センサヘッド
| 形式 | 形ZG-WDS70 | 形ZG-WDS22 | 形ZG-WDS8 | 形ZG-WDS3 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学方式 | 拡散反射 | 拡散反射 | 正反射 | 拡散反射 | 正反射 | 正反射 | 拡散反射 | |
| 計測範囲 | 高さ方向 （標準モードにて） | 210±30mm | 100±12mm | 94±10mm | 50±3mm | 44±2mm | 20±0.5mm | 5.2±0.4mm |
| 幅方向 | 70mm TYP | 22mm TYP | 8mm TYP | 3mm TYP | ||||
| 分解能 | 高さ方向 ＊1 | 10μm | 3μm | 3μm | 1μm | 1μm | 0.2μm | 0.2μm |
| 幅方向 | 111μm （70mm/631pix） | 35μm （22mm/631pix） | 13μm （8mm/631pix） | 5μm （3mm/631pix） | ||||
| リニアリティ（高さ方向） ＊2 | ±0.5%F.S. | |||||||
| 温度特性 ＊3 | 0.1%F.S./°C | |||||||
| 光源 | 種類 | 可視半導体レーザ | ||||||
| 波長 | 658nm | 650nm | ||||||
| 出力 | 最大出力5mW 最大露光（光学機器を使用しない場合）1mW | 1mW max. | ||||||
| レーザクラス | クラス2M（JISC68022005） | クラス2（JISC68022005） | ||||||
| ビーム形状 （測定中心距離にて） ＊4 | 120μm×75mm TYP | 60μm×45mm TYP | 30μm×24mm TYP | 25μm×4mm TYP | ||||
| LED表示灯 | STANDBY：レーザ発光準備が整っている時に点灯（表示色：グリーン） LD_ON：レーザ発光時に点灯（表示色：グリーン） | |||||||
| 計測対象物 | 不透明体 | |||||||
| 対環境性 | 使用周囲照度 | 受光面照度 1,000lx以下：白熱ランプ | ||||||
| 周囲温度範囲 | 動作時：0～＋50°C保存時：−15～＋60°C（ただし、氷結・結露しないこと） | |||||||
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時各：35～85％RH（ただし、結露しないこと） | |||||||
| 保護構造 | IP66（IEC60529） | IP64（IEC60529） | ||||||
| 振動（耐久） | 10～150Hz（片振幅0.35mm） X、Y、Ｚ方向 80min | |||||||
| 衝撃（耐久） | 150m/s2 6方向、各3回（上下・左右・前後） | |||||||
| 材質 | ケース：アルミダイキャスト、前面カバー：ガラス、コード被覆部：耐熱塩化ビニール、 コネクタ：亜鉛合金および黄銅 | |||||||
| コード長 | 0.5m、2m（耐屈曲ケーブル） | |||||||
| 質量 | 約650g | 約500g | 約500g | 約300g | ||||
| 付属品 | レーザ関連ラベル（EN2枚）、フェライトコア（1個）、取扱説明書 | |||||||
※1．当社標準の対象物を計測中心距離に設置し、全ライン平均高さ計測を行った場合。条件は以下のとおり。ただし、強い電磁界内では、分解能を満足できないことがあります。
| 形式 | CCDモード | 平均回数 | 計測対象物 | |
|---|---|---|---|---|
| 正反射 | 拡散反射 | |||
| 形ZG-WDS70/WDS22/WDS8 | 標準モード | 16回 | 当社標準の白色アルミナセラミック | |
| 形ZG-WDS3 | 標準モード | 32回 | 当社標準の鏡面体 | 当社標準の拡散反射物体 |
※2．当社標準の対象物で全ライン平均高さ計測を行ったときの理想直線に対する誤差。CCDモードは標準モード。計測対象物によってリニアリティは変わることがあります。
| 形式 | 計測対象物 | |
|---|---|---|
| 正反射 | 拡散反射 | |
| 形ZG-WDS70/WDS22/WDS8 | 当社標準の白色アルミナセラミック | |
| 形ZG-WDS3 | 当社標準の鏡面体 | 当社標準の拡散反射物体 |
※3．ヘッドと計測対象物の間をアルミの治具で固定した場合の値です。CCDモードは標準モードです。
※4．中心光強度の1/e2(13.5%)で定義。定義域外にも漏れ光があり、対象物周囲の光の反射率が対象物に比べて高い状況では、影響が出る場合があります。
センサコントローラ
| 形式 | 形ZG-WDC11/WDC11A | 形ZG-WDC41/WDC41A | ||
|---|---|---|---|---|
| 入出力タイプ | NPNタイプ | PNPタイプ | ||
| センサヘッド接続台数 | 1台/コントローラ | |||
| 計測周期 ＊1 | 16ms（高精度モード）、8ms（標準モード）、5ms（高速モード） | |||
| 最小表示単位 | 10nm | |||
| 表示範囲 | −999.99999～999.99999 | |||
| 表示 | 液晶モニタ | 1.8インチ TFT カラーLCD（557×234pix） | ||
| LED | ・タスク毎判定表示灯（表示色：オレンジ）：T1、T2、T3、T4 ・レーザ表示灯（表示色：グリーン）：LDON ・ゼロリセット表示灯（表示色：グリーン）：ZERO ・トリガ表示灯（表示色：グリーン）：TRIG | |||
| 外 部 I/F | 入出力 信号線 | アナログ出力 | 電圧・電流の2通りから選択（下面スライドスイッチにて切替） ・電圧出力時：−10～＋10Ｖ 出力インピーダンス：40Ω ・電流出力時：4～20mA 最大負荷抵抗：300Ω | |
| 判定出力 （ALL-PASS/ NG/ERROR） | NPNオープンコレクタ DC30V、50mA max. 残留電圧 1.2V以下 | PNPオープンコレクタ 50mA max. 残留電圧 1.2V以下 | ||
| トリガ補助出力 （ENABLE/GATE） | ||||
| レーザ停止入力 （LD-OFF） | ON時：0V短絡または1.5V以下 OFF時： 開放（漏れ電流0.1mA以下） | ON時：電源電圧短絡または 電源電圧−1.5V以下 OFF時：開放（漏れ電流0.1mA以下） | ||
| ゼロリセット入力 （ZERO） | ||||
| 計測トリガ入力 （TRIG） | ||||
| バンク切替入力 （BANKA、B） | ||||
| シリアル I/O | USB2.0 | 1ポート、FULLSPEED［12Mbps］、MINI-B | ||
| RS-232C | 1ポート、最大115,200bps | |||
| 主な機能 | 設定登録数 | 16バンク ＊2 | ||
| 感度調整機能 | マルチ/オート/固定 | |||
| 計測項目 （アイテム） | 高さ/2点段差/3点段差エッジ位置/エッジ幅傾き/断面積/ 演算（最大8項目同時計測可能） | |||
| トリガモード | 外部トリガ/連続 | |||
| 定格 | 電源電圧 | DC21.6～26.4V（リップル成分含む） | ||
| 消費電流 | 0.8A以下 | |||
| 絶縁抵抗 | リード線一括とコントローラケース間：20MΩ（250Vメガにて） | |||
| 耐電圧 | リード線一括とコントローラケース間：AC1,000V 50/60Hz 1min | |||
| 耐環境性 | 周囲温度範囲 | 動作時：0～＋50°C保存時：−15～＋60°C（ただし、氷結・結露しないこと） | ||
| 周囲湿度範囲 | 動作時・保存時各：35～85％RH | |||
| 保護構造 | IP20（IEC60529） | |||
| 振動（耐久） | 振動周波数：10～150Hz 片振幅：0.35mm 加速度：50m/s2 各8分 10回 | |||
| 衝撃（耐久） | 150m/s2 6方向、各3回（上下・左右・前後） | |||
| 材質 | 筐体：ポリカーボネート（PC）、コード被覆部：耐熱塩化ビニール | |||
| コード長 | 2m（耐屈曲ケーブル） | |||
| 質量 | 約300g（コード部含む）（梱包状態：約450g） | |||
| 付属品 | 形ZG-WDC□1：フェライトコア大（1個）、インシュロック（1個）、取扱説明書 形ZG-WDC□1A：フェライトコア大（1個）、フェライトコア小（2個）、 インシュロック（1個）、取扱説明書、設定用ソフトウェア（CD-ROM）、USBケーブル | |||
※1．ここに記載している計測周期は、固定・オート感度の場合の計測周期です。マルチ感度に設定している場合や、その他の設定内容によって、計測周期が長くなります。
実際の計測周期は、RUNモードのエコモニタでご確認ください。
※2．入力信号線で切替できるバンク番号は、バンク1～4です。バンク5～16の切替は、シリアル通信コマンド、またはコントローラのキー操作になります。
輸出貿易管理令について
形ZG-WDS3/WDS8センサ部は、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象貨物(または技術)に該当します。
日本国外に持ち出す際には、日本国政府の輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
※なお、輸出貿易管理令に該当しない形ZG-WDS3T/WDS8Tを品揃えしております。（分解能が異なります）
形ZG-WDC11/WDC41コントローラに内蔵されるプログラムは、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出許可取得対象技術に該当します。
ただし、貿易外省令第９条第１項第十号イの規定により、役務取引許可は不要です。