（単位：mm）

指定なき寸法公差：公差等級 IT16

エアパーティクルセンサ

形ZN-PD03

センサヘッド取りつけ金具
（形ZN9-PB1：別売）使用時

形ZN-PDA11

形ZN-PDA12

インターフェースユニット

形ZN-SF11

形ZN-SF12