2M 12～30 ―
サイドビュー形状 サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）
ガラス基板
マッピング70℃		 トップビュー 形E32-A09 2M 15～38 ―

耐薬品/耐油

検出方式 種類 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
透過形 耐油 ライトアングル 形E32-T11NF 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 2,200
耐薬品/油 トップビュー 形E32-T12F 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 1,600
形E32-T11F 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 2,600 1,000
サイドビュー 形E32-T14F 2M 1,400 1,000 800 500 200
耐薬品/油150℃ トップビュー 形E32-T51F 2M 4,000 ＊1 3,600 2,800 1,800 700
反射形 半導体：洗浄・現像・
エッチング60℃		 トップビュー 形E32-L11FP 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
半導体：剥離85℃ 形E32-L11FS 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
耐薬品/油 形E32-D12F 2M ― ＊2 320 190 130 60
ケーブルのみ耐薬品 形E32-D11U 2M 840 600 350 240 100

＊1. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
＊2. 検出物体が無くてもフッ素樹脂に反射して入光状態になります。

耐屈曲

検出方式 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 Φ 1.5 形E32-T22B 2M 680 480 400 220 90
M3 形E32-T21 2M
M4 形E32-T11 2M 2,500 1,800 1,350 900 360
角型 形E32-T25XB 2M 500 360 300 170 70
反射形 Φ 1.5 形E32-D22B 2M 140 100 60 40 16
M3 形E32-D21 2M
Φ 3 形E32-D221B 2M 300 220 140 90 40
M4 形E32-D21B 2M
M6 形E32-D11 2M 840 600 350 240 100
角型 形E32-D25XB 2M 240 170 100 60 30

耐熱

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 100℃ 形E32-T51R 2M 1,600 1,100 800 560 225
150℃ 形E32-T51 2M 2,800 2,000 1,500 1,000 400
200℃ 形E32-T81R-S 2M 1,000 720 550 360 140
350℃ 形E32-T61-S 2M 1,680 1,200 900 600 240
反射形 100℃ 形E32-D51R 2M 670 480 280 190 80
150℃ 形E32-D51 2M 1,120 800 450 320 144
200℃ 形E32-D81R-S 2M 420 300 180 120 54
300℃ 形E32-A08H2 2M 10～20 ―
形E32-A09H2 2M 20～30（中心25） ―
350℃ 形E32-D611-S 2M 420 300 180 120 54
形E32-D61-S 2M
400℃ 形E32-D73-S 2M 280 200 120 80 36

エリアビーム

検出方式 タイプ 検出幅 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 エリア 11mm 形E32-T16PR 2M 3,100 2,200 1,700 1,120 440
形E32-T16JR 2M 2,750 2,000 1,500 960 380
30mm 形E32-T16WR 2M 4,000 ＊ 3,400 2,600 1,700 680
反射形 アレイ 11mm 形E32-D36P1 2M 700 500 300 200 90

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

液面レベル検出

検出方式 パイプ径 特長 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
パイプ取りつけ Φ 3.2/6.4/9.5 安定残量検出 形E32-A01 5M 適用パイプ：Φ 3.2/6.4/9.5の透明パイプ、推奨肉厚1mm
Φ 8～10 複数連装使用 形E32-L25T 2M 適用パイプ：Φ 8～10mmの透明パイプ、推奨肉厚1mm
制限なし 大型パイプ 形E32-D36T 2M 適用パイプ：透明パイプ、径の制限なし
接液（耐熱200℃） ― ― 形E32-D82F1 4M 接液タイプ

耐真空

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 120℃ 形E32-T51V 1M 720 520 400 260 100
形E32-T51V 1M＋E39-F1V 2,000 ＊ 2,000 ＊ 2,000 ＊ 1,360 520
200℃ 形E32-T84SV 1M 1,760 1,250 950 640 260

＊ファイバ長が片側1mのため、2,000mmとしています。

FPD/半導体/太陽電池業界

検出方式 アプリケーション 使用温度 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
限定反射形 ガラス有無検出 70℃ 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板アライメント 形E32-A08 2M 10～20 ―
300℃ 形E32-A08H2 2M
70℃ 形E32-A12 2M 12～30 ―
ガラス基板マッピング 形E32-A09 2M 15～38 ―
300℃ 形E32-A09H2 2M 20～30（中心25） ―
WET工程（洗浄、現像、
エッチング）		 60℃ 形E32-L11FP 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
WET工程（剥離） 85℃ 形E32-L11FS 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
透過形 ウエハマッピング 70℃ 形E32-A03 2M 3,220 2,300 1,780 1,200 500
形E32-A03-1 2M
形E32-A04 2M 1,280 920 680 450 200
形E32-T24SR 2M 4,000 ＊ 2,960 2,200 1,460 580
形E32-T24S 2M 4,000 ＊ 3,500 2,600 1,740 700

＊ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

注. 形E3X-DA0-Sは、最速モードではご使用できません。

●形E3X-DA□R-S（□：21/51/7/9）
ねじ型

検出方式 検出方向 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
透過形 ライトアングル M4 形E32-T11N 2M 1,000 700 500 350 140
形E32-LT11N 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
ストレート 形E32-T11R 2M 1,000 700 530 350 140
形E32-LT11 2M 3,800 2,700 2,050 1,350 540
形E32-LT11R 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
反射形 ライトアングル M3 形E32-C31N 2M 55 40 25 23 7
形E32-C21N 2M 145 75 65 45 20
M4 形E32-D21N 2M 420 300 175 120 50
M6 形E32-C11N 2M 390 280 175 160 50
形E32-LD11N 2M 420 300 170 120 50
ストレート M3 形E32-D21R 2M 70 50 30 20 8
形E32-C31 2M 165 120 75 50 22
形E32-C31M 1M
M4 形E32-D211R 2M 70 50 30 20 8
M6 形E32-D11R 2M 420 300 170 120 50
形E32-CC200 2M 700 500 300 200 90
形E32-LD11 2M 430 305 180 125 55
形E32-LD11R 2M 420 300 170 120 50

円柱型

検出方式 サイズ 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 Φ 1 トップビュー 形E32-T223R 2M 220 160 130 75 30
Φ 1.5 形E32-T22B 2M 340 240 200 110 45
Φ 3 形E32-T12R 2M 1,000 700 530 350 140
サイドビュー 形E32-T14LR 2M 370 270 210 130 50
反射形 Φ 1.5 トップビュー 形E32-D22B 2M 70 50 30 20 8
Φ 1.5＋Φ 0.5 形E32-D43M 1M 15 11 6 4 2
Φ 3 形E32-D22R 2M 70 50 30 20 8
形E32-D221B 2M 150 110 70 45 20
形E32-D32L 2M 350 250 150 100 45
Φ 3＋Φ 0.8 形E32-D33 2M 35 25 16 10 4

フラット型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 トップビュー 形E32-T15XR 2M 1,000 700 530 350 140
サイドビュー 形E32-T15YR 2M 370 270 210 130 50
フラットビュー 形E32-T15ZR 2M
反射形 トップビュー 形E32-D15XR 2M 420 300 170 120 50
サイドビュー 形E32-D15YR 2M 100 70 40 26 12
フラットビュー 形E32-D15ZR 2M

スリーブ型

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 形E32-T24R 2M 85 60 50 25 10
形E32-T24E 2M 225 150 125 75 30
トップビュー 形E32-T21-S1 2M 255 180 150 85 34
形E32-T33 1M 75 55 45 25 10
形E32-TC200BR 2M 1,000 700 530 350 140
反射形 サイドビュー 形E32-D24R 2M 35 26 15 10 4
形E32-D24-S2 2M 60 40 26 23 7
トップビュー 形E32-D43M 1M 15 11 6 4 2
形E32-D331 2M 7 5 3 2 0.8
形E32-D33 2M 35 25 16 10 4
形E32-D32-S1 0.5M 31 21 13 9 3
形E32-D31-S1 0.5M
形E32-DC200F4R 2M 70 50 30 20 8
形E32-D22-S1 2M 125 85 55 36 15
形E32-D21-S3 2M
形E32-DC200BR 2M 420 300 170 120 50
形E32-D25-S3 2M 125 85 55 36 15

小スポット反射

種類 スポット径 中心距離
（mm） 		形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
可変スポット Φ 0.1～0.6 6～15 形E32-C42 1M＋形E39-F3A 6～15mmでスポット径Φ 0.1～0.6mm
Φ 0.3～1.6 10～30 形E32-C42 1M＋形E39-F17 10～30mmでスポット径Φ 0.3～1.6mm
平行光 Φ 4 0～20 形E32-C31 2M＋形E39-F3C 0～20mmでスポット径Φ 4mm以下
形E32-C31N 2M＋形E39-F3C
一体型 Φ 0.1 5 形E32-C42S 1M 5mmでスポット径Φ 0.1mm
Φ 6 50 形E32-L15 2M 50mmでスポット径Φ 6mm
小スポット Φ 0.1 7 形E32-C41 1M＋形E39-F3A-5 7mmでスポット径Φ 0.1mm
Φ 0.5 形E32-C31 2M＋形E39-F3A-5 7mmでスポット径Φ 0.5mm
形E32-C31N 2M＋形E39-F3A-5
Φ 0.2 17 形E32-C41 1M＋形E39-F3B 17mmでスポット径Φ 0.2mm
Φ 0.5 形E32-C31 2M＋形E39-F3B 17mmでスポット径Φ 0.5mm
形E32-C31N 2M＋形E39-F3B
Φ 3 50 形E32-CC200 2M＋形E39-F18 50mmでスポット径Φ 3mm
形E32-C11N 2M＋形E39-F18

ハイパワー

種類 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
透過形
一体型		 ライトアングル 15° 形E32-LT11N 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
トップビュー 10° 形E32-T17L 10M 20,000 ＊1 20,000 ＊1 20,000 ＊1 10,000 4,000
15° 形E32-LT11 2M 3,800 2,700 2,050 1,350 540
形E32-LT11R 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
サイドビュー 30° 形E32-T14 2M 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,400 2,250 900
透過形
レンズ装着		 ライトアングル 12° 形E32-T11N 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,700 2,400 970
6° 形E32-T11N 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,800
トップビュー 12° 形E32-T11R 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,700 2,400 970
6° 形E32-T11R 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 1,800
サイドビュー 60° 形E32-T11R 2M
＋形E39-F2		 725 520 400 250 100
トップビュー 12° 形E32-T11 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,600 2,300 930
6° 形E32-T11 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,300
サイドビュー 60° 形E32-T11 2M
＋形E39-F2		 1,150 820 660 430 160
トップビュー 12° 形E32-T51R 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 3,900 2,900 1,900 760
6° 形E32-T51R 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,600 1,400
サイドビュー 60° 形E32-T51R 2M
＋形E39-F2		 700 500 360 250 100
トップビュー 12° 形E32-T81R-S 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 2,650 2,100 1,300 520
6° 形E32-T81R-S 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,600 2,300 900
サイドビュー 60° 形E32-T81R-S 2M
＋形E39-F2		 500 360 280 180 70
トップビュー 12° 形E32-T61-S 2M
＋形E39-F1		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,400 2,200 900
6° 形E32-T61-S 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 3,900 1,500
サイドビュー 60° 形E32-T61-S 2M
＋形E39-F2		 840 600 450 300 120
トップビュー 12° 形E32-T51 2M
＋形E39-F1-33		 4,000 ＊2 3,400 2,660 1,150 700
6° 形E32-T51 2M
＋形E39-F16		 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 4,000 ＊2 2,600
反射形
一体型		 トップビュー 4° 形E32-D16 2M 40～1,400 40～1,000 40～700 40～450 40～240

＊1. ファイバ長が片側10mのため、20,000mmとしています。
＊2. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。

狭視界

検出方式 検出方向 開口角 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 サイドビュー 1.5° 形E32-A03 2M 1,610 1,150 890 600 250
形E32-A03-1 2M
3.4° 形E32-A04 2M 640 460 340 225 100
4° 形E32-T24SR 2M 2,100 1,500 1,100 750 300
形E32-T24S 2M 2,400 1,750 1,300 870 350
形E32-T22S 2M 3,500 2,500 1,900 1,250 500

背景をとらずに検出

検出方式 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
限定反射形 フラットビュー 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
形E32-L24S 2M 0～4
サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）

透明体検出（回帰反射形）

検出方式 特長 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフ
モード		 高精度
モード		 標準
モード		 高速
モード		 最速
モード
回帰反射形 フィルム検出 M3 形E32-C31 2M
＋形E39-F3R
＋形E39-RP37		 250 200 150 100 50
角型 ― 形E32-R16 2M 150～1,500
ねじ型 M6 形E32-R21 2M 10～250
ナット型 形E32-LR11NP 2M
＋形E39-RP1		 675 630 600 500 275

透明体検出（限定反射形）

検出方式 特長 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
限定反射形 小型 フラットビュー 形E32- L24S 2M 0～4
標準 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板
アライメント70℃		 形E32-A08 2M 10～20
標準/長距離 形E32-A12 2M 12～30
サイドビュー形状 サイドビュー 形E32-L25L 2M 5.4～9（中心7.2）
ガラス基板
マッピング70℃		 トップビュー 形E32-A09 2M 15～38

耐薬品/耐油

検出方式 種類 検出方向 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
透過形 耐油 ライトアングル 形E32-T11NF 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 4,000 ＊1 3,100 1,200
耐薬品/油 トップビュー 形E32-T12F 2M 4,000 ＊1 4,000 ＊1 3,000 2,000 800
形E32-T11F 2M 3,500 2,500 2,000 1,300 520
サイドビュー 形E32-T14F 2M 700 500 400 250 100
耐薬品/油150℃ トップビュー 形E32-T51F 2M 2,500 1,800 1,400 900 350
反射形 半導体：洗浄・現像・
エッチング60℃		 トップビュー 形E32-L11FP 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
半導体：剥離85℃ 形E32-L11FS 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
耐薬品/油 形E32-D12F 2M ― ＊2 160 95 65 30
ケーブルのみ耐薬品 形E32-D11U 2M 420 300 170 120 50

＊1. ファイバ長が片側2mのため、4,000mmとしています。
＊2. 検出物体が無くてもフッ素樹脂に反射して入光状態になります。

耐屈曲

検出方式 サイズ 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 Φ 1.5 形E32-T22B 2M 340 240 200 110 45
M3 形E32-T21 2M
M4 形E32-T11 2M 1,250 900 680 450 180
角型 形E32-T25XB 2M 250 180 150 85 35
反射形 Φ 1.5 形E32-D22B 2M 70 50 30 20 8
M3 形E32-D21 2M
Φ 3 形E32-D221B 2M 150 110 70 45 20
M4 形E32-D21B 2M
M6 形E32-D11 2M 420 300 170 120 50
角型 形E32-D25XB 2M 120 85 50 30 15

耐熱

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 100℃ 形E32-T51R 2M 800 560 425 280 110
150℃ 形E32-T51 2M 1,400 1,000 760 500 200
200℃ 形E32-T81R-S 2M 500 360 280 180 70
350℃ 形E32-T61-S 2M 840 600 450 300 120
反射形 100℃ 形E32-D51R 2M 330 240 135 95 40
150℃ 形E32-D51 2M 560 400 230 160 72
200℃ 形E32-D81R-S 2M 210 150 90 60 27
300℃ 形E32-A08H2 2M 10～20
形E32-A09H2 2M 20～30（中心25）
350℃ 形E32-D611-S 2M 210 150 90 60 27
形E32-D61-S 2M
400℃ 形E32-D73-S 2M 140 100 60 40 18

エリアビーム

検出方式 タイプ 検出幅 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 エリア 11mm 形E32-T16PR 2M 1,550 1,100 840 560 220
形E32-T16JR 2M 1,370 980 750 480 190
30mm 形E32-T16WR 2M 2,000 1,700 1,300 850 340
反射形 アレイ 11mm 形E32-D36P1 2M 350 250 150 100 45

液面レベル検出

検出方式 パイプ径 特長 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
パイプ取りつけ Φ 3.2/6.4/9.5 安定残量検出 形E32-A01 5M 適用パイプ：Φ 3.2/6.4/9.5の透明パイプ、推奨肉厚1mm
Φ 8～10 複数連装使用 形E32-L25T 2M 適用パイプ：Φ 8～10mmの透明パイプ、推奨肉厚1mm
制限なし 大型パイプ 形E32-D36T 2M 適用パイプ：透明パイプ、径の制限なし
接液
（耐熱200℃）		 ― ― 形E32-D82F1 4M 接液タイプ

耐真空

検出方式 耐熱温度 形式 検出距離（mm）
タフモード 高精度モード 標準モード 高速モード 最速モード
透過形 120℃ 形E32-T51V 1M 360 260 200 130 50
形E32-T51V 1M＋E39-F1V 1,890 1,350 1,000 680 260
200℃ 形E32-T84SV 1M 880 630 480 320 130

FPD/半導体/太陽電池業界

検出方式 アプリケーション 使用温度 形式 検出距離（mm）
タフ
モード 		高精度
モード 		標準
モード 		高速
モード 		最速
モード
限定反射形 ガラス有無検出 70℃ 形E32-L16-N 2M 0～15 0～12
ガラス基板アライメント 形E32-A08 2M 10～20
300℃ 形E32-A08H2 2M
70℃ 形E32-A12 2M 12～30
ガラス基板マッピング 形E32-A09 2M 15～38
300℃ 形E32-A09H2 2M 20～30（中心25）
WET工程（洗浄、現像、
エッチング）		 60℃ 形E32-L11FP 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから19～31mm（推奨検出距離：22mm）
WET工程（剥離） 85℃ 形E32-L11FS 2M レンズ先端から8～20mm（推奨検出距離：11mm）
取付穴中心Aから32～44mm（推奨検出距離：35mm）
透過形 ウエハマッピング 70℃ 形E32-A03 2M 1,610 1,150 890 600 250
形E32-A03-1 2M
形E32-A04 2M 640 460 340 225 100
形E32-T24SR 2M 2,100 1,500 1,100 750 300
形E32-T24S 2M 2,400 1,750 1,300 870 350